一种前开门式碳化硅长晶炉设备制造技术

本技术涉及一种前开门式碳化硅长晶炉设备，包括下机架，所述下机架上设有长晶炉，所述长晶炉与长晶炉门板通过铰链转动连接，所述长晶炉门板上设有门板拉手，所述长晶炉顶部设有第一温度检测装置，所述长晶炉底部设有第二温度检测装置，所述长晶炉与长晶炉门板的连接处设有第一密封扣和第二密封扣，该设备用前开门的方式代替传统的上开门方式，减少了设备的厂房的高度要求，降低操作员的操作难度，提高了生产效率。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及长晶炉，具体为一种前开门式碳化硅长晶炉设备。

技术介绍

1、长晶炉是用于生产碳化硅单晶的一种设备，将高纯度的碳化硅微粉和籽晶分别置于长晶炉内的坩埚中，通过控制坩埚内的温度，以生产出碳化硅单晶。

2、目前行业中使用的是上开门方式，多是通过人工进行，占用的场地高度空间比较大，这种开门方式关门比较费力且不安全，开门时整体高度比较高，定期清洁难度比较大，配合自动去放料不方便操作。

技术实现思路

1、本技术的目的在于提供一种前开门式碳化硅长晶炉设备，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。

2、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种前开门式碳化硅长晶炉设备，包括下机架，所述下机架上设有长晶炉，所述长晶炉与长晶炉门板通过铰链转动连接，所述长晶炉门板上设有门板拉手，所述长晶炉顶部设有第一温度检测装置，所述长晶炉底部设有第二温度检测装置，所述长晶炉与长晶炉门板的连接处设有第一密封扣和第二密封扣。

3、可选地，所述长晶炉与长晶炉门板通过上下设置铰链转动连接。

4、可选的，所述铰链包括与长晶炉门板相连接的门板铰链座，所述门板铰链座内设有第一转轴，所述第一转轴与铰链转轴连接板相连接，所述铰链转轴连接板与第二转轴相连接，所述第二转轴与长晶炉铰链座相连接，所述长晶炉铰链座与长晶炉相连接。

5、可选的，所述第一温度检测装置包括方便拖链，所述方便拖链与x轴线性模组相连接，所述x轴线性模组的移动端与微调平台相连接，所述微调平台的移动端与第一温度检测仪相连接。

6、可选的，所述第二温度检测装置包括与长晶炉底部固定连接的支撑板，所述支撑板与连接板相连接，所述连接板与温度检测仪角度调整块相连接，所述温度检测仪角度调整块与第二温度检测仪相连接。

7、与现有技术相比，本技术的有益效果是：

8、本技术用前开门的方式代替传统的上开门方式，减少了设备的厂房的高度要求，降低操作员的操作难度，提高了生产效率。

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【技术保护点】

1.一种前开门式碳化硅长晶炉设备，其特征在于，包括下机架(100)，所述下机架(100)上设有长晶炉(200)，所述长晶炉(200)与长晶炉门板(300)通过铰链(400)转动连接，所述长晶炉门板(300)上设有门板拉手(500)，所述长晶炉(200)顶部设有第一温度检测装置(600)，所述长晶炉(200)底部设有第二温度检测装置(700)，所述长晶炉(200)与长晶炉门板(300)的连接处设有第一密封扣(800)和第二密封扣(900)。

2.根据权利要求1所述的一种前开门式碳化硅长晶炉设备，其特征在于，所述长晶炉(200)与长晶炉门板(300)通过上下设置的铰链(400)转动连接。

3.根据权利要求2所述的一种前开门式碳化硅长晶炉设备，其特征在于，所述铰链(400)包括与长晶炉门板(300)相连接的门板铰链座(401)，所述门板铰链座(401)内设有第一转轴(402)，所述第一转轴(402)与铰链转轴连接板(403)相连接，所述铰链转轴连接板(403)与第二转轴(404)相连接，所述第二转轴(404)与长晶炉铰链座(405)相连接，所述长晶炉铰链座(405)与长晶炉(200)相连接。

4.根据权利要求3所述的一种前开门式碳化硅长晶炉设备，其特征在于，所述第一温度检测装置(600)包括方便拖链(601)，所述方便拖链(601)与X轴线性模组(602)相连接，所述X轴线性模组(602)的移动端与微调平台(603)相连接，所述微调平台(603)的移动端与第一温度检测仪(604)相连接。

5.根据权利要求4所述的一种前开门式碳化硅长晶炉设备，其特征在于，所述第二温度检测装置(700)包括与长晶炉(200)底部固定连接的支撑板(701)，所述支撑板(701)与连接板(702)相连接，所述连接板(702)与温度检测仪角度调整块(703)相连接，所述温度检测仪角度调整块(703)与第二温度检测仪(704)相连接。

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【技术特征摘要】

1.一种前开门式碳化硅长晶炉设备，其特征在于，包括下机架(100)，所述下机架(100)上设有长晶炉(200)，所述长晶炉(200)与长晶炉门板(300)通过铰链(400)转动连接，所述长晶炉门板(300)上设有门板拉手(500)，所述长晶炉(200)顶部设有第一温度检测装置(600)，所述长晶炉(200)底部设有第二温度检测装置(700)，所述长晶炉(200)与长晶炉门板(300)的连接处设有第一密封扣(800)和第二密封扣(900)。

2.根据权利要求1所述的一种前开门式碳化硅长晶炉设备，其特征在于，所述长晶炉(200)与长晶炉门板(300)通过上下设置的铰链(400)转动连接。

3.根据权利要求2所述的一种前开门式碳化硅长晶炉设备，其特征在于，所述铰链(400)包括与长晶炉门板(300)相连接的门板铰链座(401)，所述门板铰链座(401)内设有第一转轴(402)，所述第一转轴(402)与铰链转轴...

【专利技术属性】
技术研发人员：张春雷，
申请(专利权)人：上海磐云科技有限公司，
类型：新型
国别省市：