【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体制造，尤其涉及一种机械臂的防撞系统和半导体工艺设备。
技术介绍
1、随着当下芯片产业的高质量发展，产业规模的不断增长，行业内对于半导体工艺设备的可靠性和稳定性提出了更高的要求。
2、在半导体工艺设备的制造行业领域内，新设备处于开发测试或者维护状态下时，测试人员或者维护人员只能凭借经验去调试机械臂的位置信息。
3、现有的半导体工艺设备测试效率低下，而且很容易调参不当或者人为的误操作，导致测试过程中损坏晶圆，严重时还会损坏机械臂。
技术实现思路
1、本技术提供了一种机械臂的防撞系统和半导体工艺设备，提高了机械臂修订位置参数的测试效率，降低了由于人为因素导致的晶圆破碎以及机械臂损坏的风险。
2、第一方面，本技术实施例提供了一种机械臂的防撞系统，应用于半导体工艺设备，机械臂的防撞系统包括检测模块和控制模块；半导体工艺设备包括多个工艺单元，工艺单元包括入口；检测模块设置于入口的边缘位置处或者机械臂上，检测模块用于采集机械臂和/或机械臂所携带物料的相关信号；相关信号包括位置信号或图像信号；控制模块与检测模块通信连接，用于根据相关信号控制机械臂的运行状态；其中，机械臂的运行状态包括停止运行和运行。
3、可选地，检测模块包括至少一个接近式传感器；接近式传感器设置于工艺单元的入口的边缘位置处；接近式传感器用于检测到机械臂与工艺单元之间距离小于设定距离，或者物料与工艺单元的入口之间的距离小于设定距离时，向控制模块发送接近位置信号，控制模块
4、可选地，检测模块包括第一接近式传感器和第二接近式传感器，第一接近式传感器安装于工艺单元的入口的第一边缘远离入口的一侧，第二接近式传感器安装于工艺单元的入口的第二边缘远离入口的一侧，第一边缘和第二边缘为第一方向上相对的两个边缘，且第一方向相对于机械臂向工艺单元运送物料的运行的第二方向垂直。
5、可选地，第一接近式传感器位于第一边缘的中线上，且第一接近式传感器与第一边缘的距离大于或等于0.4cm且小于或等于0.5cm；第二接近式传感器位于第二边缘的中线上，且第二接近式传感器与第二边缘的距离大于或等于0.4cm且小于或等于0.5cm。
6、可选地，检测模块包括至少一个微型摄像头；微型摄像头分别安装于机械臂上；微型摄像头用于拍摄机械臂的图像信号，并将图像信号传输至控制模块；控制模块用于根据图像信号判断出图像信号符合预先存储的碰撞标签设定时，控制机械臂停止运行。
7、可选地，机械臂包括机械手，机械手包括第一结构部和第二结构部，第一结构部和第二结构部在抓取物料时相互靠近，第一结构部和第二结构部在释放物料时相互远离；检测模块包括两个第一微型摄像头和两个第二微型摄像头；其中一个第一微型摄像头安装于第一结构部，另一第一微型摄像头安装于第二结构部；其中一个第二微型摄像头安装于第一结构部，另一第二微型摄像头安装于第二结构部；第一微型摄像头和第二微型摄像头可旋转，且第一微型摄像头的旋转平面与第二微型摄像头的旋转平面垂直，且第一微型摄像头的旋转平面与机械臂向工艺单元运送物料的运行方向垂直。
8、可选地，机械臂的防撞系统还包括驱动模块，驱动模块分别与控制模块、机械臂电连接，控制模块用于通过驱动模块驱动机械臂运行或停止运行。
9、可选地，机械臂的防撞系统还包括第一远程i/o通信模块和第二远程i/o通信模块；第一远程i/o通信模块的输入端与检测模块的输出端连接，第一远程i/o通信模块的输出端与控制模块的输入端连接；第二远程i/o通信模块的输入端与控制模块的输出端连接，第二远程i/o通信模块的输出端与驱动模块连接。
10、可选地，机械臂的防撞系统还包括显示模块，显示模块与控制模块通信连接；控制模块用于在控制机械臂停止运行时，向显示模块传输报警信号，显示模块用于在接收到控制模块发送的报警信号时显示报警信息。
11、第二方面，本技术实施例提供了一种半导体工艺设备，包括上述任意实施例所提供的机械臂的防撞系统。
12、本技术实施例的机械臂的防撞系统，应用于半导体工艺设备，机械臂的防撞系统包括检测模块和控制模块；半导体工艺设备包括多个工艺单元，工艺单元包括入口；通过将检测模块设置于入口的边缘位置处或者机械臂上，并采集机械臂和/或机械臂所携带物料的位置信号或图像信号，控制模块根据采集的位置信号或图像信号控制机械臂的运行状态，进而可以在根据位置信号和/或图像信号确定出机械臂和或机械臂所携带物料与工艺单元的入口存在碰撞风险时，及时控制机械臂停止运行，解决了由于机械臂调参不合适，导致的晶圆(即机械臂所携带的物料)破碎以及机械臂损坏的问题，提高机械臂修订位置参数的测试效率。
