一种检测工具制造技术

本申请涉及一种检测工具，包括：框架主体，框架主体的一侧设有沿第一方向的第一安装槽和沿第二方向的第二安装槽，第一方向和第二方向不平行；框架主体的另一侧设有滚轮安装空间；第一水平仪，沿第一方向安装在第一安装槽内；第二水平仪，沿第二方向安装在第二安装槽内；若干个滚轮，安装在滚轮安装空间内，若干个滚轮形成的滚动面为平面；第一水平仪和第二水平仪的测量平面与滚动面平行。本技术通过框架主体上设置若干个滚轮，便于检测工具在研磨垫上进行滚动检测，操作方便、检测范围广，通过框架主体上的第一水平仪和第二水平仪，能够快速发现平整度缺陷，检测结果直观，不容易产生纰漏。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及检测工具，特别是涉及一种检测工具。

技术介绍

1、化学机械研磨机台重要的组成部件研磨单元，由研磨头、金刚石盘、研磨垫组成，其中研磨垫为研磨耗材，贴在研磨平台上，更换频率很高，在更换过程中，可能会出现贴合不好，产生气泡的情况，气泡会影响产品的研磨品质。目前检测气泡的方式为研磨垫贴完后，用平整调节工具全面刮擦检查有无气泡被赶出的声音，该处理方式比较粗略，容易产生纰漏。

技术实现思路

1、有鉴于此，本申请实施例为解决
技术介绍
中存在的至少一个问题而提供一种检测工具。

2、本申请实施例提供了一种检测工具，包括：

3、框架主体；

4、若干个滚轮，安装在所述框架主体底部，若干个所述滚轮能够与待测表面接触；

5、第一水平仪，安装在所述框架主体上，在第一方向检测所述待测表面的平整度；

6、第二水平仪，安装在所述框架主体上，在第二方向检测所述待测表面的平整度；所述第一方向和所述第二方向不平行。

7、在一可选实施方式中，所述框架主体沿第一方向设有第一安装槽，并沿第二方向设有第二安装槽；

8、所述第一水平仪沿第一方向安装在所述第一安装槽内；

9、所述第二水平仪沿第二方向安装在所述第二安装槽内。

10、在一可选实施方式中，所述第一方向与所述第二方向垂直。

11、在一可选实施方式中，所述第一水平仪设置于所述框架主体的顶面的中心，所述第二水平仪的数量为两个，两个所述第二水平仪对称设置在所述第一水平仪的两侧。

12、在一可选实施方式中，所述滚轮的数量为4个，4个所述滚轮分别沿所述框架主体底面的四个角设置。

13、在一可选实施方式中，所述滚轮的形状为圆柱形，所述圆柱形的高度方向沿所述第一方向。

14、在一可选实施方式中，所述框架主体底面设有滚轮安装空间，所述滚轮安装空间的两侧均设有转轴安装孔，所述滚轮具有转轴，所述滚轮通过转轴安装于所述转轴安装孔处。

15、在一可选实施方式中，所述第一水平仪和所述第二水平仪为气泡式水平仪。

16、在一可选实施方式中，所述滚轮的材料为聚醚醚酮。

17、在一可选实施方式中，所述滚轮安装空间的侧面敞开。

18、本申请实施例所提供的检测工具，通过框架主体上设置若干个滚轮，便于检测工具在研磨垫上进行滚动检测，操作方便、检测范围广，通过框架主体上的第一水平仪和第二水平仪，能够快速发现平整度缺陷，检测结果直观，不容易产生纰漏。

19、本申请附加的方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本申请的实践了解到。

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【技术保护点】

1.一种检测工具，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的检测工具，其特征在于，所述框架主体(1)沿第一方向设有第一安装槽(11)，并沿第二方向设有第二安装槽(12)；

3.根据权利要求2所述的检测工具，其特征在于，所述第一方向与所述第二方向垂直。

4.根据权利要求3所述的检测工具，其特征在于，所述第一水平仪(21)设置于所述框架主体(1)的顶面的中心，所述第二水平仪(22)的数量为两个，两个所述第二水平仪(22)对称设置在所述第一水平仪(21)的两侧。

5.根据权利要求2-4任一项所述的检测工具，其特征在于，所述滚轮(3)的数量为4个，4个所述滚轮(3)分别沿所述框架主体(1)底面的四个角设置。

6.根据权利要求5所述的检测工具，其特征在于，所述滚轮(3)的形状为圆柱形，所述圆柱形的高度方向沿所述第一方向。

7.根据权利要求1-4任一项所述的检测工具，其特征在于，所述框架主体(1)底面设有滚轮安装空间(13)，所述滚轮安装空间(13)的两侧均设有转轴安装孔(131)，所述滚轮(3)具有转轴，所述滚轮(3)通过转轴安装于所述转轴安装孔(131)处。

8.根据权利要求1-4任一项所述的检测工具，其特征在于，所述第一水平仪(21)和所述第二水平仪(22)为气泡式水平仪。

9.根据权利要求1-4任一项所述的检测工具，其特征在于，所述滚轮(3)的材料为聚醚醚酮。

10.根据权利要求7所述的检测工具，其特征在于，所述滚轮安装空间(13)的侧面敞开。

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【技术特征摘要】

1.一种检测工具，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的检测工具，其特征在于，所述框架主体(1)沿第一方向设有第一安装槽(11)，并沿第二方向设有第二安装槽(12)；

3.根据权利要求2所述的检测工具，其特征在于，所述第一方向与所述第二方向垂直。

4.根据权利要求3所述的检测工具，其特征在于，所述第一水平仪(21)设置于所述框架主体(1)的顶面的中心，所述第二水平仪(22)的数量为两个，两个所述第二水平仪(22)对称设置在所述第一水平仪(21)的两侧。

5.根据权利要求2-4任一项所述的检测工具，其特征在于，所述滚轮(3)的数量为4个，4个所述滚轮(3)分别沿所述框架主体(1)底面的四个角设置。

6.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：谢凯旋，吴天松，
申请(专利权)人：粤芯半导体技术股份有限公司，
类型：新型
国别省市：