【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体器件，尤其涉及一种pin结构光电探测器响应度优化方法、装置及设备。
技术介绍
1、在现代社会中，光电探测器扮演着十分重要的角色，其具有将光信号转换为电信号的能力，极大地拓宽了人的视野。其中，pin光电探测器相较于一般的pn光电探测器，在p层和n层之间加进一层本征的i层。这就是说，由于载流子的扩散长度很短，用pn结的方法构成光电探测器难以获得高效率，必须选用pin结构，靠内建电场对i层产生光生载流子的漂移作用，从而提高收集效率。
2、现有技术中，利用scaps仿真软件探究了i层厚度和掺杂浓度等参数对响应度的影响。但是其优化响应度的方法并没有考虑除了i层以外区域的影响，导致得到的响应度准确性较低。
3、因此，亟需提供一种更为可靠的pin结构光电探测器响应度优化方案。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种pin结构光电探测器响应度优化方法、装置及设备，用于解决现有技术中只考虑i层区域的影响，导致响应度准确性较低的问题。
2、为了实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：
3、第一方面，本专利技术提供一种pin结构光电探测器响应度优化方法，方法包括：
4、获取pin结构光电探测器中目标区域的结构参数；所述目标区域包括p区域、i区域以及n区域，所述结构参数中至少包括各个目标区域的厚度以及掺杂浓度；
5、将所述目标区域的结构参数作为变量，对pin结构光电探测器进行几何结构模型构建，得到目标几何
6、采用所述目标几何结构模型进行仿真，得到仿真结果；
7、基于所述仿真结果计算响应度，并确定响应度最大值。
8、与现有技术相比，本专利技术提供的一种pin结构光电探测器响应度优化方法，包括：获取pin结构光电探测器中p区域、i区域以及n区域的厚度以及掺杂浓度；将三个区域的厚度以及掺杂浓度作为变量，对pin结构光电探测器进行几何结构模型构建，得到目标几何结构模型；采用目标几何结构模型进行仿真，得到仿真结果；基于仿真结果计算响应度，并确定响应度最大值。本专利技术考虑了p区域、i区域以及n区域的厚度和掺杂浓度等参数对响应度的影响，构建了自动化表征响应度的计算方法，通过关键参量的优化算法，实现了pin结构光电探测器的最大响应度计算，且提高了响应度计算的准确性。
9、第二方面，本专利技术提供一种pin结构光电探测器响应度优化装置，装置包括：
10、结构参数获取模块，用于获取pin结构光电探测器中目标区域的结构参数；所述目标区域包括p区域、i区域以及n区域，所述结构参数中至少包括各个目标区域的厚度以及掺杂浓度；
11、几何结构模型构建模块，用于将所述目标区域的结构参数作为变量，对pin结构光电探测器进行几何结构模型构建，得到目标几何结构模型；
12、仿真模块，用于采用所述目标几何结构模型进行仿真，得到仿真结果；
13、响应度计算模块，用于基于所述仿真结果计算响应度，并确定响应度最大值。
14、第三方面，本专利技术提供一种pin结构光电探测器响应度优化设备，设备包括：
15、通信单元/通信接口，用于获取pin结构光电探测器中目标区域的结构参数；所述目标区域包括p区域、i区域以及n区域，所述结构参数中至少包括各个目标区域的厚度以及掺杂浓度；
16、处理单元/处理器，用于将所述目标区域的结构参数作为变量，对pin结构光电探测器进行几何结构模型构建，得到目标几何结构模型；
17、采用所述目标几何结构模型进行仿真，得到仿真结果；
18、基于所述仿真结果计算响应度，并确定响应度最大值。
19、第四方面，本专利技术提供一种计算机存储介质，所述计算机存储介质中存储有指令，当所述指令被运行时，实现上述的pin结构光电探测器响应度优化方法。
20、第二方面提供的装置类方案、第三方面提供的设备类方案以及第四方面提供的计算机存储介质方案所实现的技术效果与第一方面提供的方法类方案相同，此处不再赘述。
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1.一种PIN结构光电探测器响应度优化方法，其特征在于，方法包括：
2.根据权利要求1所述的PIN结构光电探测器响应度优化方法，其特征在于，所述将所述目标区域的结构参数作为变量，对PIN结构光电探测器进行几何结构模型构建，得到目标几何结构模型，具体包括：
3.根据权利要求2所述的PIN结构光电探测器响应度优化方法，其特征在于，所述采用所述目标几何结构模型进行仿真，得到仿真结果，具体包括：
4.根据权利要求3所述的PIN结构光电探测器响应度优化方法，其特征在于，所述缺陷模型包括所述PIN结构光电探测器所有区域的体内缺陷和界面缺陷；
5.根据权利要求3所述的PIN结构光电探测器响应度优化方法，其特征在于，所述设置仿真测试条件，具体包括：
6.根据权利要求1所述的PIN结构光电探测器响应度优化方法，其特征在于，所述基于所述仿真结果计算响应度，并确定响应度最大值，具体包括：
7.一种PIN结构光电探测器响应度优化装置，其特征在于，装置包括：
8.根据权利要求7所述的PIN结构光电探测器响应度优化装置，其特
9.一种PIN结构光电探测器响应度优化设备，其特征在于，设备包括：
10.一种计算机存储介质，其特征在于，所述计算机存储介质中存储有指令，当所述指令被运行时，实现权利要求1～6任一项所述的PIN结构光电探测器响应度优化方法。
...【技术特征摘要】
1.一种pin结构光电探测器响应度优化方法，其特征在于，方法包括：
2.根据权利要求1所述的pin结构光电探测器响应度优化方法，其特征在于，所述将所述目标区域的结构参数作为变量，对pin结构光电探测器进行几何结构模型构建，得到目标几何结构模型，具体包括：
3.根据权利要求2所述的pin结构光电探测器响应度优化方法，其特征在于，所述采用所述目标几何结构模型进行仿真，得到仿真结果，具体包括：
4.根据权利要求3所述的pin结构光电探测器响应度优化方法，其特征在于，所述缺陷模型包括所述pin结构光电探测器所有区域的体内缺陷和界面缺陷；
5.根据权利要求3所述的pin结构光电探测器响应度优化方法，...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘海南，邹守彬，赵文欣，马全刚，闫珍珍，朱蓓丽，刘婷婷，王磊，李博，
申请(专利权)人：中国科学院微电子研究所，
类型：发明
国别省市：
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