【技术实现步骤摘要】
本揭示涉及回收排放到基板的液体的碗状件(bowl)、基板处理设备和制造所述碗状件的方法。
技术介绍
1、通常，各种液体被用来去除或清洁形成在基板上的膜。这样的液体被提供至旋转的基板，且提供给所述基板的所述液体被设置在所述基板一侧的碗状件回收。此后，所述液体通过连接到所述碗状件的管道排放到外部。
2、所述碗状件由多个零件组装成一个组件。当所述液体处于高温时，所述零件可能变形，使得零件之间的组件部可能偏离其原始位置，从而导致组件缺陷。
3、专利文献1：10-2021-0112754号大韩民国专利公开案。
技术实现思路
1、本揭示提供了一种碗状件、一种基板处理设备和一种制造所述碗状件的方法，防止所述碗状件热变形。
2、根据本揭示的一个方面，提供了一种碗状件，包括具有连接回收管路的回收孔的主体部、从所述主体部的上部向上延伸然后沿横向方向延伸的导引部，以及跨越所述主体部的内部和所述导引部的内部安装的连接框架。
3、所述连接框架可包括跨越所述主体部和所述导引部而设置的多个第一部，所述多个第一部彼此间隔设置，以及将所述多个第一部彼此连接的多个第二部。所述多个第二部中的一部分可设置于所述主体部中，而所述多个第二部中的剩余部分可设置于所述导引部中。
4、所述多个第二部的一部分可将所述多个第一部的一端部彼此连接，而所述多个第二部的剩余部分可将所述多个第一部的另一端部彼此连接。
5、多个排气孔可形成在所述主体部中，彼此间隔开来，并且
6、所述连接框架可具有制冷剂在其中流动的管道结构。
7、所述连接框架可具有连接到制冷剂供应管道的一端部以及连接到制冷剂回收管道的另一端部。
8、所述主体部和所述导引部可一体形成。
9、依据本揭示的第二示例性实施例，所述导引部可具有一个向内突出而比所述主体部较厚的延伸部。
10、依据本揭示的第三示例性实施例，环形加强件可安装在所述导引部的内圆周表面上。
11、依据本揭示的其他示例性实施例，提供了一种基板处理设备，包括处理腔室；设置于所述处理腔室内的处理容器，所述处理容器具有处理基板的处理空间；支撑单元，支撑所述处理空间中的所述基板；以及喷嘴单元，将液体排放到所述基板。所述处理容器包括设置在所述支撑单元的圆周上的多个碗状件。所述碗状件可包括具有圆柱状结构的主体部，所述主体部具有连接回收管路的回收孔；从所述主体部的上部向上延伸然后沿横向方向延伸的导引部；以及跨越所述主体部的内部和所述导引部的内部安装的连接框架。
12、所述连接框架可具有制冷剂在其中流动的管道结构。所述连接框架可具有连接到制冷剂供应管道的一端部以及连接到制冷剂回收管道的另一端部。所述制冷剂供应管道和所述制冷剂回收管道可通过循环泵相连。所述制冷剂供应管道中可安装有换热器。
13、所述主体部和所述导引部可一体形成。
14、依据本揭示的另一方向，提供了一种制造碗状件的方法，所述方法包括准备模具的模具准备操作，使得分别对应于主体部与连接到所述主体部一端部的导引部的第一空间和第二空间彼此连接；框架安装操作，安装跨越所述第一空间和所述第二空间的连接框架；以及碗状件注射成型操作，将熔融材料注入所述第一空间和所述第二空间并一体形成所述主体部和所述导引部，同时将所述主体部和所述导引部固定到所述连接框架。
15、在所述框架安装操作中，所述连接框架的多个第一部中的每一个可跨过所述第一空间和所述第二空间设置。所述多个第一部彼此连接的所述连接框架的多个第二部中的一部分可设置在所述第一空间，而所述多个第二部中的剩余部分可设置在所述第二空间中。所述第一部和所述第二部。设置成彼此交替连接。
16、在所述框架安装操作中，所述制冷剂可在其中流动的管道可作为所述连接框架。
17、根据本揭示，碗状件的主体部和导引部可以通过嵌入式连接框架固定，从而防止所述导引部被高温液体热变形，从而防止所述导引部与所述主体部分开。
18、此外，所述主体部和所述导引部可一体形成，从而防止所述主体部和所述导引部热变形。
19、此外，所述连接框架可具有制冷剂在管道结构中流动的管道结构以冷却所述主体部和所述导引部，从而防止所述主体部和所述导引部热变形。
