【技术实现步骤摘要】
本技术涉及抛光设备，尤其涉及一种具有清洁装置的碳化硅抛光机。
技术介绍
1、在加工碳化硅的工序中需要对碳化硅的表面进行抛光处理，而现有的申请号为：201620383539.4的：一种具有清洁装置的碳化硅抛光机，包括底座，所述底座的上侧面设有固定板以及由电机带动进行旋转的第一抛光平台和第二抛光平台，所述第一抛光平台的一侧设有垂直安装于底座的打磨装置，所述打磨装置包括位于第一抛光平台正上方的打磨棒；所述的固定板上设置有储液仓、储水箱和抛光装置，所述的抛光装置包括位于第二抛光平台正上方的抛光片，所述的储液仓、储水箱底端分别连通抛光液输送管一端、导水管一端，抛光液输送管另一端连接有位于第二抛光平台正上方的第一喷头，导水管另一端连接有位于第一抛光平台正上方的第二喷头和位于第二抛光平台正上方的第三喷头；所述的底座周围设有废液收集槽。
2、上述技术在使用时，虽然具备了可对片状或板状的碳化硅件进行抛光以及抛光后进行清洁的效果，但其并未设置可对碳化硅件进行夹持的部件，从而导致碳化硅件在加工过程中易移位，进而导致设备的抛光部件无法充分的对碳化硅件进行抛光处理，且仅能对碳化硅件的一面进行抛光，由此使得上述设备在使用时实用性有待提高；因此，为了解决上述技术问题，我们提出了一种具有清洁装置的碳化硅抛光机。
技术实现思路
1、本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种具有清洁装置的碳化硅抛光机。
2、为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
3、一种具有清
4、优选的，所述换位板后侧表面的两端通过固定块共同安装有齿条，机体后侧表面安装有的配合第二电机，第二电机的输出端对应齿条安装有相配合的主动轮。
5、优选的，所述安装腔远离换位板的一端均贯穿机体并安装有安装板，电缸均在安装板表面。
6、优选的，所述机体上下两端的两侧均安装有储液箱，储液箱内部安装有泵，各泵的输出端通过连接管与各抛光液喷头与清洗液喷头相连接。
7、优选的，所述安装腔内部且靠近换位板的一端安装有稳定板，稳定板套设在连动杆外部，且抛光液喷头与清洗液喷头分别安装在稳定板的两端，位于机体下端的安装腔下端后侧安装有排液管。
8、优选的，所述螺杆延伸至换位板外部的一端设有转动手柄，螺杆位于换位板内部的杆体上套设有顶簧。
9、优选的，所述夹持架延伸至放置口内部的两端均安装有第一防护块，放置口内部远离夹持架的一侧对应第一防护块安装有相配合的第二防护块。
10、本技术提出的一种具有清洁装置的碳化硅抛光机，有益效果在于：
11、1：本技术中电缸推动安装壳、第一电机以及连动杆进行移动，直至抛光垫抵接在碳化硅件两侧表面，且在此过程中可根据电缸所感受到的压力对其输出端的伸出长度进行调节，直至两个电缸施加到碳化硅件表面的压力相同，由此可避免其中一个抛光垫与碳化硅件表面接触过紧或过松，且也可适应不同厚度的碳化硅件加工使用，同时也可对人员夹持碳化硅件时其位置的不同而进行适应，由此本方案不仅解决了传统方案中仅能对碳化硅件进行单面抛光而导致其加工效率低下的缺陷，且在换位板的作用下，使得设备仅在换位板移动过程中处于暂停加工的状态，即设备加工连续性更好。
12、2：本技术中齿条、第二电机与主动轮的设置，使得第二电机可通过主动轮带动齿条移动，从而带动换位板移动，由此实现设备使用时自动进出料的效果，即提升设备使用时的便捷性；安装板的设置，便于人员对安装腔内各零部件进行安装与拆卸以及检修；稳定板的设置，便于对抛光液喷头与清洗液喷头进行稳定安装，而排液管的设置，则便于对使用后的废水进行集中收集，以便于后续设施对其进行相应的净化处理；顶簧的设置，便于提升螺杆转动时的阻力，从而使得夹持架在使用时更稳定，即可对碳化硅件起到更稳定的夹持效果。
