【技术实现步骤摘要】
本技术涉及硅料清洗领域，特别涉及一种单晶硅料清洗固定工装。
技术介绍
1、硅是非常重要且常用的半导体原料，在使用前需要对硅表面进行清洗，以去除其表面的氧化物及杂质。目前，硅材料清洗的一般流程为：将硅材料放置在匹配的清洗篮中，通过机械臂将清洗篮置于酸性或碱性环境中进行清洗，酸/碱洗完成后，机械臂将清洗篮拿出置于清水中进行冲洗。但在该过程中存在以下问题：不同硅材料清洗时所使用的清洗篮差异较大，为了适应不同清洗篮的尺寸，需要不断调整机械臂实现对不同硅材料的清洗，这大大降低了硅材料的清洗效率，增加了工作人员工作强度。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种适应性高、稳定性强、可以有效提高机械臂工作效率的硅料清洗固定工装。
2、本技术由如下技术方案实施：一种单晶硅料清洗固定工装，包括凵型放置架、限位组件；所述限位组件包括限位架、卡块；
3、所述限位架包括一个与所述凵型放置架的宽度方向平行的连接杆、至少一个与所述凵型放置架的长度方向平行的限位杆；所述限位杆的一端与所述连接杆的内壁固定连接；所述限位杆的另一端的外周面上设有限位槽；
4、所述凵型放置架的第一竖直支撑板的上部开设有凹槽，所述凹槽的内壁与所述连接杆铰接；所述凵型放置架的第二竖直支撑板的顶面开设有与所述限位杆匹配的放置槽；
5、所述卡块的一端与所述第二竖直支撑板的外壁铰接，所述卡块的中部开设有与所述限位槽过盈配合的卡接槽。
6、优选的，所述第二竖直支撑板的外壁上设有靠近所述
7、优选的，所述限位杆的外周面上固定设有限位板。
8、优选的，所述第一竖直支撑板与所述第二竖直支撑板的边部之间固定连接有至少一个连杆。
9、优选的，所述第一竖直支撑板、所述第二竖直支撑板的侧壁上均固定设有至少一个把手。
10、优选的，设置在所述凵型放置架底部的水平支撑板的顶面边部设有凸起。
11、优选的，所述第一竖直支撑板、所述第二竖直支撑板、所述水平支撑板的板面上开设有通液孔。
12、本技术的优点：结构简单、适应性高，凵型放置架可以用于放置多种规格的清洗篮，在对硅材料进行清洗时，无需根据清洗篮尺寸对机械臂进行多次调整，有效提高了硅材料的清洗效率；在放置好清洗篮后，通过限位组件对清洗篮进行限位，防止其在清洗过程中发生晃动，稳定性高，保证了硅料清理质量。
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1.一种单晶硅料清洗固定工装，其特征在于，包括凵型放置架、限位组件；所述限位组件包括限位架、卡块；
2.根据权利要求1所述的一种单晶硅料清洗固定工装，其特征在于，所述第二竖直支撑板的外壁上设有靠近所述放置槽的铰接轴，所述卡块的一端转动设置在所述铰接轴的外周面上。
3.根据权利要求1或2所述的一种单晶硅料清洗固定工装，其特征在于，所述限位杆的外周面上固定设有限位板。
4.根据权利要求3所述的一种单晶硅料清洗固定工装，其特征在于，所述第一竖直支撑板与所述第二竖直支撑板的边部之间固定连接有至少一个连杆。
5.根据权利要求4所述的一种单晶硅料清洗固定工装，其特征在于，所述第一竖直支撑板、所述第二竖直支撑板的侧壁上均固定设有至少一个把手。
6.根据权利要求4或5所述的一种单晶硅料清洗固定工装，其特征在于，设置在所述凵型放置架底部的水平支撑板的顶面边部设有凸起。
7.根据权利要求6所述的一种单晶硅料清洗固定工装，其特征在于，所述第一竖直支撑板、所述第二竖直支撑板、所述水平支撑板的板面上开设有通液孔。
【技术特征摘要】
1.一种单晶硅料清洗固定工装，其特征在于，包括凵型放置架、限位组件；所述限位组件包括限位架、卡块；
2.根据权利要求1所述的一种单晶硅料清洗固定工装，其特征在于，所述第二竖直支撑板的外壁上设有靠近所述放置槽的铰接轴，所述卡块的一端转动设置在所述铰接轴的外周面上。
3.根据权利要求1或2所述的一种单晶硅料清洗固定工装，其特征在于，所述限位杆的外周面上固定设有限位板。
4.根据权利要求3所述的一种单晶硅料清洗固定工装，其特征在于，所述第一竖直支撑板与...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘丁源，罗利明，张帅，吴晓霞，武亚宇，
申请(专利权)人：呼和浩特市欧通能源科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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