【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及清洗机，尤其是涉及一种清洗流体系统、自动清洗系统以及清洗方法。
技术介绍
1、由于半导体领域对芯片有根本性的依赖，随着半导体领域的高速发展，随之而来的芯片清洗领域也得到快速发展。半导体清洗技术可以分为湿法清洗和干法清洗两种，其中，湿法清洗是目前市场上的主流清洗方法。而清洗流体系统又是其中不可或缺的一部分，选用性能较好的清洗流体系统能提高清洗效率，延长芯片使用寿命。
2、现有的芯片清洗流体系统包括有槽式清洗机，其主要是将芯片浸泡在清洗液中进行清洗。然而，随着长时间的浸泡会造成芯片污染，影响使用寿命，并且，当更换不同的清洗液时，每次需要人工操作从某一种清洗液中将芯片取出并放入另一种清洗液中，这样会大大降低清洗速度，导致延长清洗周期。
技术实现思路
1、本专利技术提供了一种清洗流体系统、自动清洗系统以及清洗方法，以解决现有技术在清洗芯片时采用人工操作更换清洗液导致降低清洗速度等技术问题中的至少一部分。
2、根据本专利技术的一个方面，提供了一种清洗流体系统，包括多个液路组件、吹气组件和控制模块；
3、多个所述液路组件分别用于与清洗设备连通，所述清洗设备用于容纳目标物；
4、所述控制模块电连接于多个所述液路组件和所述吹气组件，且所述控制模块设置为控制多个所述液路组件分别向所述清洗设备输送不同的流体，以用于对所述清洗设备中的目标物进行清洗；所述控制模块还设置为控制所述吹气组件向所述清洗设备输送气体，以对清洗后的目标物进行吹干。>
5、根据本专利技术提供的清洗流体系统，将多个液路组件和吹气组件均与控制模块电连接，通过控制模块可以控制多个液路组件分别向清洗设备内输送不同种类的清洗液，实现自动化更换清洗液；并且，通过控制模块还可以控制吹气组件向清洗设备内输送干燥气体，实现自动化吹干清洗后的目标物。由此，本专利技术提供的清洗流体系统采用自动化输送以及更换清洗液，无需人工操作，可以大幅提高清洗速度和清洗效率，而且可以避免人工操作时与清洗液接触产生危险。
6、在进一步优选的方案中，所述液路组件包括储液箱、清洗管路、清洗驱动件和清洗阀；
7、所述储液箱用于储存清洗剂，所述清洗管路连通于所述储液箱并用于与清洗设备连通，所述清洗驱动件和所述清洗阀均设置于所述清洗管路中；
8、所述控制模块电连接于所述清洗驱动件和所述清洗阀，所述控制模块设置为通过所述清洗阀控制所述储液箱与所述清洗设备之间的通断、通过所述清洗驱动件将所述储液箱内的清洗剂输送至所述清洗设备中。
9、本方案中，每一个液路组件均设置为包括储液箱、清洗管路、清洗驱动件和清洗阀，其中，所有的清洗驱动件和清洗阀均与控制模块电连接。通过控制模块可以控制清洗阀的开启或关闭，从而控制任意液路组件与清洗设备之间的通断，有利于快速更换不同的液路组件以向清洗设备输送不同种类的清洗液。并且，通过控制模块还可以控制清洗驱动件的输出功率，从而调控经由任意液路组件向清洗设备输送的清洗液的流量，以便于提高清洗效率。
10、在进一步优选的方案中，所述液路组件还包括补液组件，所述补液组件受控连通于所述储液箱；
11、所述控制模块电连接于所述补液组件，以控制所述补液组件向所述储液箱补充清洗剂。
12、本方案中，通过控制模块可以控制补液组件向储液箱内补充清洗液，实现自动化及时补液，避免出现清洗液不足的情况。
13、在进一步优选的方案中，所述补液组件包括补液箱、补液管路以及控制元件；
14、所述补液管路连通于所述补液箱，所述控制元件设置于所述补液管路中；
15、所述控制模块电连接于所述控制元件，以用于通过所述控制元件控制所述补液管路与所述储液箱之间的通断。
16、本方案中，补液组件设置为包括补液箱、补液管路以及控制元件，其中，控制元件与控制模块电连接。通过控制模块和控制元件可以控制补液管路的通断，从而实现自动化补液，有利于提高补液效率。
17、在进一步优选的方案中，所述清洗管路包括管路本体和喷头，所述喷头设置于所述管路本体上并连通于所述管路本体、且用于设置在所述清洗设备中，以使所述管路本体中的流体通过所述喷头喷淋在目标物表面。
18、本方案中通过喷头向目标物表面喷淋清洗液，利用喷淋清洗方式代替传统的浸泡清洗方式，可以避免清洗液与目标物长时间接触而对目标物表面结构产生破坏、导致影响目标物的功能和使用寿命的问题。并且，可以通过控制模块控制液路组件与清洗设备之间的通断，实现自动化喷淋清洗，操作方便且高效。
19、在进一步优选的方案中，所述喷头的数量为多个，多个所述喷头均连通于所述管路本体且位于所述目标物同一侧的多个所述喷头在水平方向上间隔设置。
20、本方案中，将目标物两侧的多个喷头间隔设置，每一个喷头可以分别对应一个目标物，则可以通过不同的喷头分别对不同的目标物进行喷淋操作，从而实现批量化喷淋清洗，有利于提高清洗效率。
