【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及晶圆检测，更具体地说，它涉及一种视觉检测运动三轴平台。
技术介绍
1、平整度是圆晶最主要的参数之一，主要是因为光刻工艺对局部位置的平整度是非常敏感的，圆晶平整度是指在通过硅片的直线上的厚度变化，常用两组上下相对的光谱聚焦传感器进行检测圆晶的上表面和下表面，早期圆晶的平面度及厚度检测平台主要为三轴运动平台。
2、目前市场常用的三轴运动平台均由旋转电机控制丝杆运动，常用于常规机械零件的加工，定位精度在几个um之间，相对来说满足不了半导体行业的需求，其次，在较高精度运动下，受环境影响很大，对于已经达到纳米级精度，材料的轻微受热就会引起变形，从而影响精度。
技术实现思路
1、本专利技术提供一种视觉检测运动三轴平台，解决相关技术中常用的三轴运动平台定位精度差，其次，在较高精度运动下，受环境影响很大，对于已经达到纳米级精度，材料的轻微受热就会引起变形，从而影响精度的技术问题。
2、本专利技术提供了一种视觉检测运动三轴平台，包括：
3、底座，所述底座上设有y轴气浮导轨，且y轴气浮导轨上设有x轴气浮导轨，所述底座上还安装有z轴支架，且z轴支架上设有z轴气浮导轨；
4、所述y轴气浮导轨包括设于底座两侧的双主轨和双辅轨，通过双主轨和双辅轨组成y轴气浮导轨；
5、所述x轴气浮导轨包括设于双主轨之间的x轴滑块，x轴滑块上可安装被检测物品的治具，且x轴滑块下方设有x轴导轨，所述x轴滑块滑动连接于x轴导轨上方，所述x轴导轨上安装有y轴滑
6、所述z轴气浮导轨包括安装在z轴支架上的z轴导轨，且z轴导轨上滑动连接有z轴滑块，所述z轴导轨上安装有无阻尼配重气缸，且无阻尼配重气缸的伸缩端安装有气缸连接件，所述气缸连接件安装在z轴滑块的两侧；
7、所述x轴滑块上设有限位翻转组件，用于对放置在x轴滑块上的晶圆进行翻转，对晶圆进行双面检测，并对晶圆的活动位置进行限位，使得在对晶圆进行x轴和y轴移动时，晶圆能够在x轴滑块上保持稳定。
8、作为本专利技术的进一步优化方案，所述x轴导轨上安装有第一光栅尺读头，所述底座上安装有y轴直线电机，用于控制y轴气浮导轨进行移动，并通过第一光栅尺读头反馈位置；
9、所述x轴滑块上安装有第二光栅尺读头，所述x轴导轨上安装有x轴直线电机，用于控制x轴气浮导轨进行移动，并通过第二光栅尺读头反馈位置；
10、所述z轴滑块上安装有第三光栅尺读头，所述z轴导轨上安装有z轴直线电机，用于控制z轴气浮导轨进行移动，并通过第三光栅尺读头反馈位置。
11、作为本专利技术的进一步优化方案，所述底座的下方设有支撑组件，且支撑组件包括设于底座下方的支撑架，所述支撑架与底座之间安装有多个伸缩气缸，且伸缩气缸的伸缩端安装有上脚杯，用于气浮弹簧断气时保护气浮弹簧以及运输保护，所述支撑架的四周还安装有下脚杯，且下脚杯用于对底座的水平度进行初步调节。
12、作为本专利技术的进一步优化方案，所述支撑架与底座之间还设有抗干扰组件，且抗干扰组件包括多个安装在底座和支撑架之间的气浮弹簧，所述支撑架上还安装有多个调节阀，且调节阀与气浮弹簧相连接，用于对底座进行水平调节。
13、作为本专利技术的进一步优化方案，所述限位翻转组件包括安装在x轴滑块两侧的侧板，且侧板上安装有电动推杆，所述电动推杆的伸缩端安装有连接座，且连接座内轴承连接有连接轴，两组所述连接轴相靠近的一端安装有固定架，且固定架上安装有用于放置晶圆的检测盘，其中一组所述连接座上安装有第一驱动电机，且第一驱动电机的输出轴与其中一组连接轴固定连接。
14、作为本专利技术的进一步优化方案，所述检测盘内部的上下两侧皆设有多个垫板，且垫板上安装有限位杆，所述检测盘与所述限位杆之间为滑动连接，
15、作为本专利技术的进一步优化方案，所述限位杆上还设有压缩弹簧。
16、作为本专利技术的进一步优化方案，所述限位杆远离垫板的一端安装有连接架，且连接架内轴承连接有滚轮，所述连接座内部的上下两侧皆设有连接环，且连接环位于所述连接架内部，所述连接环上安装有多个凸块，且凸块设置为弧形。
17、作为本专利技术的进一步优化方案，所述垫板上胶粘有橡胶防护层，所述橡胶防护层与晶圆表面接触，对晶圆外表面进行保护。
18、作为本专利技术的进一步优化方案，所述连接环上还安装有齿条板，且齿条板为弧形设置，所述齿条板上啮合连接有齿轮，所述连接座上还安装有第二驱动电机，且第二驱动电机的输出轴与齿轮固定连接。
19、本专利技术的有益效果在于：
20、1、本专利技术通过采用大理石和铝合金材料结合的特点，大理石能防止底座上关键x轴导轨和y轴导轨因运动产生热量影响运动性能，能够保证运动的稳定性，铝合金能够和在一定程度上消除温度变化的影响减轻z轴的负载。
21、2、本专利技术通过z轴滑块使用无阻尼配重气缸平衡负载重力，使z轴滑块能够实现带负载达到高精度高频往复运动。
22、3、本专利技术通过x轴导轨和y轴导轨作为关键性导轨，x轴导轨为长导轨，质量较大，y轴导轨使用双主轨和双辅轨的方式设计，避免了长行程导轨结构悬臂而造成导轨受力导致外形变化。
23、4、本专利技术通过支撑架设计四个上脚杯避免了气浮弹簧断气直接与底座受力影响气浮弹簧寿命。
