【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体器件制造，具体而言，涉及一种退火炉。
技术介绍
1、退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺设备。目前，在对退火炉的腔体和腔盖进行装配时，采取的方法为，操作人员先将腔体固定，然后将腔盖缓慢与腔体对准，使用螺栓或焊接等方式，将腔盖与腔体固定连接。
2、但是，该操作过程比较繁琐，并且腔盖的重量大，使得腔盖与腔体对准困难，导致装配效率低。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种退火炉，其腔体与腔盖能够对准装配，操作简单，装配效率高。
2、本技术的实施例是这样实现的：
3、第一方面，本技术提供一种退火炉，包括：
4、腔体；
5、腔盖，所述腔盖开设有导向孔；以及，
6、导向轴，所述导向轴与所述腔体可拆卸连接，所述导向轴穿设于所述导向孔，以用于将所述腔盖与所述腔体对准装配。
7、在可选的实施方式中，所述导向轴包括依次连接的连接部、中间部以及导向部，所述连接部与所述腔体可拆卸连接，所述导向部靠近所述中间部的一端向远离所述中间部的一端逐渐减小设置，以用于为所述导向孔提供装配导向。
8、在可选的实施方式中，所述连接部的外壁设有第一螺纹，所述腔体开设有第一螺纹孔，所述第一螺纹与所述第一螺纹孔配合。
9、在可选的实施方式中，所述连接部远离所述中间部的一端开设有第二螺纹孔，所述腔体上具有凸起，所述凸起的外壁设有第二螺纹，所述第二螺纹孔与所述第二螺纹配合。
10、在可选
11、在可选的实施方式中，所述中间部开设有固定槽。
12、在可选的实施方式中，所述固定槽的数量为两个，两个所述固定槽相对设置。
13、在可选的实施方式中，所述导向部为圆台形导向部，所述导向孔为圆形导向孔。
14、在可选的实施方式中，所述导向部为棱台形导向部，所述导向孔为方形导向孔。
15、在可选的实施方式中，所述导向轴的数量为两个，所述导向孔的数量为两个，两个所述导向轴与两个所述导向孔一一对应且分别对角设置。
16、本技术实施例的有益效果包括：
17、退火炉包括腔体、腔盖以及导向轴，腔盖开设有导向孔，导向轴与腔体可拆卸连接，导向轴穿设于导向孔，以用于将腔盖与腔体对准装配。也就是说，在对腔体与腔盖进行装配时，只需将导向轴与腔体连接，然后将腔盖的导向孔穿过导向轴，通过导向轴的导向与定位作用，使得腔体与腔盖能够对准装配，操作过程简单，减少了操作员的装配难度。因此，该退火炉的腔体与腔盖能够对准装配，操作简单，装配效率高。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种退火炉，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的退火炉，其特征在于，所述导向轴(30)包括依次连接的连接部(31)、中间部(32)以及导向部(33)，所述连接部(31)与所述腔体(10)可拆卸连接，所述导向部(33)靠近所述中间部(32)的一端向远离所述中间部(32)的一端逐渐减小设置，以用于为所述导向孔(21)提供装配导向。
3.根据权利要求2所述的退火炉，其特征在于，所述连接部(31)的外壁设有第一螺纹(311)，所述腔体(10)开设有第一螺纹孔(11)，所述第一螺纹(311)与所述第一螺纹孔(11)配合。
4.根据权利要求2所述的退火炉，其特征在于，所述连接部(31)远离所述中间部(32)的一端开设有第二螺纹孔，所述腔体(10)上具有凸起，所述凸起的外壁设有第二螺纹，所述第二螺纹孔与所述第二螺纹配合。
5.根据权利要求2所述的退火炉，其特征在于，所述连接部(31)为方形连接部(31)，所述腔体(10)开设有方形盲孔，所述方形连接部(31)设置于所述方形盲孔。
6.根据权利要求2所述的退火炉，其特征在于，
7.根据权利要求6所述的退火炉，其特征在于，所述固定槽(321)的数量为两个，两个所述固定槽(321)相对设置。
8.根据权利要求2所述的退火炉，其特征在于，所述导向部(33)为圆台形导向部(33)，所述导向孔(21)为圆形导向孔(21)。
9.根据权利要求2所述的退火炉，其特征在于，所述导向部(33)为棱台形导向部(33)，所述导向孔(21)为方形导向孔(21)。
10.根据权利要求1所述的退火炉，其特征在于，所述导向轴(30)的数量为两个，所述导向孔(21)的数量为两个，两个所述导向轴(30)与两个所述导向孔(21)一一对应且分别对角设置。
...【技术特征摘要】
1.一种退火炉，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的退火炉，其特征在于，所述导向轴(30)包括依次连接的连接部(31)、中间部(32)以及导向部(33)，所述连接部(31)与所述腔体(10)可拆卸连接，所述导向部(33)靠近所述中间部(32)的一端向远离所述中间部(32)的一端逐渐减小设置，以用于为所述导向孔(21)提供装配导向。
3.根据权利要求2所述的退火炉，其特征在于，所述连接部(31)的外壁设有第一螺纹(311)，所述腔体(10)开设有第一螺纹孔(11)，所述第一螺纹(311)与所述第一螺纹孔(11)配合。
4.根据权利要求2所述的退火炉，其特征在于，所述连接部(31)远离所述中间部(32)的一端开设有第二螺纹孔，所述腔体(10)上具有凸起，所述凸起的外壁设有第二螺纹，所述第二螺纹孔与所述第二螺纹配合。
5.根据权利要求2所述的退火炉，其特征在...
【专利技术属性】
技术研发人员：戴建波，姚鑫磊，
申请(专利权)人：无锡邑文微电子科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。