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【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种可自动示教的搬运系统及方法,更详细地,涉及一种为了在埠准确且快速地装载及卸载搬运物而能够执行自动示教的可自动示教的搬运系统及方法。
技术介绍
1、在半导体、二次电池、lcd(液晶显示器,liquid crystal display)、oled(有机发光二极管,organic light emitting diodes)等的生产现场中,为了最大化作业效率并提高洁净度,经过多种工艺完成的多个基板或掩模(mask)通过搬运机器人收纳在晶盒(cassette),晶盒通过堆垛机之类搬运装置搬运而保管在架子或从架子搬出。
2、即,晶盒在制造设备中结束预定的制造工艺之后不是直接移送到下一个制造工艺,而是为了解决通过各制造工艺中的基板处理能力以及处理时间的差异而产生的缓冲(buffering)问题,晶盒临时保管在晶盒保管系统的架子,然后根据需要向执行相应工艺的制造设备移送。
3、如图1所示,根据搬运这种晶盒的现有技术的搬运系统包括:架子(shelf)f,保管晶盒;机架主控机10,在架子f运入以及运出晶盒,并为了将晶盒传递到工艺设备p而将晶盒装载到埠20或从埠20卸载晶盒。
4、在根据这种现有技术的搬运系统的情况下,由于各种原因,埠20无法对齐到规定位置,而是如图1所示,可能配置为从规定位置脱离并错位。在这种情况下,需要根据埠20从规定位置脱离的程度,按照埠20控制机架主控机10的工作(使晶盒进入的位置以及晶盒的角度)。
5、但是,在根据现有技术的搬运系统的情况下,使用了按照埠20
6、韩国授权专利第10-0800636号(2008.01.28.)
技术实现思路
1、本专利技术所要解决的课题在于,提供一种按照埠执行自动示教而能够缩减进行示教所需的时间和费用的可自动示教的搬运系统及方法。
2、根据本专利技术的一方面,可以是,提供一种可自动示教的搬运系统,包括:机架主控机,具备在埠装载及卸载搬运物的货叉;第一感测传感器部,结合于所述机架主控机;第二感测传感器部,结合于所述货叉,并相对于所述第一感测传感器部隔开配置;第一感测用相互作用部,设置于所述埠,并与所述第一感测传感器部相互作用;第二感测用相互作用部,设置于所述埠,并与相对于所述第一感测用相互作用部隔开配置的所述第二感测传感器部相互作用;以及控制部,连接于所述第一感测传感器部而从所述第一感测传感器部接收第一感测信息,并连接于所述第二感测传感器部而从所述第二感测传感器部接收第二感测信息,并且根据所述第一感测信息以及所述第二感测信息控制所述机架主控机,以使得在所述埠向规定位置装载及卸载所述搬运物。
3、可以是,所述第二感测传感器部配置于所述货叉的侧面。
4、可以是,所述第二感测传感器部包括测距用光传感器。
5、可以是,所述第二感测用相互作用部包括对从所述测距用光传感器发出的光进行反射的反射板。
6、可以是,所述第二感测用相互作用部设置为多个,多个所述第二感测用相互作用部相互隔开配置。
7、可以是,所述第二感测用相互作用部在所述货叉为了在所述埠装载及卸载所述搬运物而向所述埠的内部进入的进入方向上相互隔开配置。
8、可以是,所述第一感测传感器部包括视觉上识别所述第一感测用相互作用部的视觉传感器。
9、可以是,在所述第一感测用相互作用部形成有标记。
10、可以是,机械主体,以能够在上下方向上移动的方式结合于在与所述进入方向交叉的行驶方向上移动的搬运车辆;机械臂,连接于所述货叉,并使所述货叉在所述进入方向上移动;以及臂驱动部,以能够以所述上下方向为旋转轴心旋转的方式结合于所述机械主体,并连接于所述机械臂而驱动所述机械臂。
11、可以是,所述控制部为了根据所述第一感测信息校正所述货叉的针对所述行驶方向的位置以及所述货叉的所述上下方向的位置中的至少任一个,使所述货叉在所述行驶方向以及所述上下方向中的至少任一个方向上移动,并为了根据所述第二感测信息校正所述货叉的针对所述进入方向的位置,使所述货叉在所述进入方向上移动,并且为了根据所述第二感测信息校正所述货叉的旋转角度,使所述货叉以所述上下方向为旋转轴心旋转。
