【技术实现步骤摘要】
本申请涉及蒸发镀膜机，尤其涉及一种真空腔盖板支撑机构、真空腔及蒸发镀膜机。
技术介绍
1、蒸发镀膜机是一种常见的表面处理设备，其利用蒸发的方式将材料转变为蒸汽，并使材料沉积在待加工的薄膜上，以在薄膜上形成所需的镀膜。相关技术中，蒸发镀膜机通常包括真空腔以及安装在可移动的真空腔盖板上的卷绕系统，其中，在镀膜时，真空腔需要抽真空，卷绕系统用于对待加工的薄膜进行放卷，以在放卷的过程中使薄膜被镀膜，同时卷绕系统还用于对已镀膜的薄膜进行收卷。
2、但是存在的问题是，真空腔抽真空后，真空腔盖板通常会因大气压力的作用而容易发生变形，而真空腔盖板又是安装卷绕系统的基础，如果真空腔盖板的变形量过大，则会影响卷绕系统的位置安装精度，进而也会影响镀膜作业的作业精度。
技术实现思路
1、针对相关技术中的上述不足，本申请提供了一种真空腔盖板支撑机构、真空腔及蒸发镀膜机，以解决相关技术中因真空腔盖板易发生变形，而影响卷绕系统位置安装精度的问题。
2、为了解决上述技术问题，第一方面，本申请提供了一种真空腔盖板支撑机构，该机构包括：
3、固定支撑组件，所述固定支撑组件设置于真空腔腔壁的内壁，所述固定支撑组件包括固定块；
4、活动支撑组件，所述活动支撑组件包括活动安装座及沿第一方向可活动设置于所述活动安装座的活动块，所述活动安装座和所述活动块设置于真空腔内，且所述活动安装座设置于真空腔盖板；
5、所述固定块用于在所述活动块沿所述第一方向的正向活动时与所述活
6、在第一方面可能的实现方式中，所述第二方向与所述第一方向垂直。
7、在第一方面可能的实现方式中，所述活动支撑组件还包括：
8、驱动件，所述驱动件设置于所述真空腔盖板；
9、传动杆，所述传动杆沿所述第一方向可滑动地装配于所述真空腔盖板，所述传动杆与所述活动块连接；
10、所述驱动件用于驱动所述传动杆沿所述第一方向的正向滑动以使所述活动块与所述固定块抵接。
11、在第一方面可能的实现方式中，所述传动杆沿所述第一方向贯穿所述真空腔盖板，所述驱动件沿所述第一方向位于所述真空腔盖板背离所述固定块的一侧。
12、在第一方面可能的实现方式中，所述活动支撑组件还包括油壶和导向座，所述导向座固设于所述真空腔盖板，所述传动杆导向穿装于所述导向座且与所述导向座油润滑，所述油壶与所述导向座通过油路连通。
13、在第一方面可能的实现方式中，所述活动块用于随所述真空腔盖板沿所述第一方向的正向活动时与所述固定块接触，所述驱动件用于在所述活动块与所述固定块接触之后驱动所述传动杆沿所述第一方向的正向滑动，以使所述活动块与所述固定块抵接。
14、在第一方面可能的实现方式中，所述传动杆用于在所述活动块与所述固定块接触时相对于所述真空腔盖板沿所述第一方向的反向活动，以与所述驱动件的输出端接触，所述驱动件用于在所述输出端与所述传动杆接触之后驱动所述传动杆沿所述第一方向的正向滑动，以使所述活动块与所述固定块抵接。
15、在第一方面可能的实现方式中，活动支撑组件还包括活动弹性件，所述活动弹性件设置于所述活动块与所述真空腔盖板之间。
16、在第一方面可能的实现方式中，所述活动块绕所述传动杆的轴线可转动地连接于所述传动杆。
17、在第一方面可能的实现方式中，所述活动安装座和所述活动块中的一者上设置有轴线沿所述第一方向延伸的导向轴，另一者上设置有形状与所述导向轴适配的导向槽，所述导向轴为圆柱轴。
18、在第一方面可能的实现方式中，所述导向轴和所述导向槽脂润滑，所述活动安装座上设置有用于接受降解后的润滑脂的接油槽。
19、在第一方面可能的实现方式中，所述固定支撑组件还包括：
20、固定安装座，所述固定块铰接安装于所述固定安装座，所述固定块的铰接轴线的延伸方向与所述第二方向和所述第一方向垂直。
21、在第一方面可能的实现方式中，所述固定安装座和所述固定块之间连接有固定弹性件，在垂直所述铰接轴线的方向上，所述铰接轴线的至少一侧设置有所述固定弹性件。
