一种新型籽晶夹头制造技术

本实用新型专利技术属半导体材料制备设备领域，特别涉及一种新型籽晶夹头。籽晶夹头由夹头座和夹头嘴组成，夹头嘴的上部和夹头座的下连接孔螺纹连接，夹头嘴由左右对称的两个半圆块组成，每个半圆块的圆锥体一端中心有一个长方形卡槽，夹头嘴的两个半圆块合在一起其长方形卡槽组成方形工字型卡槽，籽晶为正方形截面的长方体，上端部有工字型头，籽晶通过工字型头和夹头嘴的方形工字型卡槽安装在夹头嘴上，再通过夹头座的上连接孔和晶体生长机重锤螺纹连接，把籽晶夹头和籽晶安装在晶体生长机上。本实用新型专利技术的籽晶是方形，不需要滚磨工序，切割可以保证精确的晶向，用于生长锗单晶和锗多晶，能够保证晶体生长后的晶向。（*该技术在2018年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术属半导体材料制备设备领域，特别涉及一种新型籽晶 夹头。
技术介绍
锗是元素半导体，具有高折射率、低色散、易加工、良好的机械强度等优点，因而广泛应用于红外光学材料领域。在最近10年时间，航天技术化的飞速发展，对空间太阳电池提出了更高的要求。和传统 的硅太阳电池相比，砷化镓太阳电池具有高转换效率、耐辐射、温度 特型号和寿命长等优点，为提高转换效率，满足空间使用要求，对衬 底锗片提出更高要求，要求大尺寸，低位错密度。高掺杂，高机械强 度等。因而，锗材料在半导体领域的应用在逐渐扩大。在锗单晶和锗多晶生长需要用籽晶，现用的籽晶固定位置为圆锥 形，籽晶加工上，通过切割及定位磨削，制作籽晶，加工的时候损耗 较大。使用的圆锥形籽晶在加工时会由于滚磨造成晶向偏差，故在生 长单晶后晶向偏差较大。使用的籽晶是圆锥形的，放入夹头中会产生 晃动，在生长定向单晶时不好控制。因此需要一种新型籽晶夹头，使 用便于定向、切割和加工的籽晶，以便能够生产大尺寸，低位错密度、 高掺杂，高机械强度的锗单晶和锗多晶。
技术实现思路
本技术的目的为了解决
技术介绍
中使用圆锥形籽晶的问题， 提供一种新型籽晶夹头，其特征在于，籽晶夹头由夹头座1和夹头嘴2组成，夹头座l为圆柱体，上下分别有上和下连接孔，夹头嘴2的 上部为圆柱体，和夹头座1的下连接孔螺纹连接，下部为圆锥体，夹 头嘴2由左右对称的两个半圆块组成，每个夹头嘴半圆块的圆锥体一 端中心有一个长方形卡槽，长方形卡槽底面中部有一个凸台，夹头嘴 2的两个半圆块合在一起其长方形卡槽组成正方形工字型卡槽4，籽 晶3为正方形截面的长方体，上端两个相对侧面上的凹面构成工字型 头5，籽晶3通过工字型头5和夹头嘴的正方形工字型卡槽4安装在 夹头嘴2上，再通过夹头座1的上连接孔和晶体生长机重锤螺纹连接， 把籽晶夹头和籽晶安装在晶体生长机上。所述夹头嘴半圆块上的长方形卡槽底面凸台，其上侧面为与凸台 平面成45。夹角的斜面。所述籽晶3上端工字型头5的凹面上部为45。角斜面，工字型头 5的横截面和长度与夹头嘴的正方形工字型卡槽4的横截面和深度相 同。本技术的特点在于采用方形籽晶，其有益效果为，在籽晶加 工上，切割后不用滚磨，比圆锥形籽晶加工简单、省料，而且便于更 换；籽晶上端工字型头的凹面上部为45。角斜面，减小了籽晶折角处 的受力，采用卡槽的方式使得籽晶的定位变得准确而易于操作；对于空间太阳电池用低位错锗单晶，需要定向单晶晶向，现有技术中圆锥 形籽晶在加工时会由于滚磨造成晶向偏差，故在单晶生长后晶向偏差 较大。而本技术的籽晶是方形，不需要滚磨工序，用切割工序保 证精确的晶向，能够保证晶体生长后的单晶晶向。附图说明图l为籽晶夹头装配示意图2为夹头嘴示意图3为籽晶示意图中，l为夹头座，2为夹头嘴，3为籽晶，4为正方形工字型卡 槽，5为工字型头。具体实施方式如图1所示，籽晶夹头由夹头座1和夹头嘴2组成，夹头座1为 圆柱体，上下分别有上和下连接孔，夹头嘴2的上部为圆柱体，和夹 头座1的下连接孔螺纹连接，下部为圆锥体。