【技术实现步骤摘要】
本技术涉及传感器，特别是涉及一种氮氧传感器芯片和氮氧传感器。
技术介绍
1、人们对美好生活的向往使国家对汽车尾气的排放提出了更为严苛的要求。
2、近年来，汽车尾气排放标准也由国ⅴ提升至国ⅵ，该标准的提升对汽车尾气处理系统及汽车尾气检测系统提出了更高要求。氮氧传感器陶瓷芯片即汽车尾气中最为重要的部分之一，它通过实时监测尾气中氮氧化物的含量反馈信号给尾气处理系统即选择性催化还原(scr)系统，其选择性催化还原(scr)系统为针对汽车尾气排放中nox的一项处理工艺，即在催化剂的作用下，喷入还原剂氨或尿素，把尾气中的nox还原成n2和h2o。scr系统根据反馈信号及时调整喷射的尿素含量，使得尾气中氮氧化物含量降到最低。长途运输仍然使用的是传统汽车及柴油车，因此目前市场对氮氧传感器芯片仍然需求巨大，特别是国ⅵ标准上线之后。
3、其氮氧传感器芯片通常为将多层经流延成型的生带经丝网印刷、叠层、温水压、烧结后形成的具有检测氮氧化物气体的陶瓷芯体。其在现实生活中往往由于现有技术的氮氧传感器陶瓷芯片存在缺陷，且运用了现有氮氧传感器陶瓷芯片的氮氧传感器在工作过程中温度较高，功能电极空腔棱角处存在应力集中，导致产品出现漏气失效和电性出现异常的不良问题。
4、需要说明的是，在上述
技术介绍
部分公开的信息仅用于对本申请的背景的理解，因此可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。
技术实现思路
1、为了解决现有技术的氮氧传感器在工作过程中的应力集中，导致产品漏气失
2、本技术的技术问题通过以下的技术方案予以解决：
3、一种氮氧传感器芯片，包括陶瓷芯体，所述陶瓷芯体中设置有加热丝、第一级腔室、第三级腔室、公共电极、第一泵电极以及测量电极，所述加热丝用于加热所述陶瓷芯体以提供工作温度，所述第一泵电极和所述公共电极配合以将进入所述第一级腔室中的气体中的氧气泵出，所述气体中余下的nox进入所述第三级腔室，所述测量电极用于测量所述nox的含量；其中，所述第一级腔室为内部棱角圆滑化的腔室。
4、在一些实施例中，还包括连接在所述第一级腔室与所述第三级腔室之间的第二级腔室和第二泵电极，所述第二泵电极和所述公共电极配合以将进入所述第二级腔室中的气体中的残余氧气泵出。
5、在一些实施例中，所述第二级腔室为内部棱角圆滑化的腔室。
6、在一些实施例中，所述第三级腔室为内部棱角圆滑化的腔室。
7、在一些实施例中，所述第一级腔室、所述第二级腔室和所述第三级腔室位于同一层。
8、在一些实施例中，所述圆滑腔室为在腔室内的各个角处做圆弧倒角的长方形或正方形腔室。
9、在一些实施例中，还包括设置在所述第一级腔室之前的缓冲腔室，所述缓冲腔室的长度为2500-3500μm，宽度为100-800μm，厚度为60-150μm。
10、在一些实施例中，还包括设置在所述陶瓷芯体中的参比电极和参比空气通道，所述参比电极、所述参比空气通道与所述测量电极相配合以用于校准所述nox的含量的测量。
11、在一些实施例中，所述陶瓷芯体为氧化钇稳定氧化锆粉体陶瓷。
12、本技术还提出了一种氮氧传感器，包括如上所述的氮氧传感器芯片。
13、本技术与现有技术对比的有益效果包括：
14、本技术提出的氮氧传感器芯片通过在氮氧传感器空腔棱角处进行圆滑处理，防止氮氧传感器在工作过程中的应力集中，避免了产品出现漏气失效和电性出现异常的问题，有效的提高了氮氧传感器的测量精度和耐用性。
