【技术实现步骤摘要】
本技术属于扩晶加热，具体涉及一种扩晶用吹风加热装置。
技术介绍
1、为了使切割后的晶圆芯片更易于检测分选，减少损伤，必须对晶圆的载体胶膜进行扩张，使得贴在胶膜上切割好的芯片均匀扩张分离，然后在需要取出芯片时，再采用顶出设备单独将芯片顶出，在扩张和顶出的过程中，需要对胶膜进行加热，使胶膜软化便于拉伸，现有的顶出设备将扩晶机构进行固定设置，采用可移动式顶出设备进行顶出作业，但由于扩晶机构底部的位置较小，且顶出设备需在扩晶机构的底部进行各方位的移动，因此吹风加热装置若固定安装于扩晶机构的底部则对顶出设备造成设限，且现有的吹风加热装置较大，在扩晶机构的底部安装受限，为此现提出一种扩晶用吹风加热装置。
技术实现思路
1、本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。
2、为此，本技术提出一种扩晶用吹风加热装置，该扩晶用吹风加热装置具有结构紧凑，便于装配和安装的优点。
3、根据本技术实施例的扩晶用吹风加热装置，包括：壳体、吹风组件、加热组件；所述壳体内开设有导风孔，所述导风孔贯穿于壳体的上下表面，所述吹风组件位于导风孔的一端，用于将风吹向导风孔的另一端，所述加热组件设于导风孔内，所述加热组件位于导风孔另一端，用于加热流向导风孔另一端的风。
4、根据本技术一个实施例，所述导风孔为台体结构；所述导风孔的一端为大开口，所述导风孔的另一端为小开口。
5、根据本技术一个实施例，所述加热组件内具有加热丝，所述加热组件的直径为38.85，所述加热组件的高42
6、根据本技术一个实施例，所述加热组件的外表面设有箍状钣金，所述箍状钣金用于将加热组件固定于壳体上。
7、根据本技术一个实施例，所述壳体的表面形成为第一台阶和第二台阶，所述第一台阶为边长50㎜、高25㎜的长方体，所述第二台阶为边长60㎜、高25㎜的长方体。
8、根据本技术一个实施例，所述导风孔的另一端设有防尘组件，所述防尘组件用于防止异物从此处进入导风孔内；所述防尘组件为丝网压板，所述丝网压板安装于第一台阶上，所述丝网压板与加热组件之间留有一定间隙。
9、根据本技术一个实施例，所述丝网压板的直径大于加热组件的直径。
10、根据本技术一个实施例，所述箍状钣金的中间形成为环形部，所述环形部套接于加热组件的外表面，所述箍状钣金的两端由端部向环形部依次形成有第一折耳部和第二折耳部，两个所述第二折耳部相对设置，以通过调节两个所述第二折耳部之间的距离，实现环形部对加热组件的紧固作用；两个所述第一折耳部位于同一平面，用于连接壳体。
11、根据本技术一个实施例，所述导风孔的侧壁上设有凹槽，所述凹槽用于嵌入两个第一折耳部，以降低箍状钣金在导风孔内的占用面积。
12、根据本技术一个实施例，所述吹风组件为风扇。
13、本技术的有益效果是，本技术采用在壳体的一侧设置安装板，利用安装板将壳体固定在顶出设备的一侧使该吹风加热装置随着顶出设备进行移动，减少了吹风加热装置对顶出设备造成的移动受限；采用将加热组件的尺寸和壳体的尺寸减小，降低了移动占用的空间，进一步减少了对顶出设备造成的移动限制，该吹风加热装置结构紧凑便于装配和安装。
14、本技术的其他特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本技术而了解。
15、为使本技术的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。
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1.一种扩晶用吹风加热装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的扩晶用吹风加热装置，其特征在于，所述导风孔(411)为台体结构；所述导风孔(411)的一端为大开口，所述导风孔(411)的另一端为小开口。
3.根据权利要求1所述的扩晶用吹风加热装置，其特征在于，所述加热组件(42)内具有加热丝，所述加热组件(42)的直径为38.85㎜，所述加热组件(42)的高42㎜。
4.根据权利要求3所述的扩晶用吹风加热装置，其特征在于，所述加热组件(42)的外表面设有箍状钣金(421)，所述箍状钣金(421)用于将加热组件(42)固定于壳体(41)上。
5.根据权利要求1所述的扩晶用吹风加热装置，其特征在于，所述壳体(41)的表面形成为第一台阶和第二台阶，所述第一台阶为边长50㎜、高25㎜的长方体，所述第二台阶为边长60㎜、高25㎜的长方体。
6.根据权利要求1所述的扩晶用吹风加热装置，其特征在于，所述导风孔(411)的另一端设有防尘组件(44)，所述防尘组件(44)用于防止异物从此处进入导风孔(411)内；所述防尘组件(44
7.根据权利要求6所述的扩晶用吹风加热装置，其特征在于，所述丝网压板(441)的直径大于加热组件(42)的直径。
8.根据权利要求4所述的扩晶用吹风加热装置，其特征在于，所述箍状钣金(421)的中间形成为环形部(424)，所述环形部(424)套接于加热组件(42)的外表面，所述箍状钣金(421)的两端由端部向环形部(424)依次形成有第一折耳部(422)和第二折耳部(423)，两个所述第二折耳部(423)相对设置，以通过调节两个所述第二折耳部(423)之间的距离，实现环形部(424)对加热组件(42)的紧固作用；两个所述第一折耳部(422)位于同一平面，用于连接壳体(41)。
9.根据权利要求8所述的扩晶用吹风加热装置，其特征在于，所述导风孔(411)的侧壁上设有凹槽(412)，所述凹槽(412)用于嵌入两个第一折耳部(422)，以降低箍状钣金(421)在导风孔(411)内的占用面积。
10.根据权利要求1所述的扩晶用吹风加热装置，其特征在于，所述吹风组件(43)为风扇。
...【技术特征摘要】
1.一种扩晶用吹风加热装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的扩晶用吹风加热装置，其特征在于，所述导风孔(411)为台体结构；所述导风孔(411)的一端为大开口，所述导风孔(411)的另一端为小开口。
3.根据权利要求1所述的扩晶用吹风加热装置，其特征在于，所述加热组件(42)内具有加热丝，所述加热组件(42)的直径为38.85㎜，所述加热组件(42)的高42㎜。
4.根据权利要求3所述的扩晶用吹风加热装置，其特征在于，所述加热组件(42)的外表面设有箍状钣金(421)，所述箍状钣金(421)用于将加热组件(42)固定于壳体(41)上。
5.根据权利要求1所述的扩晶用吹风加热装置，其特征在于，所述壳体(41)的表面形成为第一台阶和第二台阶，所述第一台阶为边长50㎜、高25㎜的长方体，所述第二台阶为边长60㎜、高25㎜的长方体。
6.根据权利要求1所述的扩晶用吹风加热装置，其特征在于，所述导风孔(411)的另一端设有防尘组件(44)，所述防尘组件(44)用于防止异物从此处进入导风孔(411)内；所述防尘组件(44)为丝网压板(441)，所述丝网...
【专利技术属性】
技术研发人员：王强，章谦，吴红军，胡君君，谢仲淇，
申请(专利权)人：常州铭赛机器人科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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