22、在第一方面可能的实现方式中，所述固定支撑组件还包括设置于所述固定块的减摩件，所述减摩件和所述固定块在所述第一方向的正向上依次布置，所述减摩件用于在所述活动块沿所述第一方向的正向活动时与所述活动块接触，以减小所述活动块与所述固定块之间的摩擦力。
23、在第一方面可能的实现方式中，所述固定块具有第一接触面，所述活动块具有第二接触面，所述第一接触面和所述第二接触面用于在所述活动块与所述固定块抵接时面面相贴；
24、所述第一接触面沿所述第一方向的正向朝靠近所述活动块的方向逐渐倾斜设置；和/或，
25、所述第二接触面沿所述第一方向的反向朝靠近所述固定块的方向逐渐倾斜设置。
26、第二方面，本申请还提供了一种真空腔，该真空腔包括：
27、真空腔腔壁；
28、真空腔盖板；
29、第一方面任一种所述的真空腔盖板支撑机构。
30、第三方面，本申请还提供了一种蒸发镀膜机，该蒸发镀膜机包括：
31、第二方面所述的真空腔；
32、卷绕系统，所述卷绕系统设置于所述真空腔盖板。
33、与现有技术相比，本申请至少具有如下有益效果：
34、本申请中，由于固定支撑组件设置于真空腔腔壁的内壁，活动支撑组件中的活动块和活动安装座设置于真空腔内，且由于固定块用于在活动块沿第一方向的正向活动时与活动块抵接，以通过活动块沿第二方向的正向对活动安装座施加作用力，使设置于真空腔盖板的活动安装座顶推真空腔盖板，因此当真空腔抽真空时，固定块通过与其抵接的活动块对活动安装座施加作用力，能够使真空腔内的活动安装座向外顶推真空腔盖板，进而能够在一定程度上避免真空腔盖板因大气压力的作用而发生的变形，使得卷绕系统的位置安装精度得到保障，进而也使得镀膜作业的作业精度得到保障。
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1.一种真空腔盖板支撑机构，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的真空腔盖板支撑机构，其特征在于，所述第二方向与所述第一方向垂直。
3.根据权利要求2所述的真空腔盖板支撑机构，其特征在于，所述活动支撑组件(3)还包括：
4.根据权利要求3所述的真空腔盖板支撑机构，其特征在于，所述传动杆(33)沿所述第一方向贯穿所述真空腔盖板(2)，所述驱动件(32)沿所述第一方向位于所述真空腔盖板(2)背离所述固定块(11)的一侧。
5.根据权利要求4所述的真空腔盖板支撑机构，其特征在于，所述活动支撑组件(3)还包括油壶(34)和导向座(35)，所述导向座(35)固设于所述真空腔盖板(2)，所述传动杆(33)导向穿装于所述导向座(35)且与所述导向座(35)油润滑，所述油壶(34)与所述导向座(35)通过油路连通。
6.根据权利要求3所述的真空腔盖板支撑机构，其特征在于，所述活动块(31)用于随所述真空腔盖板(2)沿所述第一方向的正向活动时与所述固定块(11)接触，所述驱动件(32)用于在所述活动块(31)与所述固定块(11)接触
7.根据权利要求6所述的真空腔盖板支撑机构，其特征在于，所述传动杆(33)用于在所述活动块(31)与所述固定块(11)接触时相对于所述真空腔盖板(2)沿所述第一方向的反向活动，以与所述驱动件(32)的输出端接触，所述驱动件(32)用于在所述输出端与所述传动杆(33)接触之后驱动所述传动杆(33)沿所述第一方向的正向滑动，以使所述活动块(31)与所述固定块(11)抵接。
8.根据权利要求6所述的真空腔盖板支撑机构，其特征在于，活动支撑组件(3)还包括活动弹性件(36)，所述活动弹性件(36)设置于所述活动块(31)与所述真空腔盖板(2)之间。
9.根据权利要求3所述的真空腔盖板支撑机构，其特征在于，所述活动块(31)绕所述传动杆(33)的轴线可转动地连接于所述传动杆(33)。