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1.一种视觉检测运动三轴平台，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种视觉检测运动三轴平台，其特征在于，所述X轴导轨（402）上安装有第一光栅尺读头（303），所述底座（1）上安装有Y轴直线电机（304），用于控制Y轴气浮导轨（3）进行移动，并通过第一光栅尺读头（303）反馈位置；
3.根据权利要求1所述的一种视觉检测运动三轴平台，其特征在于，所述底座（1）的下方设有支撑组件（6），且支撑组件（6）包括设于底座（1）下方的支撑架（603），所述支撑架（603）与底座（1）之间安装有多个伸缩气缸，且伸缩气缸的伸缩端安装有上脚杯（601），用于气浮弹簧（701）断气时保护气浮弹簧（701）以及运输保护，所述支撑架（603）的四周还安装有下脚杯（602），且下脚杯（602）用于对底座（1）的水平度进行初步调节。
4.根据权利要求3所述的一种视觉检测运动三轴平台，其特征在于，所述支撑架（603）与底座（1）之间还设有抗干扰组件（7），且抗干扰组件（7）包括多个安装在底座（1）和支撑架（603）之间的气浮弹簧（701），所述支撑架（603）上还安
5.根据权利要求1所述的一种视觉检测运动三轴平台，其特征在于，所述限位翻转组件（9）包括安装在X轴滑块（401）两侧的侧板（901），且侧板（901）上安装有电动推杆（902），所述电动推杆（902）的伸缩端安装有连接座（903），且连接座（903）内轴承连接有连接轴（904），两组所述连接轴（904）相靠近的一端安装有固定架（905），且固定架（905）上安装有用于放置晶圆的检测盘（906），其中一组所述连接座（903）上安装有第一驱动电机（907），且第一驱动电机（907）的输出轴与其中一组连接轴（904）固定连接。
6.根据权利要求5所述的一种视觉检测运动三轴平台，其特征在于，所述检测盘（906）内部的上下两侧皆设有多个垫板（908），且垫板（908）上安装有限位杆（909），所述检测盘（906）与所述限位杆（909）之间为滑动连接。
7.根据权利要求6所述的一种视觉检测运动三轴平台，其特征在于，所述限位杆（909）上还设有压缩弹簧（912）。
8.根据权利要求6所述的一种视觉检测运动三轴平台，其特征在于，所述限位杆（909）远离垫板（908）的一端安装有连接架（910），且连接架（910）内轴承连接有滚轮（911），所述连接座（903）内部的上下两侧皆设有连接环（913），且连接环（913）位于所述连接架（910）内部，所述连接环（913）上安装有多个凸块（914），且凸块（914）设置为弧形。
9.根据权利要求6所述的一种视觉检测运动三轴平台，其特征在于，所述垫板（908）上胶粘有橡胶防护层，所述橡胶防护层与晶圆表面接触，对晶圆外表面进行保护。
10.根据权利要求8所述的一种视觉检测运动三轴平台，其特征在于，所述连接环（913）上还安装有齿条板（915），且齿条板（915）为弧形设置，所述齿条板（915）上啮合连接有齿轮（916），所述连接座（903）上还安装有第二驱动电机（917），且第二驱动电机（917）的输出轴与齿轮（916）固定连接。
...【技术特征摘要】
1.一种视觉检测运动三轴平台，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种视觉检测运动三轴平台，其特征在于，所述x轴导轨（402）上安装有第一光栅尺读头（303），所述底座（1）上安装有y轴直线电机（304），用于控制y轴气浮导轨（3）进行移动，并通过第一光栅尺读头（303）反馈位置；
3.根据权利要求1所述的一种视觉检测运动三轴平台，其特征在于，所述底座（1）的下方设有支撑组件（6），且支撑组件（6）包括设于底座（1）下方的支撑架（603），所述支撑架（603）与底座（1）之间安装有多个伸缩气缸，且伸缩气缸的伸缩端安装有上脚杯（601），用于气浮弹簧（701）断气时保护气浮弹簧（701）以及运输保护，所述支撑架（603）的四周还安装有下脚杯（602），且下脚杯（602）用于对底座（1）的水平度进行初步调节。
4.根据权利要求3所述的一种视觉检测运动三轴平台，其特征在于，所述支撑架（603）与底座（1）之间还设有抗干扰组件（7），且抗干扰组件（7）包括多个安装在底座（1）和支撑架（603）之间的气浮弹簧（701），所述支撑架（603）上还安装有多个调节阀（702），且调节阀（702）与气浮弹簧（701）相连接，用于对底座（1）进行水平调节。
5.根据权利要求1所述的一种视觉检测运动三轴平台，其特征在于，所述限位翻转组件（9）包括安装在x轴滑块（401）两侧的侧板（901），且侧板（901）上安装有电动推杆（902），所述电动推杆（902）的伸缩端安装有连接座（903），且连接座（903）内轴承连接有连接轴（904），两组所述连接轴（904）相靠近的一端...
【专利技术属性】
技术研发人员：周盈，熊清平，罗勇发，潘权，关胜敏，
申请(专利权)人：深圳华中数控有限公司，
类型：发明
国别省市：
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