一种用于测量显微镜的放置台制造技术

技术编号:41847576 阅读:5 留言:0更新日期:2024-06-27 18:26
本技术公开了一种用于测量显微镜的放置台,包括底板和设置在底板中心且与底板转动连接的转动轴,所述转动轴的顶部设置有转动盘,所述转动盘顶部中心开设有气孔,位于气孔两侧的转动盘顶部开设有两个关于气孔相对称的凹陷部,位于两个凹陷部之间的所述转动盘顶部形成一个凸台,位于气孔两侧的所述凸台顶部自凸台中心向边缘方向依次设置有第一限位环、第二限位环和第三限位环,所述第三限位环的顶部高度高于第二限位环的顶部高度,所述第二限位环的顶部高度高于第一限位环的顶部高度,所述第一限位环顶部开设有第一环形凹槽,所述第二限位环顶部开设有第二环形凹槽。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及显微镜,具体涉及一种用于测量显微镜的放置台


技术介绍

1、集成电路,也称微芯片、晶片或芯片,是一种把电路小型化的方式,并时常制造在半导体晶圆表面。国内半导体行业起步较晚,芯片产品外观检测通常采用的是光学检测的方式,需要借助于显微镜对芯片的表面进行多个点不同角度的外观检测。

2、显微镜是由一个透镜或几个透镜的组合构成的一种光学仪器,是人类进入原子时代的标志,显微镜是主要用于放大微小物体为人的肉眼所能看到的仪器,显微镜分光学显微镜和电子显微镜:光学显微镜是在1590年由荷兰的詹森所首创。现在的光学显微镜可把物体放大1600倍,分辨的最小极限达波长的1/2。

3、现有显微镜在对芯片进行检测时存在如下缺陷:现有对芯片上多个点检测时需要对芯片进行转移,然而芯片在转移过程中容易受到污染或损坏。

4、对此,特提出一种用于测量显微镜的放置台,来解决上述问题。


技术实现思路

1、本技术的目的在于提供一种用于测量显微镜的放置台,用于解决
技术介绍
中提及的问题。

2、为了达到上述目的,本技术的技术方案是:

3、一种用于测量显微镜的放置台,包括底板和设置在底板中心且与底板转动连接的转动轴,所述转动轴的顶部设置有转动盘,所述转动盘顶部中心开设有气孔,位于气孔两侧的转动盘顶部开设有两个关于气孔相对称的凹陷部,位于两个凹陷部之间的所述转动盘顶部形成一个凸台,位于气孔两侧的所述凸台顶部自凸台中心向边缘方向依次设置有第一限位环、第二限位环和第三限位环,所述第三限位环的顶部高度高于第二限位环的顶部高度,所述第二限位环的顶部高度高于第一限位环的顶部高度,所述第一限位环顶部开设有第一环形凹槽,所述第二限位环顶部开设有第二环形凹槽。

4、优选的,位于转动盘外侧的所述底板顶部设置有环形刻度线,所述凹陷部上设置有指向环形刻度线的箭头,位于转动盘外侧的底板顶部四周均开设有滑槽,所述滑槽内滑动连接有多个固定组件。

5、优选的,所述固定组件包括滑动连接于滑槽内的滑块,所述滑槽的开口处两端均设置有防止滑块脱落的卡条,所述滑块顶部设置有固定套筒,所述固定套筒内设置有内螺纹,固定套筒内螺纹连接有第一转动杆,所述第一转动杆底部设置有可插入至固定套筒内部并与固定套筒螺纹连接的外螺纹,所述第一转动杆的顶部转动连接有第二转动杆,所述第二转动杆远离第一转动杆的一端设置有uv光源灯。

6、优选的,所述转动盘侧面设置有多根垂直于转动盘的调节杆。

7、优选的,所述底板为透明亚克力材质底板。

8、优选的,所述转动盘整体均为透明亚克力材质转动盘。

9、本技术的有益效果是:

10、本技术通过将转动盘通过转动轴设置于底板上,在测量时可以通过调节杆360°转动转动盘,由于在转动盘外侧的底板顶部设置有环形刻度线,在转动过程中,通过转动盘上设置的箭头指向可以清晰的确定旋转角度,方便检测;同时在转动盘顶部开设有两个相对称的凹陷部,便于在检测过程中芯片的拿取,在凸台顶部分别设置有顶部高度不同的第一限位环、第二限位环和第三限位环,可以用来放置不同尺寸的芯片,使得整个装置的适用性更大;在转动盘中心处设置有气孔,在使用时气孔连接外部的抽真空设备,通过负压将芯片固定在凸台上,避免在旋转过程中芯片偏移使得检测结果不精确;在转动盘外部的底板顶部四周均设置有滑槽,可在滑槽内滑动连接有多个固定组件,可以根据检测需要在固定组件上螺纹连接有多个uv光源灯配合检测。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种用于测量显微镜的放置台,包括底板(1)和设置在底板(1)中心且与底板(1)转动连接的转动轴(13),所述转动轴的顶部设置有转动盘(2),其特征在于:所述转动盘(2)顶部中心开设有气孔(22),位于气孔(22)两侧的转动盘(2)顶部开设有两个关于气孔(22)相对称的凹陷部(23),位于两个凹陷部(23)之间的所述转动盘(2)顶部形成一个凸台(24),位于气孔(22)两侧的所述凸台(24)顶部自凸台(24)中心向边缘方向依次设置有第一限位环(25)、第二限位环(26)和第三限位环(27),所述第三限位环(27)的顶部高度高于第二限位环(26)的顶部高度,所述第二限位环(26)的顶部高度高于第一限位环(25)的顶部高度,所述第一限位环(25)顶部开设有第一环形凹槽(251),所述第二限位环(26)顶部开设有第二环形凹槽(261)。

2.根据权利要求1所述的一种用于测量显微镜的放置台,其特征在于:位于转动盘(2)外侧的所述底板(1)顶部设置有环形刻度线(14),所述凹陷部(23)上设置有指向环形刻度线(14)的箭头(231),位于转动盘(2)外侧的底板(1)顶部四周均开设有滑槽(111),所述滑槽(111)内滑动连接有多个固定组件(12)。

3.根据权利要求2所述的一种用于测量显微镜的放置台,其特征在于:所述固定组件(12)包括滑动连接于滑槽(111)内的滑块(121),所述滑槽(111)的开口处两端均设置有防止滑块(121)脱落的卡条(11),所述滑块(121)顶部设置有固定套筒(122),所述固定套筒(122)内设置有内螺纹(123),固定套筒(122)内螺纹连接有第一转动杆(31),所述第一转动杆(31)底部设置有可插入至固定套筒(122)内部并与固定套筒(122)螺纹连接的外螺纹(311),所述第一转动杆(31)的顶部转动连接有第二转动杆(32),所述第二转动杆(32)远离第一转动杆(31)的一端设置有UV光源灯(3)。

4.根据权利要求1所述的一种用于测量显微镜的放置台,其特征在于:所述转动盘(2)侧面设置有多根垂直于转动盘(2)的调节杆(21)。

5.根据权利要求1所述的一种用于测量显微镜的放置台,其特征在于:所述底板(1)为透明亚克力材质底板。

6.根据权利要求1所述的一种用于测量显微镜的放置台,其特征在于:所述转动盘(2)整体均为透明亚克力材质转动盘。

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【技术特征摘要】

1.一种用于测量显微镜的放置台,包括底板(1)和设置在底板(1)中心且与底板(1)转动连接的转动轴(13),所述转动轴的顶部设置有转动盘(2),其特征在于:所述转动盘(2)顶部中心开设有气孔(22),位于气孔(22)两侧的转动盘(2)顶部开设有两个关于气孔(22)相对称的凹陷部(23),位于两个凹陷部(23)之间的所述转动盘(2)顶部形成一个凸台(24),位于气孔(22)两侧的所述凸台(24)顶部自凸台(24)中心向边缘方向依次设置有第一限位环(25)、第二限位环(26)和第三限位环(27),所述第三限位环(27)的顶部高度高于第二限位环(26)的顶部高度,所述第二限位环(26)的顶部高度高于第一限位环(25)的顶部高度,所述第一限位环(25)顶部开设有第一环形凹槽(251),所述第二限位环(26)顶部开设有第二环形凹槽(261)。

2.根据权利要求1所述的一种用于测量显微镜的放置台,其特征在于:位于转动盘(2)外侧的所述底板(1)顶部设置有环形刻度线(14),所述凹陷部(23)上设置有指向环形刻度线(14)的箭头(231),位于转动盘(2)外侧的底板(1)顶部四周均开设有滑槽(111),所述滑槽(111...

【专利技术属性】
技术研发人员:何丽铭张雪峰瞿帅叶建明傅建良赵泽伟
申请(专利权)人:绍兴君万微电子科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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