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1.一种具有清洁装置的碳化硅抛光机，包括机体(1)，其特征在于，所述机体(1)的中部滑动设有换位板(2)，换位板(2)两端的内部均设有碳化硅件放置口，换位板(2)两端的端部对应放置口通过螺杆(3)安装有夹持架(4)，机体(1)内部的上下两端对应换位板(2)的放置口均设有安装腔，安装腔内远离换位板(2)的一端均通过电缸(5)连接有安装壳(6)，安装壳(6)内部安装有第一电机(7)，第一电机(7)的输出端连接有连动杆(8)，连动杆(8)远离第一电机(7)的一端延伸至安装壳(6)外部并对应放置口安装有抛光垫(9)，安装腔内部靠近换位板(2)的一端分别安装有抛光液喷头(10)与清洗液喷头(11)。
2.根据权利要求1所述的一种具有清洁装置的碳化硅抛光机，其特征在于，所述换位板(2)后侧表面的两端通过固定块共同安装有齿条(12)，机体(1)后侧表面安装有的配合第二电机(13)，第二电机(13)的输出端对应齿条(12)安装有相配合的主动轮(14)。
3.根据权利要求1所述的一种具有清洁装置的碳化硅抛光机，其特征在于，所述安装腔远离换位板(2)的一端均贯穿机体(1)并安
4.根据权利要求1所述的一种具有清洁装置的碳化硅抛光机，其特征在于，所述机体(1)上下两端的两侧均安装有储液箱(16)，储液箱(16)内部安装有泵(17)，各泵(17)的输出端通过连接管与各抛光液喷头(10)与清洗液喷头(11)相连接。
5.根据权利要求4所述的一种具有清洁装置的碳化硅抛光机，其特征在于，所述安装腔内部且靠近换位板(2)的一端安装有稳定板(18)，稳定板(18)套设在连动杆(8)外部，且抛光液喷头(10)与清洗液喷头(11)分别安装在稳定板(18)的两端，位于机体(1)下端的安装腔下端后侧安装有排液管。
6.根据权利要求1所述的一种具有清洁装置的碳化硅抛光机，其特征在于，所述螺杆(3)延伸至换位板(2)外部的一端设有转动手柄，螺杆(3)位于换位板(2)内部的杆体上套设有顶簧(19)。
7.根据权利要求1所述的一种具有清洁装置的碳化硅抛光机，其特征在于，所述夹持架(4)延伸至放置口内部的两端均安装有第一防护块，放置口内部远离夹持架(4)的一侧对应第一防护块安装有相配合的第二防护块。
...【技术特征摘要】
1.一种具有清洁装置的碳化硅抛光机，包括机体(1)，其特征在于，所述机体(1)的中部滑动设有换位板(2)，换位板(2)两端的内部均设有碳化硅件放置口，换位板(2)两端的端部对应放置口通过螺杆(3)安装有夹持架(4)，机体(1)内部的上下两端对应换位板(2)的放置口均设有安装腔，安装腔内远离换位板(2)的一端均通过电缸(5)连接有安装壳(6)，安装壳(6)内部安装有第一电机(7)，第一电机(7)的输出端连接有连动杆(8)，连动杆(8)远离第一电机(7)的一端延伸至安装壳(6)外部并对应放置口安装有抛光垫(9)，安装腔内部靠近换位板(2)的一端分别安装有抛光液喷头(10)与清洗液喷头(11)。
2.根据权利要求1所述的一种具有清洁装置的碳化硅抛光机，其特征在于，所述换位板(2)后侧表面的两端通过固定块共同安装有齿条(12)，机体(1)后侧表面安装有的配合第二电机(13)，第二电机(13)的输出端对应齿条(12)安装有相配合的主动轮(14)。
3.根据权利要求1所述的一种具有清洁装置的碳化硅抛光机，其特征在于，所述安装腔远离换位板(2)的一端均贯穿机体(1)并安装有安装板...
【专利技术属性】
技术研发人员：邵枫萍，
申请(专利权)人：无锡云岭半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：
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