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1.一种碗状件，包括：
2.如权利要求1所述的碗状件，其中所述连接框架包括：
3.如权利要求2所述的碗状件，其中所述多个第二部的一部分将所述多个第一部的一端部彼此连接，而所述多个第二部的剩余部分将所述多个第一部的另一端部彼此连接。
4.如权利要求2所述的碗状件，其中多个排气孔形成在所述主体部中，彼此间隔开来，并且所述第一部设置于所述多个排气孔之间。
5.如权利要求1所述的碗状件，其中所述连接框架具有制冷剂在其中流动的管道结构。
6.如权利要求5所述的碗状件，其中所述连接框架具有连接到制冷剂供应管道的一端部以及连接到制冷剂回收管道的另一端部。
7.如权利要求1所述的碗状件，其中所述主体部和所述导引部一体形成。
8.如权利要求1所述的碗状件，其中所述导引部具有一个向内突出而比所述主体部较厚的延伸部。
9.如权利要求1所述的碗状件，其中环形加强件安装在所述导引部的内圆周表面上。
10.一种基板处理设备，包括：
11.如权利要求10所述的基板处理设备，其中所述连接框架包
12.如权利要求11所述的基板处理设备，其中所述多个第二部的一部分将所述多个第一部的一端部彼此连接，而所述多个第二部的剩余部分将所述多个第一部的另一端部彼此连接。
13.如权利要求11所述的基板处理设备，其中多个排气孔形成在所述主体部，彼此间隔开来，并且所述第一部设置于所述多个排气孔之间。
14.如权利要求10所述的基板处理设备，其中所述连接框架具有制冷剂在其中流动的管道结构。
15.如权利要求14所述的基板处理设备，其中所述连接框架具有连接到制冷剂供应管道的一端部以及连接到制冷剂回收管道的另一端部。
16.如权利要求15所述的基板处理设备，其中所述制冷剂供应管道和所述制冷剂回收管道通过循环泵相连，而所述制冷剂供应管道中安装有换热器。
17.如权利要求10所述的基板处理设备，其中所述主体部和所述导引部一体形成。
18.一种制造碗状件的方法，所述方法包括：
19.如权利要求18所述的方法，其中在所述框架安装操作中，所述连接框架的多个第一部中的每一个跨过所述第一空间和所述第二空间设置，而将所述多个第一部彼此连接的所述连接框架的多个第二部中的一部分设置在所述第一空间，而所述多个第二部中的剩余部分设置在所述第二空间中，以及所述第一部和所述第二部设置成彼此交替连接。
20.如权利要求18所述的方法，其中在所述框架安装操作中，一个制冷剂可可在其中流动的管道是作为所述连接框架。
...【技术特征摘要】
1.一种碗状件，包括：
2.如权利要求1所述的碗状件，其中所述连接框架包括：
3.如权利要求2所述的碗状件，其中所述多个第二部的一部分将所述多个第一部的一端部彼此连接，而所述多个第二部的剩余部分将所述多个第一部的另一端部彼此连接。
4.如权利要求2所述的碗状件，其中多个排气孔形成在所述主体部中，彼此间隔开来，并且所述第一部设置于所述多个排气孔之间。
5.如权利要求1所述的碗状件，其中所述连接框架具有制冷剂在其中流动的管道结构。
6.如权利要求5所述的碗状件，其中所述连接框架具有连接到制冷剂供应管道的一端部以及连接到制冷剂回收管道的另一端部。
7.如权利要求1所述的碗状件，其中所述主体部和所述导引部一体形成。
8.如权利要求1所述的碗状件，其中所述导引部具有一个向内突出而比所述主体部较厚的延伸部。
9.如权利要求1所述的碗状件，其中环形加强件安装在所述导引部的内圆周表面上。
10.一种基板处理设备，包括：
11.如权利要求10所述的基板处理设备，其中所述连接框架包括：
12.如权利要求11所述的基板处理设备，其中所述多个第二部的一部分将所述多个第一部的一端部彼此连接，而所述多个第二部的剩余部分将所述多...
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