旋转干燥机转台位置确认装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种旋转干燥机转台位置确认装置，通过增加硅片取入位置传感器和硅片取出位置传感器，判定旋转干燥机转台位置是否准确。本发明专利技术还公开了一种旋转干燥机转台位置确认方法，使用简单的继电器结构组建逻辑电路对设备内部信号进行逻辑判断，实现旋转干燥机转台硅片取入和取出位置确认，当转台位置反转时利用ＰＬＣ已有程序停止转台工作并报警。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种旋转干燥机转台位置确认装置，本专利技术还涉及一种旋 转干燥机转台位置确认方法。
技术介绍
如图l所示旋转干燥机，包括转台底盘l，用于控制转台停在取入 硅片位置或取出硅片位置，其上有两个凸块2和一个底盘圆孔3，两个凸块2以转台底盘1对称分布在转台底盘1外缘。 一个凸块传感器4，设置 于旋转干燥机转台初始位置时与一凸块2对应的位置，用于检测转台底盘 l的凸块2。 一个圆孔传感器5，其与底盘圆孔3距离转台底盘中心等距， 且设置在凸块传感器4与转台底盘中心之间的位置，用于检测转台底盘圆 孔3。旋转干燥机是通过PLC控制模块，控制旋转干燥机转台工作，判断 旋转干燥机转台位置的。旋转干燥机工作时，圆孔传感器5检测到底盘圆孔3后开始通过凸块 传感器4对凸块2计数，单数时机械手臂取出硅片，双数时机械手臂取入 硅片。当凸块传感器4受到干扰或发生错误时，常常错误计数而导致取入 硅片或取出硅片时转台正好转反，而设备本身报警机制只能判断转台停止 的位置是否为180度的整数倍，转反的转台无法被识别出，设备将继续作 业。基于此，有关技术人员提出在转台的转轴上安装一组检测探针6与传感器7 (如图2)，通过检测探针6的位置并将传感器7输出信号接入PLC(可编程逻辑电路，对设备内部各种输入输出信号进行逻辑运算的模块)闲置的端口，同时更改该端口的PLC程序，达到判断转台位置正确与否以 及报警的功能。但由于更改PLC程序需要请设备供应商的软件工程师实 施，费用昂贵。如何利用旋转干燥机现有的感应信号及PLC模块程序进行操作，达到 判断转台停止时位置是否正确，防止转台转反的目的成为本领域技术人员 有待研发的一个课题。本专利技术的创作者根据旋转干燥机自身的转台固定汽缸顶出传感器、机 械臂抓手合拢传感器及机械臂抓手打开传感器产生的感应信号，配合新增 的传感器及使用继电器组建逻辑电路对设备内部信号进行逻辑判断实现 旋转干燥机转台位置确认，当位置反转时利用PLC根据已有的转台固定汽 缸顶出确认信号停止转台工作并报警。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是提供一种旋转干燥机转台位置确认装 置，它可以使用简单的传感器结构组建逻辑电路对设备内部信号进行逻辑 判断实现旋转干燥机转台硅片取入和取出位置确认，当转台位置反转时利 用PLC已有程序停止转台工作并报警。为此，本专利技术还要提供一种旋转干 燥机转台位置确认方法。为了解决以上技术问题，本专利技术的旋转干燥机转台位置确认装置，用 于判定旋转干燥机转台位置是否准确，包括机械臂抓手合拢传感器，用于检测机械臂抓手合拢感应信号；机械臂抓手打开传感器，用于检测机械臂抓手打开感应信号； 转台固定汽缸顶出传感器，用于固定转台的汽缸完全顶出后向PLC控制模块发出的反馈信号；硅片取入位置传感器，设置于旋转干燥机转台初始位置时底盘圆孔3 对应的位置，用于检测取入硅片时位置确认信号；硅片取出位置传感器，其与硅片取入位置传感器以转台底盘中心对称 设置，用于检测取出硅片时位置确认信号；逻辑运算模块，用于将所述机械臂抓手合拢传感器、机械臂抓手打开 传感器、转台固定汽缸顶出传感器、硅片取入位置传感器及硅片取出位置 传感器的感应信号经过逻辑运算产生转台位置固定确认信号，接入PLC 控制模块；及PLC控制模块,用于根据转台停止时是否接收到转台位置固定确认 信号判断旋转干燥机转台位置是否反转。本专利技术基于上述旋转干燥机转台位置确认装置的位置确认方法，包 括以下步骤(1) 通过硅片取入位置传感器、硅片取出位置传感器、机械臂抓手 打开传感器、机械臂抓手合拢传感器和转台固定汽缸顶出传感器，分别采 集取入硅片时位置确认信号、取出硅片时位置确认信号、机械臂抓手打 开确认信号、机械臂抓手合拢确认信号、及转台固定汽缸顶出确认信号；(2) 将取入硅片时位置确认信号和机械臂抓手打开确认信号进行与 门逻辑运算，产生第一运算信号；将取出硅片时位置确认信号和机械臂抓 手合拢确认信号进行与门逻辑运算，产生第二运算信号；将第一运算信号与第二运算信号进行或门逻辑运算，产生第三运算信号；将第三运算信号 与转台固定汽缸顶出确认信号进行与门逻辑运算，产生第四运算信号；(3)将步骤(2)所得到的第四运算信号接入PLC控制模块，当PLC 控制模块检测到转台停止且未接收到转台位置固定确认信号则判定转台 位置反转。