【技术实现步骤摘要】
本申请涉及四极质谱仪，具体涉及一种离子源。
技术介绍
1、随着工业发展的不断推进，四极质谱仪作为一种重要的气体组分分析仪器，在气体检测、工业废气检测、化学气体产生监测等领域得到了广泛的应用。四极质谱仪的核心组件之一是离子源，离子源的功能是将中性原子或分子电离成离子，以供后续的质量分析。然而，市场上的高压离子源产品在使用过程中，普遍存在一些技术问题。
2、首先，部分高压离子源产品缺少总压检测功能。对于需要精确控制真空腔体压力的设备而言，无法直接读取当前腔体的气体总压力，增加了系统的使用成本和不确定性。为了满足检测需求，通常需要外接真空压力检测系统，这不仅增加了设备的体积和复杂性，还可能影响系统的稳定性和精度。
3、其次，一些高压离子源产品的结构开放程度较高，缺乏有效的屏蔽功能。离子源在工作时会产生大量的电子和离子，部分电子和离子容易逸出离子源，对真空腔体造成污染，影响系统质量与稳定性。特别是对于真空镀膜设备等对真空环境要求较高的应用场景，这种影响尤为明显。
4、此外，现有高压离子源产品在电势场分布和离子信号分配等方面也存在不足。电势场分布不合理可能导致离子信号不稳定，影响检测结果的准确性。同时，离子信号分配不均也可能导致分压检测不准确，进一步影响系统的稳定性和可靠性。
5、为了解决现有高压离子源的性能和稳定性较差、需要外接设备、以及使用难度较大的问题，本申请提供了一种离子源。
技术实现思路
1、鉴于现有技术中高压离子源存在的上述缺陷，本
2、为实现上述目的及其他相关目的，本申请提供一种离子源，包括：
3、总压板，所述总压板包括总压板电极、以及设置于总压板电极两侧的总压板连接件；
4、离化笼，所述离化笼包括离化筒、灯丝座和阳极底板；所述离化筒设置于所述阳极底板上，为中空结构，且包括第一开口端、第二开口端、以及围绕所述离化筒的壁面的周向设置的第一网状孔；所述灯丝座的中心开设有第一开孔，所述第一开孔套接于所述第一开口端，且所述灯丝座的上端面与所述离化筒的上端面齐平；所述灯丝座与所述总压板连接件之间设置陶瓷环及陶瓷垫，且所述灯丝座与所述总压板连接件之间紧固连接；所述阳极底板的中心开设有第二开孔，所述第二开孔与所述第二开口端连通；
5、灯丝组件，所述灯丝组件包括灯丝电极和灯丝，所述灯丝电极固定于所述灯丝座的下端面，所述灯丝与所述灯丝电极连接；
6、屏蔽笼，所述屏蔽笼包括屏蔽笼本体和屏蔽笼连接件，所述屏蔽笼本体为中空结构，且围绕所述屏蔽笼本体的壁面的周向开设有第二网状孔，所述屏蔽笼本体套设于所述离化筒的外侧，所述屏蔽笼连接件与所述阳极底板固定连接，所述灯丝位于所述屏蔽笼本体与所述离化笼筒之间；
7、引出电极，所述引出电极的中心开设有第三开孔，所述第三开孔与所述阳极底板的第二开孔连通。
8、可选地，所述灯丝电极与所述灯丝座之间设置有陶瓷环及陶瓷垫片，并通过螺栓螺母紧固连接。
9、可选地，所述灯丝组件包括一根所述灯丝和两片所述灯丝电极，所述灯丝的两端分别与两片所述灯丝电极连接。
10、可选地，所述灯丝组件包括两根所述灯丝和三片所述灯丝电极，其中一片所述灯丝电极分别与两根所述灯丝的一端连接，两根所述灯丝的另一端分别与其余两片所述灯丝电极连接。
11、可选地，所述屏蔽笼本体的高度中心位于所述灯丝座的下端面与所述阳极底板的上端面的正中间。
12、可选地，所述第一网状孔沿部分所述离化筒的壁面的周向设置，且所述第一网状孔的网孔形状为正六边形。
13、可选地，所述第二网状孔沿部分所述屏蔽笼本体的壁面的周向设置，且所述第二网状孔的网孔形状为正六边形。
14、可选地，所述阳极底板的上端面对称设置有两个柱状件，且所述柱状件的上端设置有螺纹，所述灯丝座与所述柱状件的上端之间设置有陶瓷环及陶瓷垫，并通过螺母紧固连接；
15、所述总压板固定于所述柱状件的上端，且两者之间设置有陶瓷环。
