【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及洁净室，更具体地说，涉及一种洁净室环控系统。
技术介绍
1、洁净室是指根据需要对空气洁净度和/或温湿度等参数进行控制的密闭性较好的空间，传统洁净室通常针对特定目标进行单一功能的控制，常见的洁净室控制精度低，环境需求单一且面积大，高精度环境要求难以达成，不满足一些特定设备要求。
2、综上所述，如何提供一种满足多种环境需求且体积较小的洁净室控制系统，是目前本领域技术人员亟待解决的问题。
技术实现思路
1、有鉴于此，本专利技术的目的是提供一种洁净室环控系统，该洁净室环控系统可以满足多种环境需求，且体积较小，模块化较强。
2、为了实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：
3、一种集温湿度控制、降噪、风压于一体的洁净室环控系统，包括：
4、洁净室本体模块，具有洁净腔、进气口和出气口；
5、消音模块，包括第一消音通道模块和第二消音通道模块，所述第一消音通道模块与所述进气口连接，第二消音通道模块与所述出气口连接；
6、温湿度控制模块，分别与第一消音通道模块和第二消音通道模块连接；
7、所述消音模块和所述温湿度控制模块分别靠近所述洁净室本体模块的同一侧设置。
8、优选的，所述第一消音通道模块和所述第二消音通道模块呈“倒l形”设置，且所述温湿度控制模块嵌入所述“倒l形”内，且所述第一消音通道模块设于所述温湿度控制模块的顶部，所述第二消音通道模块设于所述温湿度控制模块的侧边，所述温湿度控制模
9、优选的，所述第一消音通道模块和所述第二消音通道模块呈“倒t形”设置，且所述温湿度控制模块嵌入所述“倒t形”的竖直边设置，且所述第一消音通道模块设于所述温湿度控制模块的顶部，所述第二消音通道模块设于所述温湿度控制模块的底部，所述温湿度控制模块的进口设于其底面且出口设置于其顶面。
10、优选的，洁净室本体模块还包括均流组件，所述均流组件包括第一均流器和第二均流器；
11、所述洁净室本体模块的内腔通过所述均流组件分隔为依次导通的进气腔、所述洁净腔和出气腔，且所述进气口与所述进气腔连通，所述出气口与所述出气腔连通；
12、所述第一均流器设于所述进气腔；所述第二均流器设于所述出气腔。
13、优选的，所述第一均流器包括第一密封板和第一网孔板，所述第一密封板和所述第一网孔板相交于第一夹角，且所述第一夹角远离所述进气口设置；
14、所述第二均流器包括所述第二密封板和所述第二网孔板，所述第二密封板和所述第二网孔板相交于第二夹角，且所述第二夹角远离所述出气口设置。
15、优选的，所述第一网孔板的孔密度向远离所述进气口的方向逐渐增大，且所述第二网孔板的孔密度向远离所述出气口的方向逐渐增大。
16、优选的，所述洁净室本体模块还包括柜体；
17、所述柜体的正面具有可打开或关闭所述洁净腔的柜门；
18、所述进气腔、所述洁净腔和所述出气腔于所述柜体中自顶部至底部依次排布，所述进气口和所述出气口位于所述柜体的同一侧壁。
19、优选的，还包括压力组件、温度组件、湿度组件和洁净度组件；
20、所述压力组件包括连通所述进气口的风机和用于使所述洁净腔与外部环境导通或关闭的泄压器；
21、所述温度组件包括控制流入所述洁净腔中气体温度的控温器和连接所述控温器、用于检测洁净腔中温度的温度传感器；
22、所述湿度组件包括控制流入所述洁净腔中气体湿度的控湿器和连接所述控湿器、用于检测洁净腔中湿度的湿度传感器；
23、所述洁净度组件包括用于对流入所述洁净腔的气体进行过滤的过滤器；
24、其中，所述风机、所述控温器、所述控湿器和所述过滤器均设置于所述温湿度控制模块的机柜内；所述温度传感器、所述湿度传感器所述泄压器和所述洁净度组件均设置于所述洁净室本体模块。
25、优选的，所述泄压器位于所述洁净腔的底部，所述洁净度组件还包括过滤片，所述过滤片设于所述洁净腔进口处。
26、优选的，所述第一消音通道模块和所述第二消音通道模块均包括管体和安装于所述管体内部的密孔板；
27、所述管体的进口端和出口端均设有连接法兰；
28、所述温湿度控制模块的出气管和进气管均设有所述连接法兰；
29、所述洁净室本体模块的所述进气口和所述出气口处均设有所述连接法兰。