12、根据本实施例的另一方面,可以是,提供一种可自动示教的搬运方法,包括:第一感测步骤,第一感测传感器部获取针对设置于埠的第一感测用相互作用部的第一感测信息,所述第一感测传感器部获结合于具备货叉的机架主控机,所述货叉在所述埠装载及卸载搬运物;第一校正步骤,接收所述第一感测信息的控制部为了根据所述第一感测信息校正所述货叉的针对行驶方向以及上下方向的位置中的至少任一个,使所述货叉在所述行驶方向以及所述上下方向中的至少任一个方向上移动;进入步骤,所述货叉在与所述行驶方向交叉的进入方向上移动,从而所述货叉进入到所述埠的内部;第二感测步骤,结合于所述货叉的第二感测传感器部与设置于所述埠的第二感测用相互作用部相互作用而获取第二感测信息;以及第二校正步骤,接收所述第二感测信息的控制部为了根据所述第二感测信息校正所述货叉的针对所述进入方向的位置以及旋转角度,使所述货叉移动。
13、可以是,所述第二校正步骤包括:进入位置校正步骤,使所述货叉在所述进入方向上移动;以及角度校正步骤,使所述货叉以与所述行驶方向和所述进入方向交叉的上下方向为旋转轴心旋转。
14、可以是,所述第二感测传感器部配置于所述货叉的侧面。
15、可以是,所述第二感测用相互作用部设置为多个,多个所述第二感测用相互作用部相互隔开配置。
16、可以是,所述第二感测用相互作用部在所述进入方向上相互隔开配置。
17、根据本专利技术的实施例的可自动示教的搬运系统具备:机架主控机,具备在埠装载及卸载搬运物的货叉;第一感测传感器部,结合于机架主控机;第二感测传感器部,结合于货叉,并相对于第一感测传感器部隔开配置;第一感测用相互作用部,设置于埠,并与第一感测传感器部相互作用;第二感测用相互作用部,设置于埠,并与第二感测传感器部相互作用;以及控制部,连接于第一感测传感器部而从第一感测传感器部接收第一感测信息,并连接于第二感测传感器部而从第二感测传感器部接收第二感测信息,并且根据第一感测信息以及第二感测信息控制机架主控机,以使得在埠向规定位置装载及卸载搬运物,从而可以按照埠执行自动示教而大幅缩减示教所需的时间和费用,随之提高生产性。
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1.一种可自动示教的搬运系统,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的可自动示教的搬运系统,其特征在于,
3.根据权利要求2所述的可自动示教的搬运系统,其特征在于,
4.根据权利要求3所述的可自动示教的搬运系统,其特征在于,
5.根据权利要求2所述的可自动示教的搬运系统,其特征在于,
6.根据权利要求5所述的可自动示教的搬运系统,其特征在于,
7.根据权利要求1所述的可自动示教的搬运系统,其特征在于,
8.根据权利要求1所述的可自动示教的搬运系统,其特征在于,
9.根据权利要求6所述的可自动示教的搬运系统,其特征在于,
10.根据权利要求9所述的可自动示教的搬运系统,其特征在于,
11.一种可自动示教的搬运方法,其特征在于,包括:
12.根据权利要求11所述的可自动示教的搬运方法,其特征在于,
13.根据权利要求11所述的可自动示教的搬运方法,其特征在于,
14.根据权利要求13所述的可自动示教的搬运方法,其特征在于,
...【技术特征摘要】
1.一种可自动示教的搬运系统,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的可自动示教的搬运系统,其特征在于,
3.根据权利要求2所述的可自动示教的搬运系统,其特征在于,
4.根据权利要求3所述的可自动示教的搬运系统,其特征在于,
5.根据权利要求2所述的可自动示教的搬运系统,其特征在于,
6.根据权利要求5所述的可自动示教的搬运系统,其特征在于,
7.根据权利要求1所述的可自动示教的搬运系统,其特征在于,
8.根据权利要求1所述的可自动示教的搬运...
【专利技术属性】
技术研发人员:朴光福,文潒贤,裵材翼,尹映福,洪善泽,
申请(专利权)人:三星显示有限公司,
类型:发明
国别省市:
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