如图2所示，夹头嘴2 由左右对称的两个半圆块组成，每个夹头嘴半圆块的圆锥体一端中心 有一个长方形卡槽，长方形卡槽底面中部有一个凸台，夹头嘴2的两 个半圆块合在一起其长方形卡槽组成正方形工字型卡槽4，如图3所 示，籽晶3为正方形截面的长方体，上端两个相对侧面上的凹面构成 工字型头5，籽晶3通过工字型头5和夹头嘴的正方形工字型卡槽4 安装在夹头嘴2上，再通过夹头座1的上连接孔和晶体生长机重锤螺 纹连接，把籽晶夹头和籽晶安装在晶体生长机上。安装时，将籽晶3的上端工字型头5放入夹头嘴2的一个半圆块 的长方形卡槽内，在把另一个半圆块合上，将夹头嘴2用螺纹连接装 入夹头座1的下连接孔内，再把夹头座1的上连接孔用螺纹连接到上 方的晶体生长机的重锤，完成籽晶的安装。本技术用于生长锗单晶和锗多晶。权利要求1.一种新型籽晶夹头，其特征在于所述籽晶夹头中夹头座(1)为圆柱体，上下分别有上和下连接孔，夹头嘴(2)的上部为圆柱体，和夹头座(1)的下连接孔螺纹连接，下部为圆锥体，夹头嘴(2)由左右对称的两个半圆块组成，每个夹头嘴半圆块的圆锥体一端中心有一个长方形卡槽，长方形卡槽底面中部有一个凸台，夹头嘴(2)的两个半圆块合在一起其长方形卡槽组成正方形工字型卡槽(4)，籽晶(3)为正方形截面的长方体，上端两个相对侧面上的凹面构成工字型头(5)，籽晶(3)通过工字型头(5)和夹头嘴的正方形工字型卡槽(4)安装在夹头嘴(2)上，再通过夹头座(1)的上连接孔和晶体生长机重锤螺纹连接。2.根据权利要求1所述的一种新型籽晶夹头，其特征在于，所述夹头嘴半圆块上的长方形卡槽底面凸台，其上侧面为与凸台平面成45。夹角的斜面。3.根据权利要求1所述的一种新型籽晶夹头，其特征在于，所述籽晶(3)上端工字型头(5)的凹面上部为45。角斜面，工字型头(5)的横截面和长度与夹头嘴的正方形工字型卡槽(4)的横截面和深度相同。专利摘要本技术属半导体材料制备设备领域，特别涉及一种新型籽晶夹头。籽晶夹头由夹头座和夹头嘴组成，夹头嘴的上部和夹头座的下连接孔螺纹连接，夹头嘴由左右对称的两个半圆块组成，每个半圆块的圆锥体一端中心有一个长方形卡槽，夹头嘴的两个半圆块合在一起其长方形卡槽组成方形工字型卡槽，籽晶为正方形截面的长方体，上端部有工字型头，籽晶通过工字型头和夹头嘴的方形工字型卡槽安装在夹头嘴上，再通过夹头座的上连接孔和晶体生长机重锤螺纹连接，把籽晶夹头和籽晶安装在晶体生长机上。本技术的籽晶是方形，不需要滚磨工序，切割可以保证精确的晶向，用于生长锗单晶和锗多晶，能够保证晶体生长后的晶向。文档编号C30B15/32GK201301358SQ20082012396公开日2009年9月2日 申请日期2008年11月28日 优先权日2008年11月28日专利技术者冯德伸, 楠 李, 闵振东 申请人:北京有色金属研究总院;北京国晶辉红外光学科技有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种新型籽晶夹头，其特征在于：所述籽晶夹头中夹头座（１）为圆柱体，上下分别有上和下连接孔，夹头嘴（２）的上部为圆柱体，和夹头座（１）的下连接孔螺纹连接，下部为圆锥体，夹头嘴（２）由左右对称的两个半圆块组成，每个夹头嘴半圆块的圆锥体一端中心有一个长方形卡槽，长方形卡槽底面中部有一个凸台，夹头嘴（２）的两个半圆块合在一起其长方形卡槽组成正方形工字型卡槽（４），籽晶（３）为正方形截面的长方体，上端两个相对侧面上的凹面构成工字型头（５），籽晶（３）通过工字型头（５）和夹头嘴的正方形工字型卡槽（４）安装在夹头嘴（２）上，再通过夹头座（１）的上连接孔和晶体生长机重锤螺纹连接。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：李楠，闵振东，冯德伸，
申请(专利权)人：北京有色金属研究总院，北京国晶辉红外光学科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：11[中国|北京]