【技术实现步骤摘要】
本公开涉及判定存在于带电粒子束装置的试样室内的结构物彼此的碰撞的技术。
技术介绍
1、已知电子显微镜(例如扫描式电子显微镜(scanning electron microscope：sem)、透射型电子显微镜(transmission electron microscope：tem))、聚焦离子束(focused ion beam：fib)装置以及俄歇电子分光(auger electron spectroscopy：aes)装置等带电粒子束装置。
2、已知判定存在于带电粒子束装置的试样室内的结构物彼此是否发生碰撞的技术。以下，参照图36至图38来说明现有技术的碰撞判定方法。其中定义有相互正交的x轴、y轴以及z轴。
3、图36中示出了物镜500、试样保持器502以及搭载于试样保持器502上的试样504。物镜500、试样保持器502以及试样504是存在于试样室内的结构物的一个例子。图36中示出了在y-z平面内观看时的结构物。
4、以往，在二维的y-z平面内，物镜500用多边形来表现，试样保持器502用长方形来表现，判定在y-z平面内物镜500与试样保持器502是否碰撞。另外，设定1个高度作为试样504的高度，判定在y-z平面内物镜500与试样504是否碰撞。在多个试样被搭载到试样保持器502上的情况下，该多个试样之中最高的试样的高度被设定为试样的高度，判定物镜500与试样是否碰撞。
5、图37中示出了试样保持器502、试样504、载台506以及检测器508。图37中示出了在y-z平面内
6、检测器508是进行往复移动的结构物的一个例子。这样的检测器508用在y-z平面内1边与z轴相接的2种长方形来表现。另外，在y-z平面内，试样保持器502用长方形来表现，载台506用2种长方形和1种圆来表现。在现有技术中，判定在y-z平面内这些结构物是否碰撞。
7、图38中示出了试样保持器502、试样室的壁面510以及载台512。图38中示出了在x-y平面内观看时的结构物。
8、在x-y平面内，试样室的壁面510用圆弧和线段的组合来表现，试样保持器502用圆来表现。在现有技术中，预先决定试样保持器502、载台512的可移动范围，判定在x-y平面内这些结构物是否碰撞。
9、日本专利第2726811号公报和特开2021-24019号公报记载有使用体素(voxel)来表现对象物并判定对象物彼此是否发生碰撞的系统。
10、在现有技术中，是在二维的平面内判定结构物彼此是否发生碰撞，没有考虑进深。因此，在二维的平面上判定为结构物彼此重叠的情况下，即使实际上结构物彼此未碰撞，也会判定为结构物彼此发生碰撞。
11、另外，在现有技术中，是使用预先决定的二维的形状来判定是否发生碰撞。例如，决定比实际的结构物大的形状来判定是否发生碰撞。因此，即使在实际上结构物彼此未碰撞的情况下，有时也会判定为结构物彼此发生碰撞。
12、另外，如果能够在实际上移动结构物前判定出是否发生碰撞，则能够避免结构物彼此的碰撞于未然。因此，希望能够在实际上移动结构物前判定出是否发生碰撞。
13、本公开的目的在于，与在二维的平面上判定结构物彼此是否发生碰撞的情况相比，更准确地判定是否发生该碰撞。另外在于，即使在使用三维模型判定是否发生碰撞的情况下，与不实施本公开的技术的情况相比较，也缩短是否发生该碰撞的判定所需要的时间。另外在于，避免结构物彼此的碰撞于未然。
技术实现思路
1、本公开的1个方案是一种碰撞判定装置，其特征在于，包含：判定单元，其通过将用点群表示在带电粒子束装置的试样室内位置变化的动态对象物的三维形状的点群信息和用体素群表示在所述试样室内位置不变化的静态对象物的三维形状的体素群信息进行对照，来判定所述动态对象物与所述静态对象物是否发生重叠，其中，点群信息包含所述动态对象物的位置信息，体素群信息包含所述静态对象物的位置信息，并且体素群信息是被数据库化的；以及输出单元，其输出所述判定单元的判定结果，定义有包含由相互正交的三个坐标轴构成的三维正交坐标系的坐标系，所述判定单元通过按每个坐标轴将表示存在于所述动态对象物的移动路径上的所述静态对象物的体素群信息和表示所述动态对象物的点群信息进行对照，来判定所述动态对象物与所述静态对象物是否发生重叠。