15、在优选的方案中，测量电极设置在第三级腔室，第二泵电极设置在第二级腔室，第二泵电极与测量电极不在一个腔室，有效避免第一级腔室未分解完全的氧气进入测量电极存在的腔室，避免氧气导致测量电极与公共电极间的电流值偏大而影响对尾气中no、no2的测量，提高测量精度。
16、本技术实施例中的其他有益效果将在下文中进一步述及。
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1.一种氮氧传感器芯片，其特征在于，包括陶瓷芯体，所述陶瓷芯体中设置有加热丝、第一级腔室、第三级腔室、公共电极、第一泵电极以及测量电极，所述加热丝用于加热所述陶瓷芯体以提供工作温度，所述第一泵电极和所述公共电极配合以将进入所述第一级腔室中的气体中的氧气泵出，所述气体中余下的NOx进入所述第三级腔室，所述测量电极用于测量所述NOx的含量；其中，所述第一级腔室为内部棱角圆滑化的腔室。
2.如权利要求1所述的氮氧传感器芯片，其特征在于，还包括连接在所述第一级腔室与所述第三级腔室之间的第二级腔室和第二泵电极，所述第二泵电极和所述公共电极配合以将进入所述第二级腔室中的气体中的残余氧气泵出。
3.如权利要求2所述的氮氧传感器芯片，其特征在于，所述第二级腔室为内部棱角圆滑化的腔室。
4.如权利要求3所述的氮氧传感器芯片，其特征在于，所述第三级腔室为内部棱角圆滑化的腔室。
5.如权利要求2至4任一项所述的氮氧传感器芯片，其特征在于，所述第一级腔室、所述第二级腔室和所述第三级腔室位于同一层。
6.如权利要求1至4任一项所述的氮氧传感器芯片
7.如权利要求1至4任一项所述的氮氧传感器芯片，其特征在于，还包括设置在所述第一级腔室之前的缓冲腔室，所述缓冲腔室的长度为2500-3500μm，宽度为100-800μm，厚度为60-150μm。
8.如权利要求1至4任一项所述的氮氧传感器芯片，其特征在于，还包括设置在所述陶瓷芯体中的参比电极和参比空气通道，所述参比电极、所述参比空气通道与所述测量电极相配合以用于校准所述NOx的含量的测量。
9.如权利要求1至4任一项所述的氮氧传感器芯片，其特征在于，所述陶瓷芯体为氧化钇稳定氧化锆粉体陶瓷。
10.一种氮氧传感器，其特征在于，包括如权利要求1至9任一项所述的氮氧传感器芯片。
...【技术特征摘要】
1.一种氮氧传感器芯片，其特征在于，包括陶瓷芯体，所述陶瓷芯体中设置有加热丝、第一级腔室、第三级腔室、公共电极、第一泵电极以及测量电极，所述加热丝用于加热所述陶瓷芯体以提供工作温度，所述第一泵电极和所述公共电极配合以将进入所述第一级腔室中的气体中的氧气泵出，所述气体中余下的nox进入所述第三级腔室，所述测量电极用于测量所述nox的含量；其中，所述第一级腔室为内部棱角圆滑化的腔室。
2.如权利要求1所述的氮氧传感器芯片，其特征在于，还包括连接在所述第一级腔室与所述第三级腔室之间的第二级腔室和第二泵电极，所述第二泵电极和所述公共电极配合以将进入所述第二级腔室中的气体中的残余氧气泵出。
3.如权利要求2所述的氮氧传感器芯片，其特征在于，所述第二级腔室为内部棱角圆滑化的腔室。
4.如权利要求3所述的氮氧传感器芯片，其特征在于，所述第三级腔室为内部棱角圆滑化的腔室。
5.如权利要求2至4任一项所述的氮...
【专利技术属性】
技术研发人员：贾广平，伍隽，何宝家，
申请(专利权)人：深圳顺络电子股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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