液晶显示器基板检测装置及缺陷检测方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种液晶显示器基板检测装置及缺陷检测方法，其中装置包括：光学成像模块，用于形成透明基板上图形的图像，还包括反射镜，在检测时，所述反射镜、待检测透明基板与所述光学成像模块位于同一条光路上，并且所述反射镜设置在所述待检测透明基板的下方，所述光学成像模块通过所述反射镜，能够形成所述待检测透明基板上不透明膜层下表面的缺陷的像。本发明专利技术提供的液晶显示器基板检测装置及缺陷检测方法，不仅可以实现通过常规的俯视方式检测基板上不透明膜层上表面的缺陷，还可以实现借助于反射镜通过仰视方式检测基板上不透明膜层下表面的缺陷，提高了缺陷检测的覆盖率，避免了将缺陷引入后续工序。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及检测
，尤其涉及一种液晶显示器基板检测装置及缺 陷检测方法。
技术介绍
在薄膜晶体管液晶显示器(TFT-LCD)的阵列制造阶段，通过各掩膜工艺 完成对玻璃基板上阵列图案(arraypattern)的制造加工。在阵列工序结束 后，需要对产品进行检测和维修。检测就是测试产品有无缺陷以及缺陷位置 的过程，维修就是通过激光切割、焊接等手段将不良品尽可能修复为良品的 过程。为了实现高质量的维修，高质量的缺陷检查(Inspection)是前提。在 缺陷检查中，需要使用有一定放大倍数的镜头进行伃细的搜索和判断。通常 而言，囿于检测设备的地址准确定位能力，搜索时需要对所给地址的周边区 域有一定的扩展范围，在找到缺陷的精确位置后，进行缺陷属性的判断，在 修复阶段可以根据不同的检测结果选择合适的修复方式对缺陷进行修复。如图1所示为现有技术中液晶显示器基板检测装置结构示意图，该装置 用于检测形成有阵列图形的透明基板是否存在缺陷，该装置包括光学成^# 块和激光维小l^莫块两大部分，这两大部分通常可以集成在一起，在图1中这 两大部分统一用标号1标记，光学成像模块和激光维修模块共用一部分光路， 光学成像模块主要用于完成缺陷检测，激光维修模块主要用于对检测到的缺 陷进行修复。光学成像模块通常可以包括反射棱镜组、透镜组、自动对焦单 元、照相单元等，激光维修模块可以包括激光发射器、激光控制器循环冷却 单元、光束冷却单元、光束能量控制单元、光束孔径控制单元、反射棱镜组、4透镜组等。为了实现精确的检测和修复，该装置还包括承载台2、载入载出 单元、移动控制单元3、减震单元4以及用于控制激光维修模块和光学成像 模块的控制器5,控制器5和光学成像模块与激光维修模块1电气连接。在进行缺陷检查时，透明基板6被固定在承载台2上，光学成像模块和 激光维修模块1在移动控制单元3的控制下在透明基板的上表面上方的整个 平面内移动，如图2所示为现有技术中液晶显示器基板检测装置加载透明基 板之后的示意图。背光模块7随着光学成像模块和激光维修模块1一起移动， 在需要时可以提供从透明基板下方入射的背光。通过调整焦距，在光学成像 模块中可以看到清晰的透明基板上阵列图形的图像，如图3所示为现有技术 中通过液晶显示器基板检测装置检测到的图形的成像示意图，图3中8为源 漏电极层，是不透明膜层，9为透明电极层。尽管在缺陷检测时已进行了尽可能仔细的搜索，但是仍然有一部分缺陷 无法找到，其中一个主要原因就在于缺陷处于特殊位置，依照现有的缺陷 检测方式无法检测到；例如，透明基板上沉积有栅电极层、源漏电极层等不 透明膜层，对于存在于这些膜层上表面的一些微小颗粒(Particle),按照 现有的检测方式，通过俯视的方式检测透明基板可以检测到，但是对于存在 于这些不透明膜层下表面的一些微小颗粒，通过这种俯视检测透明基板的方 式则无法得到，从而会导致一部分缺陷引入在后工序中，造成良品率下降。
技术实现思路