本专利技术使用简单的传感器结构组建逻辑电路对设备内部信号进行逻 辑判断实现旋转干燥机转台硅片取入和取出位置确认，当转台位置反转时 利用PLC已有程序停止转台工作并报警。附图说明下面结合附图和具体实施方式对本专利技术作进一步详细说明。图1是现有的旋转干燥机转台结构示意图2是现有改进的旋转干燥机转台结构示意图3是本专利技术取出硅片时旋转干燥机转台平面示意图4是本专利技术取入硅片时旋转干燥机转台平面示意图5是本专利技术电路实现框图6是本专利技术一种与门逻辑电路结构图7是本专利技术一种或门逻辑电路结构图8是本专利技术一个实施例的逻辑控制电路；图9是本专利技术接入PLC结构示意图。具体实施例方式如图1所示，旋转干燥机包括转台底盘l，用于控制转台停在取入硅片位置或取出硅片位置，其上有两个凸块2和一个底盘圆孔3，两个凸块2以转台底盘1对称分布在转台底盘1外缘;转台固定汽缸顶出传感器，用来根据转台固定后汽缸顶出产出感应信号；机械臂抓手合拢传感器，用 来检测机械臂抓手合拢感应信号；机械臂抓手打开传感器，用来检测机械 臂抓手打开感应信号；及PLC控制模块，用于控制旋转干燥机转台工作， 判断旋转干燥机转台位置。如图3和图4所示，本专利技术在现有结构的基础上增加硅片取入位置传 感器8和硅片取出位置传感器9。硅片取入位置传感器8设置于旋转干燥 机转台初始位置时底盘圆孔3对应的位置，用于检测取入硅片时位置确认 信号。硅片取出位置传感器9则与硅片取入位置传感器8以转台底盘中心 对称设置，用于检测取出硅片时位置确认信号。硅片取入位置传感器8和硅片取出位置传感器9均为对照式光电传感 器，可通过支架安装在转台底盘1的上下两侧。本专利技术通过增加硅片取入位置传感器8和硅片取出位置传感器9，根 据传感器的输出信号就可以用来判断转台停止转动时的实际位置。如图3 所示为取入位置，如图4所示为取出位置。另外，设备在自动运行时，当 旋转干燥机需要取入硅片时，机械臂的夹具抓手处于打开状态；当旋转干 燥机干燥完成后需要取出硅片时，机械臂的夹具抓手处于关闭状态。因此 反映机械臂夹具抓手的开闭状态的两根信号线可以用来判断当前旋转干 燥机转台逻辑上的位置。在旋转干燥机转台停止转动后，有一个用于固定转台的汽缸将活塞顶 出，卡在转轴上的V形口，固定转台位置。同时汽缸上用于确认活塞是否 已完全顶出的传感器将检测到活塞，并发出信号至设备PLC，若PLC终没收到此信号设备将报警。可以利用这根信号线使设备在转台转反时发出 报警。本专利技术通过逻辑运算模块处理各传感器信号，产生转台位置固定确认 信号，并送入PLC控制模块。本专利技术的逻辑运算模块包括三个与门逻辑运 算器和一个或门逻辑运算器，具体连接如图5所示。本专利技术确认旋转干燥机转台位置的方法具体包括以下步骤(1) 、通过硅片取入位置传感器8、硅片取出位置传感器9、机械臂 抓手打开传感器、机械臂抓手合拢传感器和转台固定汽缸顶出传感器本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种旋转干燥机转台位置确认装置，用于判定旋转干燥机转台位置是否准确，包括：机械臂抓手合拢传感器，用于检测机械臂抓手合拢感应信号；机械臂抓手打开传感器，用于检测机械臂抓手打开感应信号；转台固定汽缸顶出传感器，用于固定转台的汽缸完全顶出后向ＰＬＣ控制模块发出反馈信号；其特征在于，所述旋转干燥机转台位置确认装置还包括：　硅片取入位置传感器，设置于旋转干燥机转台初始位置时转台底盘圆孔对应的位置，用于检测取入硅片时位置确认信号；　硅片取出位置传感器，其与所述硅片取入位置传感器以转台底盘中心对称设置，用于检测取出硅片时位置确认信号；　逻辑运算模块，用于将所述机械臂抓手合拢传感器、机械臂抓手打开传感器、转台固定汽缸顶出传感器、硅片取入位置传感器及硅片取出位置传感器的感应信号经过逻辑运算产生转台位置确认信号，接入ＰＬＣ控制模块　及ＰＬＣ控制模块，用于根据转台停止时是否接收到转台位置确认信号判断旋转干燥机转台位置是否反转。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：梁顺远，岳丰，董锐，张传民，
申请(专利权)人：上海华虹NEC电子有限公司，
类型：发明
国别省市：31[中国|上海]