【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体薄膜沉积领域，尤其涉及气体混合器。
技术介绍
1、现有技术中，使用低饱和蒸汽压前驱体的热原子层沉积薄膜以及热化学气相沉积薄膜的沉积速率较低。例如，使用前驱体为cp-zr沉积zro2工艺或使用tma沉积aln工艺时，沉积速率较低，设备产能无法满足生产需求。
2、此外，使用混合低饱和蒸汽压的气体/前驱体时，容易产生混合不均匀，引起薄膜各元素原子比偏离需求，导致器件有电性问题。
3、而且，使用低饱和蒸汽压前驱体的热原子层沉积薄膜以及热化学气相沉积薄膜对沟槽较深的结构，薄膜保型性方面容易出现问题，例如，底部较薄、悬挂等。
4、鉴于此，亟需一种提高沉积速率、改善保型性、提高气体混合均匀性的气体混合装置。
技术实现思路
1、为了解决沉积速率低、保型性差、薄膜漏电流高等问题，本专利技术提供了一种多级气体混合装置。
2、所述多级气体混合装置包括：
3、多级混合器，其中，每级混合器具有第一进气管道、第二进气管道以及混气输出管道；
4、其中，多级混合器中的第一级混合器的第一进气管道流入第一气体，第二进气管道流入第二气体；第一气体和第二气体在第一级混合器中进行混合，得到混气；
5、每级混合器的混气输出管道与下一级混合器的第一进气管道连接，该下一级混合器的第二进气管道流入不同于第一气体和第二气体的其他气体；
6、其中，每级混合器设置有压力检测装置，每级混合器中的混气在一预设温度中达到一预设压
7、在一个实施例中，所述每级混合器与下一级混合器之间设置有阀体。
8、在一个实施例中，所述下一级混合器的第二进气管道上设置有阀体。
9、在一个实施例中，当每级混合器中的混气在一预设温度中达到一预设压力时，每级混合器与下一级混合器之间的阀体打开，该混气进入下一级混合器，同时，该下一级混合器的第二进气管道上设置的阀体打开。
10、在一个实施例中，所述每级混合器与温度控制器连接，该温度控制器控制每级混合器的温度，使得每级混合器独立加热，并且使得预设温度呈梯度上升。
11、在一个实施例中，该每级混合器具有混合器本体以及加热部件，所述加热部件由所述温度控制器控制。
12、在一个实施例中，所述加热部件包括加热棉，所述加热棉包裹在所述混合器本体外部。
13、在一个实施例中，所述加热部件包括电阻丝，环绕在所述混合器本体外部。
14、在一个实施例中，所述混合器本体外部增设一个或多个通道，用于高温液体流入，依靠热传导实现所述多级气体混合装置的温度提升。
15、在一个实施例中，所述混合器本体底部设有螺旋状加热丝，所述螺旋状加热丝附带有控温接头，通过控制所述螺旋状加热丝的温度来控制每级混合器的温度。
16、在一个实施例中，所述混合器本体底部设有一个或多个环形加热丝。
17、在一个实施例中，第一气体、第二气体以及其他气体可以是以下的一种或多种：
18、按比例被稀释的易分解或分子易堆聚重组的气体；
19、低饱和蒸汽压化学源蒸汽混合气体。
20、本专利技术的多级气体混合装置具有以下有益技术效果：
21、不同种类的气体逐级混合，梯度加热，逐级蓄压，混合均匀后再流入腔室反应；
22、不同种类的气体逐级混合均匀后再流入腔室反应，薄膜内各元素原子比达到生产需求，改善薄膜性能；
23、通过每级混合器温度梯度升高，气体压力逐级增高，解决了沉积速率低、保型性差、薄膜漏电流高等问题；
24、可利用每级的压力检测装置来精确控制混合气体的量。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种多级气体混合装置，其特征在于，所述装置包括：
2.如权利要求1所述的多级气体混合装置，其特征在于，所述每级混合器与下一级混合器之间设置有阀体。
3.如权利要求2所述的多级气体混合装置，其特征在于，所述下一级混合器的第二进气管道上设置有阀体。
4.如权利要求3所述的多级气体混合装置，其特征在于，当每级混合器中的混气在一预设温度中达到一预设压力时，每级混合器与下一级混合器之间的阀体打开，该混气进入下一级混合器，同时，该下一级混合器的第二进气管道上设置的阀体打开。
5.如权利要求1所述的多级气体混合装置，其特征在于，所述每级混合器与温度控制器连接，该温度控制器控制每级混合器的温度，使得每级混合器独立加热，并且使得预设温度呈梯度上升。
6.如权利要求5所述的多级气体混合装置，其特征在于，该每级混合器具有混合器本体以及加热部件，所述加热部件由所述温度控制器控制。
7.如权利要求6所述的多级气体混合装置，其特征在于，所述加热部件包括加热棉，所述加热棉包裹在所述混合器本体外部。
8.如权利要求6所述的多
9.如权利要求6所述的多级气体混合装置，其特征在于，所述混合器本体外部增设一个或多个通道，用于高温液体流入，依靠热传导实现所述多级气体混合装置的温度提升。
10.如权利要求6所述的多级气体混合装置，其特征在于，所述混合器本体底部设有螺旋状加热丝，所述螺旋状加热丝附带有控温接头，通过控制所述螺旋状加热丝的温度来控制所述每级混合器的温度。
11.如权利要求6所述的多级气体混合装置，其特征在于，所述混合器本体底部设有一个或多个环形加热丝。
12.如权利要求1所述的多级气体混合装置，其特征在于，第一气体、第二气体以及其他气体可以是以下的一种或多种：
...【技术特征摘要】
1.一种多级气体混合装置，其特征在于，所述装置包括：
2.如权利要求1所述的多级气体混合装置，其特征在于，所述每级混合器与下一级混合器之间设置有阀体。
3.如权利要求2所述的多级气体混合装置，其特征在于，所述下一级混合器的第二进气管道上设置有阀体。
4.如权利要求3所述的多级气体混合装置，其特征在于，当每级混合器中的混气在一预设温度中达到一预设压力时，每级混合器与下一级混合器之间的阀体打开，该混气进入下一级混合器，同时，该下一级混合器的第二进气管道上设置的阀体打开。
5.如权利要求1所述的多级气体混合装置，其特征在于，所述每级混合器与温度控制器连接，该温度控制器控制每级混合器的温度，使得每级混合器独立加热，并且使得预设温度呈梯度上升。
6.如权利要求5所述的多级气体混合装置，其特征在于，该每级混合器具有混合器本体以及加热部件，所述加热部件由所述温度控制器控制。
【专利技术属性】
技术研发人员：张阁，刘润哲，
申请(专利权)人：拓荆科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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