【技术实现步骤摘要】
本技术涉及石墨盘治具，具体的，涉及一种石墨盘治具。
技术介绍
1、当mocvd设备在外延制程过程中，一般是通过石墨盘作为承载外延片的载具，但是在生产过程中会产生大量的附着物附着在石墨盘的表面。为了保证石墨盘再次利用时能够满足外延工艺的需求，需要清除掉附着在石墨盘表面的附着物，如若不清除掉附着在石墨盘表面的附着物，将会影响新一轮外延片生长的温度及生长的均匀度，从而影响外延片的良率。石墨盘清除附着物的方法通常是石墨盘置于石墨盘治具内，经过真空高温烤炉烘烤，在真空高温中利用高温腐蚀气体与石墨盘上的残留物进行反应，从而实现对石墨盘上的残留物的清洗清除效果。
2、目前比较常见的石墨盘治具为安装有多个横梁的烘烤架，每个横梁上设有若干个卡槽，对应的卡槽构成石墨盘的圆周边，该石墨盘置于烘烤架的卡槽内固定。这种方式需将石墨盘竖立式放置，容易磕碰到石墨盘的正面表面，且石墨盘的正面与卡槽接触的地方无法清洁干净。
3、因此，需要考虑更加优化的石墨盘治具。
技术实现思路
1、本技术的主要目的是提供一种有利于彻底清洁石墨盘正面表面附着物的石墨盘治具。
2、为了实现上述主要目的，本技术提供的石墨盘治具包括放置架，放置架包括第一固定板、第二固定板和石墨盘放置板，第一固定板安装在石墨盘放置板的第一侧，第二固定板安装在石墨盘放置板的第二侧，第一固定板和第二固定板相对设置，石墨盘放置板呈水平设置，第一固定板和第二固定板均与石墨盘放置均呈垂直设置。
3、由上述方案可知，本技
4、进一步的方案中，放置架的数量为至少两个，至少两个放置架层叠安装；相邻两个放置架的石墨盘放置板之间具有间隔。
5、由此可见，放置架的数量至少两个，可便于同时放置多个石墨盘进行清洁，提高清洁效率。
6、进一步的方案中，相邻的两个放置架可拆卸安装。
7、由此可见，相邻的两个放置架可拆卸安装，可便于对石墨盘治具进行拆装，便于根据需要设置放置架的数量。
8、进一步的方案中，第一固定板的顶部设置有第一插槽，第一固定板的底部设置有第一插板；相邻两个放置架的第一固定板通过第一插槽和第一插板配合连接。
9、由此可见，第一固定板通设置第一插槽和第一插板，可便于相邻两个放置架的第一固定板进行拆装，提高拆装效率，同时，可保障两个放置架安装的稳固性。
10、进一步的方案中，第二固定板的顶部设置有第二插槽，第二固定板的底部设置有第二插板；相邻两个放置架的第二固定板通过第二插槽和第二插板配合连接。
11、由此可见，第二固定板通设置第二插槽和第二插板，可便于相邻两个放置架的第二固定板进行拆装，提高拆装效率，同时，可保障两个放置架安装的稳固性。
12、进一步的方案中，第一固定板和第二固定板均通过螺栓与石墨盘放置板固定安装。
13、由此可见，第一固定板和第二固定板均通过螺栓与石墨盘放置板固定安装，可提高安装的稳固性。
14、进一步的方案中，第一固定板的宽度和第二固定板的宽度相等；石墨盘放置板的宽度小于或等于第一固定板的宽度。
15、由此可见，由于烤盘炉降温时，后炉门的风扇会造成气体前后流动，容易把灰尘再次吹扫到石墨盘上，第一固定板的宽度和第二固定板，可起到阻挡气流的作用，石墨盘放置板的宽度小于或等于第一固定板的宽度，可使得第一固定板和第二固定板，更好的阻挡气流，防止石墨盘被污染。
16、进一步的方案中，第一固定板的底部平面、第二固定板的底部平面和石墨盘放置板的底部平面处于同一平面。
17、由此可见，第一固定板的底部平面、第二固定板的底部平面和石墨盘放置板的底部平面处于同一平面，可使得石墨盘放置板尽量低于第一固定板和第二固定板的顶部，可有利于第一固定板和第二固定板阻挡吹向石墨盘的气流。
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1.一种石墨盘治具，包括放置架，其特征在于：
2.根据权利要求1所述的石墨盘治具，其特征在于：
3.根据权利要求2所述的石墨盘治具，其特征在于：
4.根据权利要求3所述的石墨盘治具，其特征在于：
5.根据权利要求3所述的石墨盘治具，其特征在于：
6.根据权利要求1至5任一项所述的石墨盘治具，其特征在于：
7.根据权利要求1至5任一项所述的石墨盘治具，其特征在于：
8.根据权利要求1至5任一项所述的石墨盘治具，其特征在于：
【技术特征摘要】
1.一种石墨盘治具，包括放置架，其特征在于：
2.根据权利要求1所述的石墨盘治具，其特征在于：
3.根据权利要求2所述的石墨盘治具，其特征在于：
4.根据权利要求3所述的石墨盘治具，其特征在于：
5.根据权...
【专利技术属性】
技术研发人员：葛明月，
申请(专利权)人：星钥珠海半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：
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