【技术实现步骤摘要】
本技术涉及减震装置，尤其涉及一种用于晶体生长炉的减震装置。
技术介绍
1、现有的晶体生长炉与真空泵连接，真空泵用于对晶体生长炉的炉体内部抽真空。真空泵在高速运转过程中，容易对地面造成冲击，形成一定频率的震源而传至晶体生长炉，致使单晶无法生长。因此，目前比较普遍的做法是针对真空泵中如何隔绝震源作了不少措施，如在真空泵的底部垫上橡胶的方式或是采用单层避震的模式，但其减震效果仍然不如预期；除了采用隔绝震源的方式，还需要考虑连接晶体生长炉a′与真空泵b′之间的连接管道c′也同样是产生震动的因素，如图1的连接方式，为此，需要作进一步的改进。
技术实现思路
1、本技术所要解决的技术问题是针对上述现有技术现状而提供一种能更好地减弱传至晶体生长炉的震源的减震装置。
2、本技术解决上述技术问题所采用的技术方案为：该用于晶体生长炉的减震装置，包括用于连接晶体生长炉与真空泵之间的连接管道，其特征在于：所述连接管道包括有通过减震结构相接合的第一管体和第二管体，所述第一管体包括有与真空泵相接的第一管口以及与所述减震结构相接的第二管口，对应地，所述第二管体包括有与所述减震结构相接的第三管口以及与晶体生长炉相接的第四管口。
3、为了实现对连接管道起到缓冲减震的效果，优选地，所述减震结构包括有与所述第一管体的第二管口以及与所述第二管体的第四管口直接相接的减震管。该减震管设置在第一管体和第二管体中间，能够吸收部分由真空泵产生的震源频率。
4、为了减少由于减震管的悬置而带来其晃动而
5、进一步地，所述第一管体和第二管体为柔性管体，而所述减震管为刚性管体。由于减震管相较第一管体和第二管体为刚性管体，则其能用于吸收第一管体向第二管体传递的震动带来的冲击力，从而达到增强缓冲减震性能的效果。
6、进一步地，所述第一管体的第二管口与所述减震管的相接处和/或所述第二管体的第四管口与所述减震管的相接处设置有阻尼件。该阻尼件能起到相应的减少噪音和减少震动的作用。
7、当然除了第二管口和第四管口上根据需要而设置阻尼件，在第一管体和第二管体的相接处也能同样设置有减少噪音和减少震动的阻尼件，为此，所述第一管体的第一管口与所述真空泵的相接处和/或所述第二管体的第三管口与所述减震管的相接处设置有阻尼件。
8、为了实现第一管体和第二管体中与减震管的紧固连接，优选地，在所述第一管体的第一管口与所述真空泵的相接处和/或所述第二管体的第三管口与所述减震管的相接处设置有卡箍，所述阻尼件被设置在卡箍内。通过设置卡箍则能更简单地实现第一管体和第二管体与减震管能拆卸式的紧固连接，同时，将阻尼件设置在卡箍内则可以减弱连接处所带来的震动，最终减小整体的连接管道所产生的震动。
9、为了减弱第一管体和第二管体自身在传递真空泵产生的震源频率的作用，优选地，所述第一管体和第二管体的管体截面自外向内依次为波纹管结构层以及位于该波纹管结构层内的橡胶材质层。将第一管体和第二管体的结构设置成波纹管结构层和橡胶材质层的结合，二者能够对真空泵发出的震动在传递路径上进行减震。
10、与现有技术相比，本技术的优点在于：将连接晶体生长炉与真空泵之间的连接管道一分为二，即分成第一管体和第二管体，并在第一管体和第二管体的连接处设置有减震结构，该减震结构能阻断大部分从第一管体和第二管体的传递，进而使得晶体生长炉处于一个稳定的状态。
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1.一种用于晶体生长炉的减震装置，包括用于连接晶体生长炉(A)与真空泵(B)之间的连接管道(1)，其特征在于：所述连接管道(1)包括有通过减震结构(2)相接合的第一管体(11)和第二管体(12)，所述第一管体(11)包括有与真空泵(B)相接的第一管口(11a)以及与所述减震结构(2)相接的第二管口(11b)，对应地，所述第二管体(12)包括有与所述减震结构(2)相接的第三管口(12a)以及与晶体生长炉(A)相接的第四管口(12b)。
2.根据权利要求1所述的减震装置，其特征在于：所述减震结构(2)包括有与所述第一管体(11)的第二管口(11b)以及与所述第二管体(12)的第四管口(12b)直接相接的减震管(21)。
3.根据权利要求2所述的减震装置，其特征在于：所述减震结构(2)还包括有用于支承所述减震管(21)的支承件(22)以及设置在支承件(22)和减震管(21)之间的减震件(23)。
4.根据权利要求2～3任意一项所述的减震装置，其特征在于：所述第一管体(11)和第二管体(12)为柔性管体，而所述减震管(21)为刚性管体。
5
6.根据权利要求5所述的减震装置，其特征在于：所述第一管体(11)的第一管口(11a)与所述真空泵(B)的相接处和/或所述第二管体(12)的第三管口(12a)与所述减震管(21)的相接处设置有阻尼件(3)。
7.根据权利要求5或6所述的减震装置，其特征在于：在所述第一管体(11)的第一管口(11a)与所述真空泵(B)的相接处和/或所述第二管体(12)的第三管口(12a)与所述减震管(21)的相接处设置有卡箍(5)，所述阻尼件(3)被设置在卡箍(5)内。
8.根据权利要求7所述的减震装置，其特征在于：所述第一管体(11)和第二管体(12)的管体截面自外向内依次为波纹管结构层(121)以及位于该波纹管结构层(121)内的橡胶材质层(122)。
...【技术特征摘要】
1.一种用于晶体生长炉的减震装置，包括用于连接晶体生长炉(a)与真空泵(b)之间的连接管道(1)，其特征在于：所述连接管道(1)包括有通过减震结构(2)相接合的第一管体(11)和第二管体(12)，所述第一管体(11)包括有与真空泵(b)相接的第一管口(11a)以及与所述减震结构(2)相接的第二管口(11b)，对应地，所述第二管体(12)包括有与所述减震结构(2)相接的第三管口(12a)以及与晶体生长炉(a)相接的第四管口(12b)。
2.根据权利要求1所述的减震装置，其特征在于：所述减震结构(2)包括有与所述第一管体(11)的第二管口(11b)以及与所述第二管体(12)的第四管口(12b)直接相接的减震管(21)。
3.根据权利要求2所述的减震装置，其特征在于：所述减震结构(2)还包括有用于支承所述减震管(21)的支承件(22)以及设置在支承件(22)和减震管(21)之间的减震件(23)。
4.根据权利要求2～3任意一项所述的减震装置，其特征在于：所述第一管体(11)和第二管体(12)为柔性管...
【专利技术属性】
技术研发人员：胡付生，张冠群，刘丽，
申请(专利权)人：宁波晶钻科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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