【技术实现步骤摘要】
本申请涉及分流，尤其涉及一种分流板、分流装置及化学气相沉积设备。
技术介绍
1、分流板用于对流体进行分流，流体经分流板分流后从分流板内流出，以能够分布在较大范围的空间内。但是，相关技术中，从分流板流出的流体在空间内分布的均匀性相对较差。
技术实现思路
1、本申请提供一种分流板、分流装置及化学气相沉积设备，能够提高从分流板流出的流体在空间内分布的均匀性。
2、第一方面，本申请提供一种分流板，分流板包括多个彼此独立的流路结构；至少一个流路结构包括多级流道，下一级流道并联后与对应的上一级流道串联；首级流道的首端形成有进流口，进流口用于连接在外部管道上；末级流道的末端形成有排流口，排流口用于将流体排出分流板。
3、在本申请的一种实现方式中，所有排流口沿分流板的延展方向阵列分布。
4、在本申请的一种实现方式中，属于同一流路结构的多个排流口呈阵列分布，多个流路结构呈阵列分布，以使所有排流口呈阵列分布。
5、在本申请的一种实现方式中，下一级流道沿对应的上一级流道的出口周向分布，以使属于同一流路结构的多个排流口呈阵列分布。
6、在本申请的一种实现方式中，分流板包括第一板部和第二板部，第一板部位于分流板在自身延展方向的中部，第二板部位于分流板在自身延展方向的边缘；多个流路结构包括第一流路结构和第二流路结构，第一流路结构位于第一板部上，第二流路结构位于第二板部上。
7、在本申请的一种实现方式中，沿第一板部和第二板部的排列方向，多个
8、在本申请的一种实现方式中，所有流路结构均包括多级流道。
9、在本申请的一种实现方式中，所有流路结构具有的流道的级数相同。
10、在本申请的一种实现方式中，依次串联的流道形成流道组，每个流道组均将对应的排流口连接至对应的进流口；属于同一流路结构的任意两组流道组的总长相同，且对应部分的等效内径相同。
11、在本申请的一种实现方式中，流路结构用于输送气体。
12、第二方面，本申请提供一种分流装置，分流装置包括流体输入结构和本申请第一方面提供的分流板。流体输入结构包括主管和多个支管，多个支管并联后与主管串联，支管的末端连接至进流口，支管与流路结构一一对应设置，支管具有调节阀。
13、在本申请的一种实现方式中，流体输入结构还包括分路器，分路器形成有匀流腔，主管的末端连接至匀流腔，支管的入口连接至匀流腔。
14、第三方面，本申请提供一种化学气相沉积设备，化学气相沉积设备包括反应室和本申请第一方面提供的分流板。所有排流口均用于向同一反应室内排流。
15、本申请提供的分流板，多个流路结构彼此独立，即不同流路结构内流体的流动能够被独立调节，互不影响。在属于不同流路结构的排流口排出流体的流量不一致的情况下，不同流路结构内的流体流动能够被独立调节，使得可以方便地将属于不同流路结构的排流口排出流体的流量调整至一致的状态，从而有利于提高从分流板流出的流体在空间内分布的均匀性。而且，分流板包括多个彼此独立的流路结构，使得单个流路结构的覆盖范围减小，有利于提高属于同一流路结构的多个排流口排出流体流量的一致性，从而有利于提高从分流板流出的流体在空间内分布的均匀性。因此，本申请提供的分流板能够提高从分流板流出的流体在空间内分布的均匀性。
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1.一种分流板，其特征在于，包括多个彼此独立的流路结构；至少一个所述流路结构包括多级流道，下一级所述流道并联后与对应的上一级所述流道串联；首级所述流道的首端形成有进流口(11)，所述进流口(11)用于连接在外部管道上；末级所述流道的末端形成有排流口(131)，所述排流口(131)用于将流体排出所述分流板。
2.根据权利要求1所述的分流板，其特征在于，所有所述排流口(131)沿所述分流板的延展方向阵列分布。
3.根据权利要求2所述的分流板，其特征在于，属于同一所述流路结构的多个所述排流口(131)呈阵列分布，多个所述流路结构呈阵列分布，以使所有所述排流口(131)呈阵列分布。
4.根据权利要求3所述的分流板，其特征在于，下一级所述流道沿对应的上一级所述流道的出口周向分布，以使属于同一所述流路结构的多个所述排流口(131)呈阵列分布。
5.根据权利要求1～4中任一项所述的分流板，其特征在于，所述分流板包括第一板部(14)和第二板部，所述第一板部(14)位于所述分流板在自身延展方向的中部，所述第二板部位于所述分流板在自身延展方向的边缘；多
6.根据权利要求5所述的分流板，其特征在于，沿所述第一板部(14)和所述第二板部的排列方向，多个所述流路结构具有的所述排流口(131)的数量逐渐减少。
7.根据权利要求1～4中任一项所述的分流板，其特征在于，所有所述流路结构均包括多级所述流道。
8.根据权利要求7所述的分流板，其特征在于，所有所述流路结构具有的所述流道的级数相同。
9.根据权利要求1～4中任一项所述的分流板，其特征在于，依次串联的所述流道形成流道组，每个所述流道组均将对应的所述排流口(131)连接至对应的所述进流口(11)；属于同一所述流路结构的任意两组所述流道组的总长相同，且对应部分的等效内径相同。
10.根据权利要求1～4中任一项所述的分流板，其特征在于，所述流路结构用于输送气体。
11.一种分流装置，其特征在于，包括：
12.根据权利要求11所述的分流装置，其特征在于，所述流体输入结构(2)还包括分路器(23)，所述分路器(23)形成有匀流腔(231)，所述主管(21)的末端连接至所述匀流腔(231)，所述支管(22)的入口连接至所述匀流腔(231)。
13.一种化学气相沉积设备，其特征在于，包括：
...【技术特征摘要】
1.一种分流板，其特征在于，包括多个彼此独立的流路结构；至少一个所述流路结构包括多级流道，下一级所述流道并联后与对应的上一级所述流道串联；首级所述流道的首端形成有进流口(11)，所述进流口(11)用于连接在外部管道上；末级所述流道的末端形成有排流口(131)，所述排流口(131)用于将流体排出所述分流板。
2.根据权利要求1所述的分流板，其特征在于，所有所述排流口(131)沿所述分流板的延展方向阵列分布。
3.根据权利要求2所述的分流板，其特征在于，属于同一所述流路结构的多个所述排流口(131)呈阵列分布，多个所述流路结构呈阵列分布，以使所有所述排流口(131)呈阵列分布。
4.根据权利要求3所述的分流板，其特征在于，下一级所述流道沿对应的上一级所述流道的出口周向分布，以使属于同一所述流路结构的多个所述排流口(131)呈阵列分布。
5.根据权利要求1～4中任一项所述的分流板，其特征在于，所述分流板包括第一板部(14)和第二板部，所述第一板部(14)位于所述分流板在自身延展方向的中部，所述第二板部位于所述分流板在自身延展方向的边缘；多个所述流路结构包括第一流路结构和第二流路结构，所述第一流路结构位于所述第一板部(14)上，所述第二流路结构位...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵盼亮，李敖，安洋，范慧斌，陶科，杨宝海，闫宝杰，李义升，
申请(专利权)人：营口金辰机械股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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