30、本专利技术提供的洁净室环控系统，通过分别设置洁净室本体模块、消音模块和温湿度控制模块，通过消音模块可以对进出洁净腔的气体进行双重的消音，并且，通过温湿度控制模块可以对进出洁净腔的气体进行温度和湿度的控制，提高洁净室控制精度，满足多种环境对温湿度和噪音的需求，且由于将其分为多个模块分别组装，可以将洁净室环控系统的体积做成紧凑，从而使得其体积较小，且方便生产和运输，同时也降低安装难度。
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1.一种洁净室环控系统，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的洁净室环控系统，其特征在于，所述第一消音通道模块（21）和所述第二消音通道模块（22）呈“倒L形”设置，且所述温湿度控制模块（3）嵌入所述“倒L形”内，且所述第一消音通道模块（21）设于所述温湿度控制模块（3）的顶部，所述第二消音通道模块（22）设于所述温湿度控制模块（3）的侧边，所述温湿度控制模块（3）的进口和出口均设于其顶面。
3.根据权利要求1所述的洁净室环控系统，其特征在于，所述第一消音通道模块和所述第二消音通道模块（22）呈“倒T形”设置，且所述温湿度控制模块（3）嵌入所述“倒T形”的竖直边设置，且所述第一消音通道模块设于所述温湿度控制模块（3）的顶部，所述第二消音通道模块（22）设于所述温湿度控制模块（3）的底部，所述温湿度控制模块（3）的进口设于其底面且出口设置于其顶面。
4.根据权利要求2或3所述的洁净室环控系统，其特征在于，所述洁净室本体模块（1）还包括均流组件（4），所述均流组件（4）包括第一均流器（41）和第二均流器（42）；
5.根据权利要求
6.根据权利要求5所述的洁净室环控系统，其特征在于，所述第一网孔板（412）的孔密度向远离所述进气口（112）的方向逐渐增大，且所述第二网孔板（422）的孔密度向远离所述出气口（113）的方向逐渐增大。
7.根据权利要求4所述的洁净室环控系统，其特征在于，所述洁净室本体模块（1）还包括柜体（11）；
8.根据权利要求5至7任一项所述的洁净室环控系统，其特征在于，还包括压力组件、温度组件、湿度组件和洁净度组件；
9.根据权利要求8所述的洁净室环控系统，其特征在于，所述泄压器（52）位于所述洁净腔（111）的底部，所述洁净度组件还包括过滤片（82），所述过滤片（82）设于所述洁净腔（111）进口处。
10.根据权利要求5至7任一项所述的洁净室环控系统，其特征在于，所述第一消音通道模块（21）和所述第二消音通道模块（22）均包括管体（201）和安装于所述管体（201）内部的密孔板（202）；
...【技术特征摘要】
1.一种洁净室环控系统，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的洁净室环控系统，其特征在于，所述第一消音通道模块（21）和所述第二消音通道模块（22）呈“倒l形”设置，且所述温湿度控制模块（3）嵌入所述“倒l形”内，且所述第一消音通道模块（21）设于所述温湿度控制模块（3）的顶部，所述第二消音通道模块（22）设于所述温湿度控制模块（3）的侧边，所述温湿度控制模块（3）的进口和出口均设于其顶面。
3.根据权利要求1所述的洁净室环控系统，其特征在于，所述第一消音通道模块和所述第二消音通道模块（22）呈“倒t形”设置，且所述温湿度控制模块（3）嵌入所述“倒t形”的竖直边设置，且所述第一消音通道模块设于所述温湿度控制模块（3）的顶部，所述第二消音通道模块（22）设于所述温湿度控制模块（3）的底部，所述温湿度控制模块（3）的进口设于其底面且出口设置于其顶面。
4.根据权利要求2或3所述的洁净室环控系统，其特征在于，所述洁净室本体模块（1）还包括均流组件（4），所述均流组件（4）包括第一均流器（41）和第二均流器（42）；
5.根据权利要求4所述的洁净室环控系统，其特征在于，所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：胡伟，贺光源，李琪铎，
申请(专利权)人：深圳市英维克科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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