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【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及单晶拉晶生产,更具体地说,本专利技术涉及一种单晶炉热场使用碳碳托杆。
技术介绍
1、单晶炉热场使用碳碳托杆是指在单晶炉热场中使用碳碳复合材料制成的托杆。单晶炉热场是用于生产单晶硅等单晶材料的设备,热场中需要承受高温和高压等极端条件。传统的托杆材料如金属和陶瓷在高温环境下容易受到腐蚀和热膨胀等问题,而碳碳复合材料具有优异的高温性能和耐腐蚀性,因此被广泛应用于单晶炉热场中的托杆制造;
2、目前,单晶硅生产晶棒使用的单晶炉热场中托杆为石墨材质,托杆的作用是利用下轴的转动带动埚邦转动,从而拉制单晶硅棒,托杆起到了链接下轴与埚邦的作用,可支撑埚邦、埚托、坩埚以及原料,但是单一的托杆在单晶硅生产晶棒生产时仅仅实现单一拉制单晶硅棒,无法根据需求进行位置以及角度进行调节,在使用时适应性低下。
技术实现思路
1、为了克服现有技术的上述缺陷,本专利技术提供一种单晶炉热场使用碳碳托杆,旨在解决上述
技术介绍
中提出的问题。
2、为实现上述目的,本专利技术提供如下技术方案:一种单晶炉热场使用碳碳托杆,包括用于支撑的支撑盘,所述支撑盘的上设置有支撑拉晶组件;
3、所述支撑拉晶组件包括设置在支撑盘顶部的加强盘,所述支撑盘的底部设置有用于驱动的第一驱动马达,所述加强盘的外侧设置有加强齿轮圈,所述加强齿轮圈的外侧设置有与加强齿轮圈相啮合的加强齿轮盘,所述第一驱动马达的输出端贯穿支撑盘并与加强齿轮盘可拆卸连接;
4、可以看出,上述技术方案中,通过第一驱动马达
5、所述加强盘的顶部设置有用于支撑的限位筒,所述限位筒的中部活动连接有正反丝杆,所述正反丝杆的顶部螺纹连接有第一加强环,所述正反丝杆的底部螺纹连接有第二加强环,所述第一加强环的外侧且沿着第一加强环的轴心点圆周分布有若干个分别位于相应的滑槽顶部的第一外延杆,所述第二加强环的外侧且沿着第二加强环的轴心点圆周分布有若干个分别位于相应的滑槽底部的第二外延杆,所述第一外延杆和第二外延杆的一端均通过轴销活动连接有牵引块,所述牵引块的一侧延伸至滑块上并与滑块可拆卸连接,所述第一加强环和第二加强环的外侧且沿着第二加强环和第一加强环的轴心点圆周分布有若干个分别位于相应的第一外延杆和第二外延杆一端的轴销件,所述限位筒的外侧且沿着限位筒的轴心点圆周分布有若干个均安装在加强盘上的外抵杆,所述正反丝杆两端螺纹相反设置;
6、可以看出,上述技术方案中,正反丝杆旋转时会使得第一加强环和第二加强环经过正反丝杆旋转时的扭力而对向位移,当第一加强环和第二加强环位移时,当第一加强环和第二加强环位移时会拉动第一外延杆和第二外延杆经过第一加强环和第二加强环位移时的扭力而沿着第一外延杆和第二外延杆与轴销件连接处的轴心点旋转;
7、所述加强盘的表面且沿着加强盘的轴心圆周分布有若干个用于导向的滑槽,且各所述滑槽均滑动连接有滑块,所述滑块的底部设置有毡筒,所述毡筒的外侧设置层叠设置有若干个用于支撑的毡环,所述毡环的外侧且沿着毡环的轴心点圆周分布有若干个毡杆,所述滑块的顶部设置有用于驱动的第二驱动马达,所述第二驱动马达的输出端设置有与毡筒螺纹连接的加强丝杆,所述毡筒上滑动连接有两个均安装在滑块上的导线杆,所述正反丝杆的顶部设置有安装在加强盘上的立架,所述立架的顶部设置有第三驱动马达,所述第三驱动马达的输出端设置有加强丝杆,所述加强丝杆的底部延伸至正反丝杆的顶端并与正反丝杆可拆卸连接,多个所述第二外延杆和第一外延杆分别与相应的轴销件通过轴销活动连接,所述牵引块、第一外延杆和第二外延杆的竖截面形状结合成三角形;
