【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体尾气处理，具体为一种密封性能好的尾气管道。
技术介绍
1、半导体行业中使用的清洗剂、显影剂、光刻胶、蚀刻液等溶剂中含有大量有机物成分，在工艺过程中，这些有机溶剂大部分通过尾气管道挥发成为废气排放。
2、半导体生产线上的尾气管道主要用于废气的传输过滤，再将废气传输至废气处理设备进行净化处理，但是现有的尾气管道大多都是通过焊接的方式进行对接安装，焊接的尾气管道容易出现气孔、裂纹、凹坑等现象，可能会影响到尾气管道的密封性，且焊接尾气管道的方式在长期使用后管道内部的滤网可能会被废气中的颗粒物堵塞住，不仅费时费力，还不便于后期管道的保养。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种密封性能好的尾气管道，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
2、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种密封性能好的尾气管道，包括安装管道，所述安装管道的一端内壁开设有内螺纹，所述安装管道的另一端外壁开设有外螺纹，所述外螺纹的外壁螺纹连接有对接管道，通过采用螺纹连接的方式可以对安装管道与对接管道进行拆卸，方便后期对安装管道与对接管道进行保养，所述安装管道的内壁开设有滑槽，所述安装管道的内壁固定安装有两组滑杆，所述安装管道的内部设置有清理机构，通过设置清理机构可以对滤板进行清理，所述安装管道内部设置有密封机构，通过设置密封机构可以提高对接管道与安装管道的密封性，所述清理机构包括：
3、滑板，所述滑板滑动连接在滑槽的内壁，通过设置滑板可以挤压驱动连杆；
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5、滤板，所述滤板固定安装在对接管道的内壁，通过设置滤板可以对废气中的颗粒进行过滤。
6、优选的，所述滑板远离弹簧的一侧外壁固定安装有毛刷，所述毛刷贴合在滤板的外壁，通过设置毛刷可以对滤板进行清理。
7、优选的，所述密封机构包括连接杆，所述连接杆的中部位置铰接在滑杆的外壁，且所述两组滑杆的外壁均铰接有连接杆，通过设置连接杆可以推拉从动连杆。
8、优选的，所述连接杆的一端铰接有驱动连杆，所述连接杆的另一端铰接有从动连杆。
9、优选的，所述驱动连杆远离连接杆的一端铰接在滑板的侧壁，通过设置滑板配合驱动连杆可以推拉连接杆。
10、优选的，所述从动连杆远离连接杆的一端铰接有密封圈，所述密封圈的外壁滑动贴合在安装管道的内壁，通过设置从动连杆可以推拉密封圈，通过设置密封圈可以提高对接管道与安装管道的密封性。
11、与现有技术相比，本技术提供了一种密封性能好的尾气管道，具备以下有益效果：
12、1、该密封性能好的尾气管道，将对接管道对准外螺纹进行转动，使对接管道与安装管道安装在一起，在对接管道转动的同时会使滤板贴合在毛刷的外壁转动，利用毛刷可以对滤板进行清理防止滤板发生堵塞，通过弹簧的弹力配合滑板可以使毛刷紧贴在滤板的外壁，提高毛刷对滤板的清理效果，同时采用螺纹连接的方式可以对安装管道与对接管道进行拆卸，方便后期对安装管道与对接管道进行维修保养。
13、2、该密封性能好的尾气管道，滑板滑动挤压弹簧的同时会挤压驱动连杆，同时配合连接杆与从动连杆可以挤压密封圈并使密封圈朝对接管道进行滑动，将对接管道与安装管道的衔接处堵住，防止对接管道与安装管道的衔接处发生漏气，提高对接管道与安装管道的密封性。
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1.一种密封性能好的尾气管道，包括安装管道(1)，其特征在于：所述安装管道(1)的一端内壁开设有内螺纹(2)，所述安装管道(1)的另一端外壁开设有外螺纹(3)，所述外螺纹(3)的外壁螺纹连接有对接管道(4)，所述安装管道(1)的内壁开设有滑槽(5)，所述安装管道(1)的内壁固定安装有两组滑杆(6)，所述安装管道(1)的内部设置有清理机构(7)，所述安装管道(1)内部设置有密封机构(8)，所述清理机构(7)包括：
2.根据权利要求1所述的一种密封性能好的尾气管道，其特征在于：所述滑板(71)远离弹簧(72)的一侧外壁固定安装有毛刷(74)，所述毛刷(74)贴合在滤板(73)的外壁。
3.根据权利要求1所述的一种密封性能好的尾气管道，其特征在于：所述密封机构(8)包括连接杆(81)，所述连接杆(81)的中部位置铰接在滑杆(6)的外壁，且所述两组滑杆(6)的外壁均铰接有连接杆(81)。
4.根据权利要求3所述的一种密封性能好的尾气管道，其特征在于：所述连接杆(81)的一端铰接有驱动连杆(82)，所述连接杆(81)的另一端铰接有从动连杆(83)。>
5.根据权利要求4所述的一种密封性能好的尾气管道，其特征在于：所述驱动连杆(82)远离连接杆(81)的一端铰接在滑板(71)的侧壁。
6.根据权利要求4所述的一种密封性能好的尾气管道，其特征在于：所述从动连杆(83)远离连接杆(81)的一端铰接有密封圈(84)，所述密封圈(84)的外壁滑动贴合在安装管道(1)的内壁。
...【技术特征摘要】
1.一种密封性能好的尾气管道，包括安装管道(1)，其特征在于：所述安装管道(1)的一端内壁开设有内螺纹(2)，所述安装管道(1)的另一端外壁开设有外螺纹(3)，所述外螺纹(3)的外壁螺纹连接有对接管道(4)，所述安装管道(1)的内壁开设有滑槽(5)，所述安装管道(1)的内壁固定安装有两组滑杆(6)，所述安装管道(1)的内部设置有清理机构(7)，所述安装管道(1)内部设置有密封机构(8)，所述清理机构(7)包括：
2.根据权利要求1所述的一种密封性能好的尾气管道，其特征在于：所述滑板(71)远离弹簧(72)的一侧外壁固定安装有毛刷(74)，所述毛刷(74)贴合在滤板(73)的外壁。
3.根据权利要求1所述的一种密封性能好的尾气管道，其特...
【专利技术属性】
技术研发人员：崔汉博，崔汉宽，
申请(专利权)人：上海高笙集成电路设备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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