2、也可以是，所述坐标系还包含所述动态对象物的倾斜轴，所述判定单元在所述动态对象物以倾斜轴为中心倾斜的状态下，通过按每个坐标轴将表示存在于所述动态对象物的移动路径上的所述静态对象物的体素群信息和表示所述动态对象物的点群信息进行对照，来判定所述动态对象物与所述静态对象物是否发生重叠。
3、也可以是，所述坐标系还包含所述动态对象物的旋转轴，按每个预先决定的旋转角度的范围生成有表示所述动态对象物的点群信息，所述判定单元通过将与所述动态对象物的旋转角度的范围相应的点群信息和表示所述静态对象物的体素群信息进行对照，来判定所述动态对象物与所述静态对象物是否发生重叠。
4、也可以是，所述判定单元通过按每个坐标轴按顺序将表示存在于所述动态对象物的移动路径上的所述静态对象物的体素群信息和表示所述动态对象物的点群信息进行对照，来判定所述动态对象物与所述静态对象物是否发生重叠，在判定为所述动态对象物与所述静态对象物重叠的情况下，改变进行对照的坐标轴的顺序，通过按每个坐标轴将表示存在于所述动态对象物的移动路径上的所述静态对象物的体素群信息和表示所述动态对象物的点群信息进行对照，来判定所述动态对象物与所述静态对象物是否发生重叠。
5、也可以是，生成有所述静态对象物的每个状态的体素群信息，所述判定单元还通过将与所述静态对象物的状态对应的体素群信息和表示所述动态对象物的点群信息进行对照，来判定所述动态对象物与所述静态对象物是否发生重叠。
6、也可以是，所述静态对象物包含在第1位置与第2位置之间进行往复移动的结构物，所述静态对象物的状态是所述结构物处于所述第1位置的状态、所述结构物处于所述第2位置的状态、或者所述结构物处于在所述第1位置与所述第2位置之间往复移动中的状态。
7、也可以是，所述判定单元还通过将与由所述带电粒子束装置进行的观察的条件相应的表示所述动态对象物的点群信息和表示所述静态对象物的体素群信息进行对照，来判定所述动态对象物与所述静态对象物是否发生重叠。
8、也可以是，所述观察的条件是与对作为观察的对象的试样施加的电压有关的条件。
9、也可以是，碰撞判定装置还包含接受搭载到所述动态对象物的试样的尺寸的输入的用户接口，所述判定单元通过将表示反映了由所述用户接口接受到的尺寸后的所述动态对象物的点群的点群信息和表示所述静态对象物的体素群信息进行对照，来判定所述动态对象物与所述静态对象物是否发生重叠。
10、也可以是，碰撞判定装置还包含算出单元，所述算出单元通过搭载有试样的所述动态对象物的倾斜操作本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种碰撞判定装置，其特征在于，包含：
2.根据权利要求1所述的碰撞判定装置，其特征在于，
3.根据权利要求1所述的碰撞判定装置，其特征在于，
4.根据权利要求1所述的碰撞判定装置，其特征在于，
5.根据权利要求1所述的碰撞判定装置，其特征在于，
6.根据权利要求5所述的碰撞判定装置，其特征在于，
7.根据权利要求1所述的碰撞判定装置，其特征在于，
8.根据权利要求7所述的碰撞判定装置，其特征在于，
9.根据权利要求1所述的碰撞判定装置，其特征在于，
10.根据权利要求1所述的碰撞判定装置，其特征在于，
11.一种计算机可读取的记录介质，记录有程序，其特征在于，所述程序使计算机作为如下单元发挥功能：
12.一种碰撞判定方法，其特征在于，
【技术特征摘要】
1.一种碰撞判定装置，其特征在于，包含：
2.根据权利要求1所述的碰撞判定装置，其特征在于，
3.根据权利要求1所述的碰撞判定装置，其特征在于，
4.根据权利要求1所述的碰撞判定装置，其特征在于，
5.根据权利要求1所述的碰撞判定装置，其特征在于，
6.根据权利要求5所述的碰撞判定装置，其特征在于，
7.根据权利要求...
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