8、可以看出,上述技术方案中,通过第二驱动马达驱动加强丝杆旋转,毡筒经过加强丝杆旋转时的扭力经过导线杆的导向而发生位移,从而调节各个毡环和毡杆的位置,易于液态硅与毡杆相接触时毡环和毡杆回位将液态硅拉出并与气体相接触,以提高拉晶生产效率,牵引块经过第一外延杆和第二外延杆旋转时的扭力沿着滑槽的导向位移,从而带动各个滑块朝向加强盘的轴心点或者外侧扩散,从而使得各个滑槽底部的毡筒、毡环和毡杆进行位置调节,易于装置与不同位置的液态硅相接触。
9、本专利技术的技术效果和优点:
10、1、本专利技术通过第二驱动马达驱动加强丝杆旋转,毡筒经过加强丝杆旋转时的扭力经过导线杆的导向而发生位移,从而调节各个毡环和毡杆的位置,易于液态硅与毡杆相接触时毡环和毡杆回位将液态硅拉出并与气体相接触,以提高拉晶生产效率;
11、2、本专利技术通过第三驱动马达启动驱动加强丝杆旋转,使得第一加强环和第二加强环经过正反丝杆旋转时的扭力而对向位移,使得牵引块经过第一外延杆和第二外延杆旋转时的扭力沿着滑槽的导向位移;
12、3、本专利技术当第一外延杆和第二外延杆旋转时,会使得各个滑块朝向加强盘的轴心点或者外侧扩散,从而使得各个滑槽底部的毡筒、毡环和毡杆进行位置调节,易于装置与不同位置的液态硅相接触;
13、4、本专利技术通过第一驱动马达启动驱动加强齿轮盘旋转,加强齿轮盘旋转时与加强齿轮圈相啮合,加强齿轮圈旋转时带动加强盘旋转,从而使得各个滑块以及毡筒上各个结构旋转,实现对液态硅搅拌的功能,也方便液态硅充分与毡环和毡杆相接触,从而提高拉晶生产效率和效果;
14、综上所述,整体设计简单,结构合理,通过各个结构的相应配合使用,调节各个毡环和毡杆的位置,易于液态硅与毡杆相接触时毡环和毡杆回位将液态硅拉出并与气体相接触,以提高拉晶生产效率,各个滑槽底部的毡筒、毡环和毡杆进行位置调节,易于装置与不同位置的液态硅相接触,加强盘旋转使得各个滑块以及毡筒上各个结构旋转,实现对液态硅搅拌的功能,也方便液态硅充分与毡环和毡杆相接触,从而提高拉晶生产效率和效果。
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1.一种单晶炉热场使用碳碳托杆,包括用于支撑的支撑盘(1),其特征在于:所述支撑盘(1)的上设置有支撑拉晶组件;
2.根据权利要求1所述的一种单晶炉热场使用碳碳托杆,其特征在于:所述支撑盘(1)的底部设置有用于驱动的第一驱动马达(104),所述加强盘(101)的外侧设置有加强齿轮圈(102),所述加强齿轮圈(102)的外侧设置有与加强齿轮圈(102)相啮合的加强齿轮盘(103),所述第一驱动马达(104)的输出端贯穿支撑盘(1)并与加强齿轮盘(103)可拆卸连接。
3.根据权利要求1所述的一种单晶炉热场使用碳碳托杆,其特征在于:所述第一加强环(202)的外侧且沿着第一加强环(202)的轴心点圆周分布有若干个分别位于相应的滑槽(3)顶部的第一外延杆(204),所述第二加强环(203)的外侧且沿着第二加强环(203)的轴心点圆周分布有若干个分别位于相应的滑槽(3)底部的第二外延杆(205)。
4.根据权利要求3所述的一种单晶炉热场使用碳碳托杆,其特征在于:所述第一外延杆(204)和第二外延杆(205)的一端均通过轴销活动连接有牵引块(206),所述