21、在进一步优选的方案中，多个所述喷头相对设置在目标物的两侧。
22、本方案中，将多个喷头相对设置在目标物的两侧，则可以同时对目标物的两侧进行喷淋清洗，有利于提高清洗效率。
23、在进一步优选的方案中，所述吹气组件包括干燥箱、干燥管路以及干燥阀；
24、所述干燥箱用于储存干燥气体；
25、所述干燥管路连通所述干燥箱并用于与所述清洗设备连通；
26、所述干燥阀设置于所述干燥管路中；
27、所述控制模块电连接于所述干燥阀，所述控制模块设置为通过所述干燥阀控制所述干燥箱与所述清洗设备之间的通断，以将所述干燥箱内的干燥气体输送至所述清洗设备中。
28、本方案中，吹气组件设置为包括干燥箱、干燥管路以及干燥阀，其中，干燥阀与控制模块电连接。通过控制模块可以控制干燥阀的开启或关闭，从而控制干燥箱与清洗设备之间的通断，则可以通过自动化控制实现快速向清洗设备内的目标物进行吹风干燥，从而提高干燥效率，进而减少清洗周期。
29、在进一步优选的方案中，多个所述液路组件和所述吹气组件沿竖直方向间隔排布。
30、在进一步优选的方案中，多个所述液路组件包括第一液路组件和第二液路组件，所述第一液路组件和第二液路组件分别用于与所述清洗设备连接；
31、所述控制模块电连接于所述第一液路组件和所述第二液路组件，且所述控制模块设置为控制所述第一液路组件和所述第二液路组件交替向所述清洗设备输送第一清洗剂和第二清洗剂，以用于对所述清洗设备中的目标物进行清洗。
32、本方案中，可以先控制第一液路组件开始运行以向清洗设备输送第一清洗剂，利用第一清洗剂对清洗设备中的目标物进行清洗后，控制第一液路组件停止运行，再控制第二液路组件开始运行以向清洗设备输送第二清洗剂，利用第二清洗剂对清洗设备中的目标物进行清洗后，控制第二液路组件停止运行，此时再更换至通过第一清洗剂对目标物进行清洗。由此，通过本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种清洗流体系统，其特征在于，包括多个液路组件、吹气组件和控制模块；
2.根据权利要求1所述的清洗流体系统，其特征在于，
3.根据权利要求2所述的清洗流体系统，其特征在于，
4.根据权利要求3所述的清洗流体系统，其特征在于，
5.根据权利要求2所述的清洗流体系统，其特征在于，所述清洗管路包括管路本体和喷头，所述喷头设置于所述管路本体上并连通于所述管路本体、且用于设置在所述清洗设备中，以使所述管路本体中的流体通过所述喷头喷淋在目标物表面。
6.根据权利要求5所述的清洗流体系统，其特征在于，所述喷头的数量为多个，多个所述喷头均连通于所述管路本体且位于所述目标物同一侧的多个所述喷头在水平方向上间隔设置。
7.根据权利要求6所述的清洗流体系统，其特征在于，多个所述喷头相对设置在目标物的两侧。
8.根据权利要求1所述的清洗流体系统，其特征在于，所述吹气组件包括干燥箱、干燥管路以及干燥阀；
9.根据权利要求8所述的清洗流体系统，其特征在于，多个所述液路组件和所述吹气组件沿竖直方向间隔排布。p>
10.根据权利要求1-9中任一项所述的清洗流体系统，其特征在于，
11.一种自动清洗系统，其特征在于，包括根据权利要求1-10所述的清洗流体系统和清洗设备，所述清洗流体系统的多个所述液路组件受控连通于所述控制模块、以对所述清洗设备中的目标物进行清洗，所述吹气组件受控连通于所述控制模块，以对清洗后的目标物进行吹干。
12.一种清洗方法，其特征在于，根据权利要求10所述的清洗流体系统来实现，所述第一清洗剂为水系的清洗剂，所述清洗方法包括：
...【技术特征摘要】
1.一种清洗流体系统，其特征在于，包括多个液路组件、吹气组件和控制模块；
2.根据权利要求1所述的清洗流体系统，其特征在于，
3.根据权利要求2所述的清洗流体系统，其特征在于，
4.根据权利要求3所述的清洗流体系统，其特征在于，
5.根据权利要求2所述的清洗流体系统，其特征在于，所述清洗管路包括管路本体和喷头，所述喷头设置于所述管路本体上并连通于所述管路本体、且用于设置在所述清洗设备中，以使所述管路本体中的流体通过所述喷头喷淋在目标物表面。
6.根据权利要求5所述的清洗流体系统，其特征在于，所述喷头的数量为多个，多个所述喷头均连通于所述管路本体且位于所述目标物同一侧的多个所述喷头在水平方向上间隔设置。
7.根据权利要求6所述的清洗流体系统，其特征在于，多...
【专利技术属性】
技术研发人员：李志，要军磊，张宇宁，云全新，黎宇翔，董宇亮，章文蔚，徐讯，
申请(专利权)人：深圳华大生命科学研究院，
类型：发明
国别省市：
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