【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种硅晶圆隐裂动态检测装置，属于硅晶圆隐裂检测。
技术介绍
1、硅片在被制作为光伏组件的电池片之前，需要经过硅片分选机进行分选，硅片分选机用于检测硅片的质量并对不同质量的硅片进行分类或传出，其中目前硅片分选机对硅片隐裂的检测，主要是利用红外光源在硅片下方进行照射，由相应的相机识别是否有黑色的裂缝以判断硅晶圆是否具有隐裂，这种方式中，若仅设置一个相机位于光源的上方，那么对于竖向的隐裂则不具有良好的检测效果，容易导致检测缺陷，若直接驱动相机旋转进行二次检测，则相机原有的适宜视野范围将会发生改变，需要升高相机以确保视野范围合适，但此种方式又会使目标成像比例过小，容易导致图像失真，因此目前的技术方案主要采用两组拍摄方向不平行的相机同时对硅晶圆进行拍摄识别，但这种方式因为需要额外设置一组高清摄像头及系统，因此导致设备成本较高。
技术实现思路
1、本技术的目的在于克服现有技术中的不足，提供一种硅晶圆隐裂动态检测装置，用于在电池片的隐裂检测中驱动检测相机在水平方向移动的同时进行旋转，可以在确保视野范围不失真的情况下在不同的位置进行拍照检测，使用方便且可节省设备的检测成本。
2、为实现上述目的，本技术是采用下述技术方案实现的：
3、本技术提供的一种硅晶圆隐裂动态检测装置，包括红外光源、支架、第一驱动组件、随动组件以及相机；
4、所述红外光源用于向流线上的硅晶圆照射红外光；
5、所述第一驱动组件设置于所述支架上，所述第一驱动组件的输出端能够沿
6、所述随动组件转动设置于所述第一驱动组件的输出端上，所述随动组件呈一圆盘状，所述随动组件的顶面或底面与一设置的水平面向接触，所述随动组件用于在第一驱动组件的输出端移动时发生转动；
7、所述相机固定设置于所述随动组件上。
8、具体的，所述第一驱动组件包括滑轨以及丝杆传动模组，所述滑轨以及丝杆传动模组均固定安装于所述支架上，所述滑轨上滑动设置有滑块，所述滑块的延伸部与丝杆传动模组的丝杆螺纹连接。
9、具体的，还包括底座和第二驱动模组，所述支架沿竖直方向滑动设置于所述底座上，所述第二驱动模组的输出端上设有连接件，所述第二驱动模组用于驱动连接件在竖直方向上升降，所述连接件与所述支架固定连接。
10、具体的，所述支架的整体结构呈l型，所述随动组件的一侧抵接在支架一侧的水平面上。
11、具体的，所述支架上安装有齿条，所述随动组件的外圆设有用于与齿条相啮合的齿牙。
12、具体的，所述随动组件远离支架的一侧安装有延长杆，所述延长杆的端部设有安装板，所述相机固定设置于所述安装板上。
13、具体的，所述相机所在视野的指向竖直向下时，所述相机的动作位置位于红外光源正上方的居中位置。
14、与现有技术相比，本技术所达到的有益效果：
15、本技术提供的动态检测装置，利用第一驱动组件的动作可以直接带动相机的横移以及旋转，可以在不同的检测工位进行拍摄检测，可以确保优异视野范围的同时对硅晶圆进行不同角度的隐裂观察，此外，通过此种方式设置的组件构件，仅需要一个动力源即可以实现上述功能，控制过程更为简单且不易产生差错；
16、本技术通过额外设置第二动力组件对支架进行升降，可以在相机难以判断硅片是否有隐裂时进行下降，将相机的视野对准疑惑位置并进行放大，有利于提升检测准确率。
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1.一种硅晶圆隐裂动态检测装置，其特征在于，包括红外光源（9）、支架（2）、第一驱动组件、随动组件（7）以及相机（8）；
2.根据权利要求1所述的一种硅晶圆隐裂动态检测装置，其特征在于，所述第一驱动组件包括滑轨（4）以及丝杆传动模组（6），所述滑轨（4）以及丝杆传动模组（6）均固定安装于所述支架（2）上，所述滑轨（4）上滑动设置有滑块（5），所述滑块（5）的延伸部与丝杆传动模组（6）的丝杆螺纹连接。
3.根据权利要求1所述的一种硅晶圆隐裂动态检测装置，其特征在于，还包括底座（1）和第二驱动模组（10），所述支架（2）沿竖直方向滑动设置于所述底座（1）上，所述第二驱动模组（10）的输出端上设有连接件（11），所述第二驱动模组（10）用于驱动连接件（11）在竖直方向上升降，所述连接件（11）与所述支架（2）固定连接。
4.根据权利要求1所述的一种硅晶圆隐裂动态检测装置，其特征在于，所述支架（2）的整体结构呈L型，所述随动组件（7）的一侧抵接在支架（2）一侧的水平面上。
5.根据权利要求1所述的一种硅晶圆隐裂动态检测装置，其特征在于，所述
6.根据权利要求1所述的一种硅晶圆隐裂动态检测装置，其特征在于，所述随动组件（7）远离支架（2）的一侧安装有延长杆（12），所述延长杆（12）的端部设有安装板（13），所述相机（8）固定设置于所述安装板（13）上。
7.根据权利要求1所述的一种硅晶圆隐裂动态检测装置，其特征在于，所述相机（8）所在视野的指向竖直向下时，所述相机（8）的动作位置位于红外光源（9）正上方的居中位置。
...【技术特征摘要】
1.一种硅晶圆隐裂动态检测装置，其特征在于，包括红外光源（9）、支架（2）、第一驱动组件、随动组件（7）以及相机（8）；
2.根据权利要求1所述的一种硅晶圆隐裂动态检测装置，其特征在于，所述第一驱动组件包括滑轨（4）以及丝杆传动模组（6），所述滑轨（4）以及丝杆传动模组（6）均固定安装于所述支架（2）上，所述滑轨（4）上滑动设置有滑块（5），所述滑块（5）的延伸部与丝杆传动模组（6）的丝杆螺纹连接。
3.根据权利要求1所述的一种硅晶圆隐裂动态检测装置，其特征在于，还包括底座（1）和第二驱动模组（10），所述支架（2）沿竖直方向滑动设置于所述底座（1）上，所述第二驱动模组（10）的输出端上设有连接件（11），所述第二驱动模组（10）用于驱动连接件（11）在竖直方向上升降，所述连接件（11）与所述支架（2）固定连接。...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵智亮，高开中，李德刚，
申请(专利权)人：苏州艺力鼎丰智能技术有限公司，
类型：新型
国别省市：
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