13、应当理解，本部分所描述的内容并非旨在标识本技术的实施例的关键或重要特征，也不用于限制本技术的范围。本技术的其它特征将通过以下的说明书而变得容易理解。
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1.一种机械臂的防撞系统，其特征在于，应用于半导体工艺设备，所述机械臂的防撞系统包括检测模块和控制模块；
2.根据权利要求1所述的机械臂的防撞系统，其特征在于，所述检测模块包括至少一个接近式传感器；
3.根据权利要求2所述的机械臂的防撞系统，其特征在于，所述检测模块包括第一接近式传感器和第二接近式传感器，所述第一接近式传感器安装于所述工艺单元的入口的第一边缘远离所述入口的一侧，所述第二接近式传感器安装于所述工艺单元的入口的第二边缘远离所述入口的一侧，所述第一边缘和所述第二边缘为第一方向上相对的两个边缘，且所述第一方向相对于所述机械臂向工艺单元运送物料的运行的第二方向垂直。
4.根据权利要求3所述的机械臂的防撞系统，其特征在于，所述第一接近式传感器位于所述第一边缘的中线上，且所述第一接近式传感器与所述第一边缘的距离大于或等于0.4cm且小于或等于0.5cm；所述第二接近式传感器位于所述第二边缘的中线上，且所述第二接近式传感器与所述第二边缘的距离大于或等于0.4cm且小于或等于0.5cm。
5.根据权利要求1所述的机械臂的防撞系统，其特
6.根据权利要求5所述的机械臂的防撞系统，其特征在于，所述机械臂包括机械手，所述机械手包括第一结构部和第二结构部，所述第一结构部和所述第二结构部在抓取所述物料时相互靠近，所述第一结构部和所述第二结构部在释放所述物料时相互远离；所述检测模块包括两个第一微型摄像头和两个第二微型摄像头；其中一个所述第一微型摄像头安装于所述第一结构部，另一所述第一微型摄像头安装于所述第二结构部；其中一个所述第二微型摄像头安装于所述第一结构部，另一所述第二微型摄像头安装于所述第二结构部；
7.根据权利要求1所述的机械臂的防撞系统，其特征在于，还包括驱动模块，所述驱动模块分别与所述控制模块、所述机械臂电连接，所述控制模块用于通过所述驱动模块驱动所述机械臂运行或停止运行。
8.根据权利要求7所述的机械臂的防撞系统，其特征在于，还包括第一远程I/O通信模块和第二远程I/O通信模块；
9.根据权利要求1所述的机械臂的防撞系统，其特征在于，还包括显示模块，所述显示模块与所述控制模块通信连接；所述控制模块用于在控制所述机械臂停止运行时，向所述显示模块传输报警信号，所述显示模块用于在接收到所述控制模块发送的报警信号时显示报警信息。
10.一种半导体工艺设备，其特征在于，包括如权利要求1-9任一项所述的机械臂的防撞系统。
...【技术特征摘要】
1.一种机械臂的防撞系统，其特征在于，应用于半导体工艺设备，所述机械臂的防撞系统包括检测模块和控制模块；
2.根据权利要求1所述的机械臂的防撞系统，其特征在于，所述检测模块包括至少一个接近式传感器；
3.根据权利要求2所述的机械臂的防撞系统，其特征在于，所述检测模块包括第一接近式传感器和第二接近式传感器，所述第一接近式传感器安装于所述工艺单元的入口的第一边缘远离所述入口的一侧，所述第二接近式传感器安装于所述工艺单元的入口的第二边缘远离所述入口的一侧，所述第一边缘和所述第二边缘为第一方向上相对的两个边缘，且所述第一方向相对于所述机械臂向工艺单元运送物料的运行的第二方向垂直。
4.根据权利要求3所述的机械臂的防撞系统，其特征在于，所述第一接近式传感器位于所述第一边缘的中线上，且所述第一接近式传感器与所述第一边缘的距离大于或等于0.4cm且小于或等于0.5cm；所述第二接近式传感器位于所述第二边缘的中线上，且所述第二接近式传感器与所述第二边缘的距离大于或等于0.4cm且小于或等于0.5cm。
5.根据权利要求1所述的机械臂的防撞系统，其特征在于，所述检测模块包括至少一个微型摄像头；
6.根据权利要求5所述的机械臂的防撞系统，其特...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘端旭，
申请(专利权)人：上海众鸿半导体设备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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