本发明专利技术公开了一种裸晶测试机台用缓冲分类装置，供该机台测试的复数裸晶被置放于复数测试承载盘中，且每一测试承载盘中均形成有复数分别用以承载该等裸晶的承载槽，受该机台处理装置驱动的缓冲分类装置包括：用于置放上述测试承载盘的缓冲区；复数用于分类置放该等受测裸晶、且分别形成有复数收纳该等裸晶的容置槽的出料承载盘；将该等位于缓冲区中的测试承载盘内的受测裸晶依照该处理装置驱动讯号分别移入对应出料承载盘中的搬移器。本发明专利技术还公开了采用上述缓冲分类装置的裸晶测试机台。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种裸晶测试机台用缓冲分类装置；本专利技术还涉及具有该缓 冲分类装置的裸晶测试机台。
技术介绍
半导体组件经历晶圆阶段(Wafer)制程后，逐一分割，于未进入封装阶段 (Package)制程前，为裸晶(Bare die or Bare Chip)状态，由于目前部分内 存等组件，既要增大容量、又要减小所占用体积，而纷纷采取例如堆栈式封 装，堆栈多层裸晶并封装后再要进行检测，难度将大幅提高，为保障半导体 组件制造质量且预防日后不良品衍生损失，在裸晶阶段即进行电性检测乃成 为必要之品管过程。裸晶的外观如图1所示，裸晶10大致呈矩形薄片状，相较于动辄数毫米 (mm)至十余毫米见方之长度与宽度，其厚度往往仅百余微米("m)彼此差距百 倍，故在其厚度方向非常易于受损。裸晶10在端缘处则形成有复数接点102 以供日后电性连接，随半导体制程技术快速提升，裸晶的尺寸不断縮减，接 点的数量反而因功能需求而增多，轻薄短小的裸晶与布设密集接点已为时势 所趋。由于接点数量多且位置密集，目前进行测试时，多以探针卡(Probe Card) 作为电连接检测的接口，常见的探针卡外型不一，但构造大致相同，均为利 用探针卡上间距对应裸晶接点间隔的探针群， 一次直接覆盖待测裸晶的复数 接点，供给并传输电讯号进行电性测试，进而判断裸晶良莠。如图2所示，为探针卡点触裸晶接点的立体示意图，复数的接点102配 置于裸晶10 —侧，探针卡2确定位置垂直下压后，使探针卡2 —端的复数探 针22逐一对应裸晶10的复数接点102，完成电连接的导通路径。半导体制程快速进化，然进行裸晶测试时，仍以人工操作检测机、单次 检测单颗裸晶的检测模式为主，既为人工检测，不免有误测、漏测或因裸晶 脆弱特性，发生于吸放裸晶时误损待测裸晶情事。且因此，检测机置入待测 裸晶进行检测、取出完测裸晶的流程速度几乎无法提升，产出效率可想而知。 且因裸晶并非最终使用的状态，随后必然面临将接点引出形成接脚以及进行 封装的无尘室作业，检测过程中，作业人员的手动操作无疑又带来些许不确 定因素，从而提高污染源的可能性。因此，若能提供一种全自动化、可同时进行复数裸晶自动化检测，并提 供脆弱的裸晶洁净、安全的检测动线与环境，不仅立即提升裸晶检测效率， 亦同时提升检测质量与裸晶良率保证，应为最佳解决方案。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是提供一种完全取代人工检测，且同时施测 复数裸晶，有效提升检测质量与效率的裸晶测试机台用缓冲分类装置。具有 缓冲分类装置的裸晶测试机台进出料过程妥善传递裸晶，避免造成无谓损坏。 本专利技术所要解决的另一技术问题是提出一种具有上述缓冲分类装置的裸晶测 试机台。为了解决上述技术问题，本专利技术提出的裸晶测试机台用缓冲分类装置， 供该机台测试的复数裸晶被置放于复数测试承载盘中，且每一测试承载盘中 均形成有复数分别用以承载该等裸晶的承载槽，其创新点在于受该机台处理装置驱动的缓冲分类装置包括用于置放上述测试承载盘的缓冲区；复数 用于分类置放该等受测裸晶、且分别形成有复数收纳该等裸晶的容置槽的出料承载盘；将该等位于缓冲区中的测试承载盘内的受测裸晶依照该处理装置驱动讯号分别移入对应出料承载盘中的搬移器。本专利技术中，缓冲区最好位于机台的基座上；搬移器最好为设置有吸嘴的 机械臂；该吸嘴最好具有大于一个预定截面的吸附部，藉此将吸力分散至被 吸取的该裸晶的 一个预定面积。本专利技术提出的裸晶测试机台，供该机台测试的复数裸晶被置放于复数测 试承载盘中，且每一测试承载盘中均形成有复数分别用以承载该等裸晶的承 载槽，其特征是，该机台包含基座、输送该等承载盘的输送装置、对应该 输送装置的检测装置、接受该检测装置讯号而判定该等受测裸晶性能的处理 装置及受该处理装置驱动的上述的缓冲分类装置。