本专利技术的目的是针对现有技术存在的问题，提供一种液晶显示器基板检 测装置，可以检测到透明基板上不透明膜层下表面上的缺陷，提高缺陷检测 覆盖率。为实现上述目的，本专利技术提供了一种液晶显示器基板检测装置，包括 光学成f^莫块，用于形成透明基板上图形的图像，还包括反射镜，在检测时， 所述反射镜、待检测透明基板与所述光学成像模块位于同一条光路上，并且所述反射镜设置在所述待检测透明基板的下方，所述光学成像模块通过所述 反射镜，能够形成所述待检测透明基板上不透明膜层下表面的缺陷的像。在以上技术方案的基础上，还可以包括基板承载模块，用于承载所述 待检测透明基板；检测时，所述待检测透明基板与所述反射镜之间相隔一层空气膜。具体地，所述承载模块可以是为放置在所述反射镜上的一个透明平板， 在检测时，所述待检测透明基板放置于所述透明平板上。还可以包括背光模块，设置在所述反射镜的下方，当所述光学成像模块 移动时，所述背光模块同步移动；并且所述反射镜上设置有多个孔，孔的开口面积小于所述光学成像模块 的物镜开口面积。所述反射镜可以固定在所述背光模块上表面。上述的反射镜上的反射膜可以是为半反半透膜。为了实现上述目的，本专利技术还提供了一种液晶显示器基板缺陷检测方法， 包括步骤l、载入待检测透明基板；步骤2、通过光学成像模块中的第一物镜检测所述待检测透明基板上表 面的缺陷；步骤3、将光学成像模块中的所述第一物镜下降d的距离或通过与所述 第一物镜相比下降了距离d的第二物镜，通过设置在所述待检测透明基板下 方且与所述待检测透明基板位于一条光路上的反射镜，检测所述待检测透明 基板下表面的缺陷；所述"M+M+^L,]^和n,分别为所述待检测透明基板的厚度和折", M3 射率，h和112分别为所述反射镜的厚度和折射率，h和ri3分别为所述待检测 透明基板和所述反射镜之间的介质的厚度和折射率，n。为空气的折射率。6本专利技术提供的，通过在承载模 块上的透明基板下方，设置一个与光学成像模块在同一条光路上的反射镜， 不仅可以实现通过常规的俯视方式检测基板上不透明膜层上表面的缺陷，还 可以实现借助于反射镜通过仰视方式检测基板上不透明膜层下表面的缺陷， 提高了缺陷检测的覆盖率，避免了将缺陷引入后续工序。下面通过附图和实施例，对本专利技术的技术方案做进一步的详细描述。附图说明图1所示为现有技术中液晶显示器基板检测装置结构示意图2所示为现有技术中液晶显示器基板检测装置加载透明基板之后的示意图3所示为现有技术中通过液晶显示器基板检测装置检测到的图形的成 像示意图4所示为本专利技术液晶显示器基板检测装置实施例一结构示意图； 图5所示为本专利技术液晶显示器基板检测装置实施例一光路示意图； 图6所示为本专利技术液晶显示器基板检测装置实施例二结构示意图； 图7所示为本专利技术液晶显示器基板检测装置实施例三结构示意图； 图8所示为本专利技术液晶显示器基板检测装置实施例四结构示意图； 图9所示为图8中C部分放大图。具体实施例方式本专利技术液晶显示器基板检测装置包括光学成像模块和反射镜，在检测 时，该反射镜与光学成像模块位于同一条光路上，并且该反射镜设置在待检 测透明基板的下方，光学成像模块通过反射镜可以形成待检测透明基板上不 透明膜层下表面的缺陷的像。反射镜可以通过一个反射镜承载模块来承载。如图4所示为本专利技术液晶显示器基板检测装置实施例一结构示意图，该装置包括光学成像模块ll、基板承载模块14和反射镜13，光学成像模块 11和反射镜13在一条光路上，基板承载模块14用于承载待检测透明基板a。 在该实施例中，增加了基板承载模块14，可以承载待检测透明基板a，在检 测时，待检测透明基板a与反射镜13之间相隔有一层空气膜。当然，实施例一中的液晶显示器基板检测装置还可以包括激光维修模块、 移动控制单元、减震单元等现有技术中液晶显示器基板检测装置中包括的各 个单元，实施例一与现有技术中的液晶显示器基板检测装置的区别之一在于 在待检测透明基板的下方设有一反射镜，该反射镜与光学成像模块位于同一 条光路，并且可以形成待检测透明基板上不透明膜层下表面的缺陷的像。下面以实施例一为例详细说明本专利技术液晶显示器基板检测装置的原理。 如图5所示为本专利技术液晶显示器基板检测装置实施例一光路示意图。图本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种液晶显示器基板检测装置，包括：光学成像模块，用于形成透明基板上图形的图像，其特征在于，还包括反射镜，在检测时，所述反射镜、待检测透明基板与所述光学成像模块位于同一条光路上，并且所述反射镜设置在所述待检测透明基板的下方，所述光学成像模块通过所述反射镜，能够形成所述待检测透明基板上不透明膜层下表面的缺陷的像。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：高浩然，张宇，张铁林，
申请(专利权)人：北京京东方光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：11[中国|北京]