5.根据权利要求4所述的一种单晶炉热场使用碳碳托杆,其特征在于:所述第一加强环(202)和第二加强环(203)的外侧且沿着第二加强环(203)和第一加强环(202)的轴心点圆周分布有若干个分别位于相应的第一外延杆(204)和第二外延杆(205)一端的轴销件(207)。
6.根据权利要求1所述的一种单晶炉热场使用碳碳托杆,其特征在于:所述限位筒(2)的外侧且沿着限位筒(2)的轴心点圆周分布有若干个均安装在加强盘(101)上的外抵杆(208),所述正反丝杆(201)两端螺纹相反设置。
7.根据权利要求1所述的一种单晶炉热场使用碳碳托杆,其特征在于:所述滑块(301)的顶部设置有用于驱动的第二驱动马达(302),所述第二驱动马达(302)的输出端设置有与毡筒(304)螺纹连接的加强丝杆(303),所述毡筒(304)上滑动连接有两个均安装在滑块(301)上的导线杆(307)。
8.根据权利要求1所述的一种单晶炉热场使用碳碳托杆,其特征在于:所述正反丝杆(201)的顶部设置有安装在加强盘(101)上的立架(308),所述立架(308)的顶部设置有第三驱动马达(309)。
9.根据权利要求8所述的一种单晶炉热场使用碳碳托杆,其特征在于:所述第三驱动马达(309)的输出端设置有加强丝杆(310),所述加强丝杆(310)的底部延伸至正反丝杆(201)的顶端并与正反丝杆(201)可拆卸连接。
10.根据权利要求5所述的一种单晶炉热场使用碳碳托杆,其特征在于:多个所述第二外延杆(205)和第一外延杆(204)分别与相应的轴销件(207)通过轴销活动连接,所述牵引块(206)、第一外延杆(204)和第二外延杆(205)的竖截面形状结合成三角形。
...【技术特征摘要】
1.一种单晶炉热场使用碳碳托杆,包括用于支撑的支撑盘(1),其特征在于:所述支撑盘(1)的上设置有支撑拉晶组件;
2.根据权利要求1所述的一种单晶炉热场使用碳碳托杆,其特征在于:所述支撑盘(1)的底部设置有用于驱动的第一驱动马达(104),所述加强盘(101)的外侧设置有加强齿轮圈(102),所述加强齿轮圈(102)的外侧设置有与加强齿轮圈(102)相啮合的加强齿轮盘(103),所述第一驱动马达(104)的输出端贯穿支撑盘(1)并与加强齿轮盘(103)可拆卸连接。
3.根据权利要求1所述的一种单晶炉热场使用碳碳托杆,其特征在于:所述第一加强环(202)的外侧且沿着第一加强环(202)的轴心点圆周分布有若干个分别位于相应的滑槽(3)顶部的第一外延杆(204),所述第二加强环(203)的外侧且沿着第二加强环(203)的轴心点圆周分布有若干个分别位于相应的滑槽(3)底部的第二外延杆(205)。
4.根据权利要求3所述的一种单晶炉热场使用碳碳托杆,其特征在于:所述第一外延杆(204)和第二外延杆(205)的一端均通过轴销活动连接有牵引块(206),所述牵引块(206)的一侧延伸至滑块(301)上并与滑块(301)可拆卸连接。
5.根据权利要求4所述的一种单晶炉热场使用碳碳托杆,其特征在于:所述第一加强环(202)和第二加强环(203)的外侧且沿着第二加强环(203)和第一加强环(202)的轴心点圆周分布有若干个分别位于相应的第一外延杆...
【专利技术属性】
技术研发人员:王子豪,王建利,郭嘉伟,董智慧,
申请(专利权)人:乌海市京运通新材料科技有限公司,
类型:发明
国别省市:
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