16、可选地，所述离子源还包括离子源底座，所述离子源底座与所述引出电极、所述阳极底板通过锁紧件连接；所述离子源底座的中心开设有第四开孔，且所述离子源底座与四极质谱仪的极杆屏蔽筒连接并导通。
17、可选地，所述总压板电极、所述离化筒、所述灯丝、以及所述屏蔽笼本体同轴设置。
18、如上所述，本申请的离子源，至少具有以下有益效果：
19、本申请的离子源，包括总压板、离化笼、灯丝组件、屏蔽笼和引出电极，总压板用于检测当前环境的气体总压力；设置于离化笼与屏蔽笼之间的灯丝的主要功能是发射出电子，电子在屏蔽笼和离化笼电势差的作用下，朝离化笼内运动；电子进入离化笼后轰击内部的样品气体分子或原子，从而产生正离子；屏蔽笼主要起限制电子运动的作用，同时还能吸收部分向离子源外部运动的离子；引出电极则是将离化笼内产生的正离子聚焦并引入到四级杆质量选择器内。本申请提供的离子源不仅能够准确检测气体总压力，还具有良好的屏蔽功能，能够有效减少电子和离子的逸出，降低对真空腔体的污染；同时，通过优化电势场分布和离子信号分配，提高系统的稳定性和可靠性。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种离子源，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的离子源，其特征在于，所述灯丝电极与所述灯丝座之间设置有陶瓷环及陶瓷垫片，并通过螺栓螺母紧固连接。
3.根据权利要求1或2所述的离子源，其特征在于，所述灯丝组件包括一根所述灯丝和两片所述灯丝电极，所述灯丝的两端分别与两片所述灯丝电极连接。
4.据权利要求1或2所述的离子源，其特征在于，所述灯丝组件包括两根所述灯丝和三片所述灯丝电极，其中一片所述灯丝电极分别与两根所述灯丝的一端连接，两根所述灯丝的另一端分别与其余两片所述灯丝电极连接。
5.据权利要求1所述的离子源，其特征在于，沿垂直方向，所述屏蔽笼本体的高度中心位于所述灯丝座的下端面与所述阳极底板的上端面的正中间。
6.根据权利要求1所述的离子源，其特征在于，所述第一网状孔沿部分所述离化筒的壁面的周向设置，且所述第一网状孔的网孔形状为正六边形。
7.根据权利要求1所述的离子源，其特征在于，所述第二网状孔沿部分所述屏蔽笼本体的壁面的周向设置，且所述第二网状孔的网孔形状为正六边形。
8.根据权利
9.根据权利要求1所述的离子源，其特征在于，还包括离子源底座，所述离子源底座与所述引出电极、所述阳极底板通过锁紧件连接；所述离子源底座的中心开设有第四开孔，且所述离子源底座与四极质谱仪的极杆屏蔽筒连接并导通。
10.根据权利要求1所述的离子源，其特征在于，所述总压板电极、所述离化筒、所述灯丝、以及所述屏蔽笼本体同轴设置。
...【技术特征摘要】
1.一种离子源，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的离子源，其特征在于，所述灯丝电极与所述灯丝座之间设置有陶瓷环及陶瓷垫片，并通过螺栓螺母紧固连接。
3.根据权利要求1或2所述的离子源，其特征在于，所述灯丝组件包括一根所述灯丝和两片所述灯丝电极，所述灯丝的两端分别与两片所述灯丝电极连接。
4.据权利要求1或2所述的离子源，其特征在于，所述灯丝组件包括两根所述灯丝和三片所述灯丝电极，其中一片所述灯丝电极分别与两根所述灯丝的一端连接，两根所述灯丝的另一端分别与其余两片所述灯丝电极连接。
5.据权利要求1所述的离子源，其特征在于，沿垂直方向，所述屏蔽笼本体的高度中心位于所述灯丝座的下端面与所述阳极底板的上端面的正中间。
6.根据权利要求1所述的离子源，其特征在于，所述第一网状孔沿部分所述离...
【专利技术属性】
技术研发人员：汪晨韬，李良宇，朱伟平，
申请(专利权)人：奕瑞影像科技成都有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。