10.根据权利要求9所述的真空腔盖板支撑机构，其特征在于，所述活动安装座(37)和所述活动块(31)中的一者上设置有轴线沿所述第一方向延伸的导向轴(371)，另一者上设置有形状与所述导向轴(371)适配的导向槽，所述导向轴(371)为圆柱轴。
11.根据权利要求10所述的真空腔盖板支撑机构，其特征在于，所述导向轴(371)和所述导向槽脂润滑，所述活动安装座(37)上设置有用于接受降解后的润滑脂的接油槽。
12.根据权利要求1-11中任一项所述的真空腔盖板支撑机构，其特征在于，所述固定支撑组件(1)还包括：
13.根据权利要求12所述的真空腔盖板支撑机构，其特征在于，所述固定安装座(12)和所述固定块(11)之间连接有固定弹性件(13)，在垂直所述铰接轴线的方向上，所述铰接轴线的至少一侧设置有所述固定弹性件(13)。
14.根据权利要求1-11中任一项所述的真空腔盖板支撑机构，其特征在于，所述固定支撑组件(1)还包括设置于所述固定块(11)的减摩件(14)，所述减摩件(14)和所述固定块(11)在所述第一方向的正向上依次布置，所述减摩件(14)用于在所述活动块(31)沿所述第一方向的正向活动时与所述活动块(31)接触，以减小所述活动块(31)与所述固定块(11)之间的摩擦力。
15.根据权利要求14所述的真空腔盖板支撑机构，其特征在于，所述固定块(11)具有第一接触面(111)，所述活动块(31)具有第二接触面(311)，所述第一接触面(111)和所述第二接触面(311)用于在所述活动块(31)与所述固定块(11)抵接时面面相贴；
16.一种真空腔，其特征在于，包括：
17.一种蒸发镀膜机，其特征在于，包括：
...【技术特征摘要】
1.一种真空腔盖板支撑机构，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的真空腔盖板支撑机构，其特征在于，所述第二方向与所述第一方向垂直。
3.根据权利要求2所述的真空腔盖板支撑机构，其特征在于，所述活动支撑组件(3)还包括：
4.根据权利要求3所述的真空腔盖板支撑机构，其特征在于，所述传动杆(33)沿所述第一方向贯穿所述真空腔盖板(2)，所述驱动件(32)沿所述第一方向位于所述真空腔盖板(2)背离所述固定块(11)的一侧。
5.根据权利要求4所述的真空腔盖板支撑机构，其特征在于，所述活动支撑组件(3)还包括油壶(34)和导向座(35)，所述导向座(35)固设于所述真空腔盖板(2)，所述传动杆(33)导向穿装于所述导向座(35)且与所述导向座(35)油润滑，所述油壶(34)与所述导向座(35)通过油路连通。
6.根据权利要求3所述的真空腔盖板支撑机构，其特征在于，所述活动块(31)用于随所述真空腔盖板(2)沿所述第一方向的正向活动时与所述固定块(11)接触，所述驱动件(32)用于在所述活动块(31)与所述固定块(11)接触之后驱动所述传动杆(33)沿所述第一方向的正向滑动，以使所述活动块(31)与所述固定块(11)抵接。
7.根据权利要求6所述的真空腔盖板支撑机构，其特征在于，所述传动杆(33)用于在所述活动块(31)与所述固定块(11)接触时相对于所述真空腔盖板(2)沿所述第一方向的反向活动，以与所述驱动件(32)的输出端接触，所述驱动件(32)用于在所述输出端与所述传动杆(33)接触之后驱动所述传动杆(33)沿所述第一方向的正向滑动，以使所述活动块(31)与所述固定块(11)抵接。
8.根据权利要求6所述的真空腔盖板支撑机构，其特征在于，活动支撑组件(3)还包括活动弹性件(36)，所述活动弹性件(36)设置于所述活动块(31)与所述真空腔盖板(2)之间。
【专利技术属性】
技术研发人员：请求不公布姓名，
申请(专利权)人：无锡先导智能装备股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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