【技术实现步骤摘要】
本技术涉及位光学设备，尤其涉及一种位移驱动台、驱动装置及光学设备。
技术介绍
1、在半导体领域，通常会使用直线驱动机构驱动执行部件(包括机械部件、光学器件)进行直线移动、换位。例如，在晶圆检测过程中，通常会采用直线驱动机构驱动挡板相对于光阑板移动，以实现光源的光线的通断。
2、相关技术中，直线驱动机构包括相连接的伺服电机与丝杆导轨结构，伺服电机驱动丝杆转动，丝杆驱动丝杆上的螺母座直线运动。又因为遮挡板与螺母座相连接，所以直线驱动机构驱动遮挡帮相对于光阑板移动，以实现光源光线的通断。
3、然而，在一些光学应用环境中，需要保持光线应用环境的洁净度，以保证光源光线的质量。由于伺服电机带有润滑脂，润滑脂具有挥发性，导致光学应用环境洁净度较差，影响光源光线的质量。
技术实现思路
1、本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本技术提出了一种位移驱动台，保证光学设备的应用环境。
2、第一方面，本申请实施例提供了一种位移驱动台，所述位移驱动台应用于光学设备，所述位移驱动台包括：
3、相连接的底座与壳体，所述壳体限定有相连通的密封腔与伸出孔；
4、驱动组件，包括驱动件与位移台，所述驱动件包括相连接的驱动件本体与驱动轴，所述驱动件本体设置于所述密封腔，所述驱动轴穿设于所述伸出孔；
5、密封组件，设置于所述底座且套设于所述驱动轴，用于密封所述驱动轴的侧壁与所述伸出孔的孔壁之间的间隙。
6、根据本技术的一些实
7、根据本技术的一些实施例，所述密封组件还包括保持环，所述保持环与所述壳体相连接，并套设于所述驱动轴，所述保持环用于使所述密封圈保持于所述伸出孔的侧壁。
8、根据本技术的一些实施例，所述伸出孔具有轴向面向所述密封腔的第一台阶面，所述保持环用于保持所述密封圈贴合于所述第一台阶面；
9、或，所述伸出孔具有轴向面向所述壳体的外侧的第一台阶面，所述保持环用于保持所述密封圈贴合于所述第一台阶面。
10、根据本技术的一些实施例，所述保持环的外壁与所述伸出孔的孔壁螺纹连接；或，所述保持环的外壁与所述伸出孔的孔壁过盈配合。
11、根据本技术的一些实施例，所述壳体包括壳体本体与安装环，所述壳体本体设置于所述底座，并限定有相连通的所述密封腔与安装口，所述安装环可拆卸连接于所述安装口，且所述安装环限定出所述伸出孔。
12、根据本技术的一些实施例，所述驱动件为直线步进电机。
13、根据本技术的一些实施例，所述壳体的底部还限定有与所述密封腔相连通的安装口，所述安装口的内端部面向所述伸出孔设置；所述底座与所述壳体的底部相连接，用于封闭所述安装口，且所述底座的内侧开设有面向所述伸出孔设置的让位槽。
14、根据本技术的一些实施例，所述密封腔的腔壁限定有面向所述安装口的第二台阶面，所述第二台阶面开设有螺纹孔；所述驱动件本体靠近所述伸出孔的端面与所述第二台阶面相抵持，所述驱动件本体开设有贯穿所述驱动件本体两端的通孔，且所述通孔与所述螺纹孔同中心轴设置。
15、根据本技术的一些实施例，所述位移台包括相连接的连接部与安装部，所述连接部与所述驱动轴的外端部相连接，所述安装部与所述壳体相对于所述底座设置于相同高度区域内。
16、根据本技术的一些实施例，所述位移驱动台还包括导向结构，所述导向结构的一个滑台设置于所述壳体的外壁，所述导向结构的另一个滑台与所述安装部靠近所述壳体的一侧相连接。
17、根据本技术的一些实施例，所述位移驱动台还包括光栅尺、位置识别磁体与读头，其中，所述光栅尺设置于所述安装部远离所述壳体的一侧，并沿所述驱动轴的轴向方向延伸设置；所述位置识别磁体设置于所述安装部远离所述壳体的一侧，并位于所述光栅尺的延伸路径上；所述读头设置于所述底座，用于面向所述光栅尺设置。
18、第二方面，本申请实施例提供了一种驱动装置，包括一个或多个上述的位移驱动台，其中，所述位移驱动台依次相连接，且一个所述位移驱动台的位移台与另一个所述位移驱动台的底座相连接。
19、第三方面，本申请实施例提供了一种光学设备，包括：
20、上述的驱动装置；
21、执行部件，与所述驱动装置的位移台相连接。
22、从以上技术方案可以看出，本申请实施例具有以下优点：1、驱动件在应用过程中，驱动件的驱动件本体位于壳体内侧的密封腔内，且密封组件密封驱动轴在伸出孔的间隙，从而保证驱动件本体工作于一个较佳的密封空间内。因此，驱动件本体带有的润滑脂不易挥发到光学设备的应用环境中，从而保证了应用环境具有较好的洁净度以及较低的环境湿度，进而保证了光源光线的质量。2、在一些光学应用环境中，位移驱动台还可能应用于强紫外线的应用环境里。基于强紫外线的应用环境，可以理解的是，驱动件本体设置于密封腔内，这样设置，可以有效地避免驱动件本体的由塑胶制作的电气线缆及接头等受到辐射而老化，保证了驱动件本体的使用寿命，从而保证了位移驱动台的使用寿命。