本专利技术上述裸晶测试机台中，最好还包含对应该输送装置和/或该检测装 置，并将该等测试承载盘中的该等裸晶位置数据输出至该处理装置的影像撷 取装置。相对于现有技术，本专利技术的缓冲分类装置于分类时仅对裸晶进行单次吸 放动作，精心设计的吸嘴吸附部有效吸取裸晶却无损坏裸晶顾虑；整合缓冲 分类装置于测试机台，藉由测试承载盘同时携行多颗裸晶，可于复数检测端 口位置、无须刻意取放裸晶即可同步进行检测。附图说明图1是常见的裸晶的外观立体示意图2是常见的探针卡点测裸晶的立体图3是本专利技术裸晶测试机台第一实施例俯视图4是图3中检测装置的俯视图5是图3中搬移器吸嘴的立体图；图6是本专利技术裸晶测试机台第二实施例的俯视图。其中10为裸晶；102为接点；12、 12'为测试承载盘；122、 122'为承载槽；2为探针卡；22为探针；3、 3为测试机台；32、 32'为入料装置；4、 4'为基座；5、 5'为输送装置；52、 52'为入料运送器；54、 54'为出料运 送器；6、 6'为检测装置；62为检测端口； 64为探针卡；66为举升臂；7、 7' 为处理装置；8、 8'为缓冲分类装置；82、 82'为缓冲区；84、 84，为出料 承载盘；842、 842，为容置槽；86、 86，为机械臂；862为吸嘴；864为吸附 部；9、 9'为影像撷取装置。具体实施例方式下面结合附图和具体实施例，进一步阐述本专利技术。这些实施例应理解为 仅用于说明本专利技术而不用于限制本专利技术的保护范围。在阅读了本专利技术记载的 内容之后，本领域技术人员可以对本专利技术作各种改动或修改，这些等效变化 和修饰同样落入本专利技术所附权利要求书所限定的范围。由于裸晶的接点密布于两侧端部，探针检测时必须精准对位， 一旦承载 盘的承载槽制造精度不足，将使置放其中的裸晶不易被正确对位检测，但高 精度的承载盘造价不菲，因此，本专利技术下述实施例中将检测过程中所使用的 高精度承载盘称为检测承载盘，而承载检测完毕裸晶的低精度承载盘称为出 料承载盘。当然，如熟于此技术者所能轻易理解，若不考虑价格因素，并辅 佐以其它对位机制而解决检测所需的对位精度问题，则两者交替使用亦无不 可。如图3及图4所示，本专利技术第一较佳实施例提出的裸晶测试机台3包含 基座4、入料装置32、运送测试承载盘12的输送装置5、对应输送装置5的 检测装置6、影像撷取装置9、当检测装置6输出检测讯号时进行判定裸晶性 能的处理装置7及缓冲分类装置8。检测过程中，图1中的裸晶10将被保持容置于测试承载盘12的复数承载槽122中，以接受承载槽122的保护与定位 而降低受损风险并确保检测时对位；且本实施例中，复数待测的测试承载盘 12被分两迭堆栈于入料装置32处，每个测试承载盘12则具有4个承载槽122。本实施例中，输送装置5包括一组入料运送器52及出料运送器54;入料 运送器52则包括一组可沿图式左右方向移动而设置的吸取器、以及可沿图式 上下方向移动且彼此平行设置的两组纵向承载移动器。吸取器由入料装置32 处取得测试承载盘12，并分别向左、右输送，使测试承载盘12就输送装置5 的承载移动器起点的预定位置，并由影像撷取装置9取得测试承载盘12中的 各裸晶位置数据而输出至处理装置7，若测试承载盘12定位稍有偏差，将由 微调装置(图中未标示)微调校准，供对应稍后检测端口 62之定位所需。当承载移动器将测试承载盘12移至对应检测装置6处，本实施例中检测 本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种裸晶测试机台用缓冲分类装置，供该机台测试的复数裸晶被置放于复数测试承载盘中，且每一测试承载盘中均形成有复数分别用以承载该等裸晶的承载槽，其特征是，受该机台处理装置驱动的缓冲分类装置包括： 用于置放上述测试承载盘的缓冲区； 复数用于分类置放该等受测裸晶、且分别形成有复数收纳该等裸晶的容置槽的出料承载盘； 将该等位于缓冲区中的测试承载盘内的受测裸晶依照该处理装置驱动讯号分别移入对应出料承载盘中的搬移器。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：林汉声，
申请(专利权)人：中茂电子深圳有限公司，
类型：发明
国别省市：94[中国|深圳]
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