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1.位移驱动台，其特征在于，所述位移驱动台应用于光学设备，所述位移驱动台包括：
2.根据权利要求1所述的位移驱动台，其特征在于，所述密封组件包括密封圈，所述密封圈设置于所述伸出孔的孔壁，并套设于所述驱动轴。
3.根据权利要求2所述的位移驱动台，其特征在于，所述密封组件还包括保持环，所述保持环与所述壳体相连接，并套设于所述驱动轴，所述保持环用于使所述密封圈保持于所述伸出孔的侧壁。
4.根据权利要求3所述的位移驱动台，其特征在于，所述伸出孔具有轴向面向所述密封腔的第一台阶面，所述保持环用于保持所述密封圈贴合于所述第一台阶面；
5.根据权利要求3所述的位移驱动台，其特征在于，所述保持环的外壁与所述伸出孔的孔壁螺纹连接；或，所述保持环的外壁与所述伸出孔的孔壁过盈配合。
6.根据权利要求1至5中任意一项所述的位移驱动台，其特征在于，所述壳体包括壳体本体与安装环，所述壳体本体设置于所述底座，并限定有相连通的所述密封腔与安装口，所述安装环可拆卸连接于所述安装口，且所述安装环限定出所述伸出孔。
7.根据权利要求1所述的位移驱
8.根据权利要求1所述的位移驱动台，其特征在于，所述壳体的底部还限定有与所述密封腔相连通的安装口，所述安装口的内端部面向所述伸出孔设置；所述底座与所述壳体的底部相连接，用于封闭所述安装口，且所述底座的内侧开设有面向所述伸出孔设置的让位槽。
9.根据权利要求8所述的位移驱动台，其特征在于，所述密封腔的腔壁限定有面向所述安装口的第二台阶面，所述第二台阶面开设有螺纹孔；所述驱动件本体靠近所述伸出孔的端面与所述第二台阶面相抵持，所述驱动件本体开设有贯穿所述驱动件本体两端的通孔，且所述通孔与所述螺纹孔同中心轴设置。
10.根据权利要求1所述的位移驱动台，其特征在于，所述位移台包括相连接的连接部与安装部，所述连接部与所述驱动轴的外端部相连接，所述安装部与所述壳体相对于所述底座设置于相同高度区域内。
11.根据权利要求10所述的位移驱动台，其特征在于，所述位移驱动台还包括导向结构，所述导向结构的一个滑台设置于所述壳体的外壁，所述导向结构的另一个滑台与所述安装部靠近所述壳体的一侧相连接。
12.根据权利要求10所述的位移驱动台，其特征在于，所述位移驱动台还包括光栅尺、位置识别磁体与读头，其中，所述光栅尺设置于所述安装部远离所述壳体的一侧，并沿所述驱动轴的轴向方向延伸设置；所述位置识别磁体设置于所述安装部远离所述壳体的一侧，并位于所述光栅尺的延伸路径上；所述读头设置于所述底座，用于面向所述光栅尺设置。
13.一种驱动装置，其特征在于，包括一个或多个权利要求1至12中任意一项所述的位移驱动台，其中，所述位移驱动台依次相连接，且一个所述位移驱动台的位移台与另一个所述位移驱动台的底座相连接。
14.光学设备，其特征在于，包括：
...【技术特征摘要】
1.位移驱动台，其特征在于，所述位移驱动台应用于光学设备，所述位移驱动台包括：
2.根据权利要求1所述的位移驱动台，其特征在于，所述密封组件包括密封圈，所述密封圈设置于所述伸出孔的孔壁，并套设于所述驱动轴。
3.根据权利要求2所述的位移驱动台，其特征在于，所述密封组件还包括保持环，所述保持环与所述壳体相连接，并套设于所述驱动轴，所述保持环用于使所述密封圈保持于所述伸出孔的侧壁。
4.根据权利要求3所述的位移驱动台，其特征在于，所述伸出孔具有轴向面向所述密封腔的第一台阶面，所述保持环用于保持所述密封圈贴合于所述第一台阶面；
5.根据权利要求3所述的位移驱动台，其特征在于，所述保持环的外壁与所述伸出孔的孔壁螺纹连接；或，所述保持环的外壁与所述伸出孔的孔壁过盈配合。
6.根据权利要求1至5中任意一项所述的位移驱动台，其特征在于，所述壳体包括壳体本体与安装环，所述壳体本体设置于所述底座，并限定有相连通的所述密封腔与安装口，所述安装环可拆卸连接于所述安装口，且所述安装环限定出所述伸出孔。
7.根据权利要求1所述的位移驱动台，其特征在于，所述驱动件为直线步进电机。
8.根据权利要求1所述的位移驱动台，其特征在于，所述壳体的底部还限定有与所述密封腔相连通的安装口，所述安装口的内端部面向所述伸出孔设置；所述底座与所述壳体的底部相连接，用于封闭所述安装口，且所述底座的内侧开设有面向所述伸出孔...
【专利技术属性】
技术研发人员：林思引，张龙，杨洋，陈鲁，张嵩，
申请(专利权)人：深圳中科飞测科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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