【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及通信，尤其涉及一种基于键合金丝设备的远程控制方法及系统。
技术介绍
1、在半导体制造过程中，键合技术是一种重要的封装技术，它通过将两个半导体晶圆连接在一起，形成一个完整的电路，键合技术可以提高晶圆之间的电连接性能，增强芯片的稳定性和可靠性，目前，键合技术主要采用金丝键合，其中金丝作为连接材料，具有良好的导电性和稳定性。
2、金丝键合的目的是实现芯片的输入/输出端与外界电路或元器件的互联，键合机作为键合金丝设备中的主要设备之一，将金丝与芯片进行键合连接，如常用的球焊键合机采用热压和超声方式，将提前烧制的空气自由球焊接到芯片焊盘或基板焊盘上，再通过劈刀的空间运动形成稳定形状的线弧，最后将金丝焊接到二焊点，完成一根金丝的键合过程；然而传统的对键合机的控制方法往往过于依赖操作人员的操作经验和技术水平，在键合过程出现异常时不能及时判断是否需要停机修整，易导致不合格产品流入市场的同时，降低了最终键合效率。
3、因此，研究一种基于键合金丝设备的远程控制方法及系统，实现对金丝键合过程的自动化控制和远程操作，对于提高键合质量和生产效率具有重要意义。
技术实现思路
1、为此，本专利技术提供一种基于键合金丝设备的远程控制方法及系统，用以克服现有技术中在键合过程出现异常时不能及时判断是否需要停机修整，易导致不合格产品流入市场，降低了金丝键合的键合质量和键合效率的问题。
2、为实现上述目的，本专利技术一方面提供一种基于键合金丝设备的远程控制方法，包括，>
3、步骤s1，采集键合过程中的键合参数组；
4、所述键合参数组包括实时键合温度、实时下移压力和实时焊点数据信息；
5、步骤s2，根据预先设置的键合标准范围确定所述键合参数组中的实时键合温度或实时下移压力是否存在异常，并确定异常参数所对应的键合参数组中的实时焊点数据信息；
6、步骤s3，根据预设标准信息对所述焊点数据信息进行分析，以确定对键合机的调整策略；
7、其中，通过将所述焊点数据信息中的实时焊点位置信息与预设焊点位置信息进行对比，以确定是否需要停机对劈刀本身位置信息进行检测；
8、通过计算所述焊点数据信息中的实时焊点面积数值与预设焊点面积数值的差值，获取实时焊点面积波动差，并通过将实时焊点面积波动差与预设焊点波动差进行对比，以确定是否需要停机对劈刀本身的磨损状态进行检测。
9、进一步地，在所述步骤s1中，通过温度采集单元对键合过程中的实时键合温度进行采集，通过压力采集单元对键合过程中劈刀的实时下移压力进行采集，通过图像采集单元对键合后的实时焊点数据信息进行获取；
10、其中，所述实时焊点数据信息包括实时焊点位置信息和实时焊点面积数值。
11、进一步地，在所述步骤s2中，设置有预设键合标准范围，通过数据分析模块将所述实时键合温度和所述实时下移压力与预设键合标准范围中的对应运行范围进行对比，若所述键合参数组中的实时键合参数未落在对应的运行范围内，则判定其存在异常，并将其所对应的实时键合参数标记为所述异常参数；
12、其中，所述预设键合标准范围包括预设键合温度运行范围和预设下移压力运行范围。
13、进一步地，在所述步骤s3中，设置有所述预设焊点位置信息，若所述异常参数为实时键合温度，则将获取所述实时焊点数据信息中的实时焊点位置信息与预设焊点位置信息进行对比；
14、若所述实时焊点位置信息与所述预设焊点位置信息出现偏差，则将获取打火杆尖端的实时放电参数对其进行对比判定；
15、若所述实时焊点位置信息与所述预设焊点位置信息未出现偏差，则无需对所述键合机进行控制调整。
16、进一步地，在所述步骤s1中，还设置有电力数据采集单元，若所述实时焊点位置信息与所述预设焊点位置信息出现偏差，则通过电力数据采集单元获取所述打火杆尖端处的实时放电参数，在所述步骤s3中还设置有预设放电参数，将所述实时放电参数中的各参数与预设放电参数中的各参数进行对比，判断其是否存在异常放电参数；
17、若所述实时放电参数中存在所述异常放电参数，则根据所述预设放电参数对异常放电参数进行修正；
18、若所述实时放电参数中不存在所述异常放电参数，则根据预设键合温度与所述实时键合温度计算温度修正系数，并根据温度修正系数对所述预设放电参数进行修正，根据修正后的预设放电参数对实时放电参数中的各参数进行修正，获取修正后的实时放电参数作为后续实时放电参数；
19、其中，放电参数包括打火杆尖端的打火电流、打火电压以及打火时间；
20、其中，k=t1/t2，k为温度修正系数，t1为预设键合温度，t2为实时键合温度。
21、进一步地，将修正后的实时放电参数作为后续放电参数对金丝进行键合，并获取后续放电参数下的所述实时焊点位置信息作为修正后的实时焊点位置信息，将修正后的实时焊点位置信息与预设焊点位置信息进行对比，若修正后的实时焊点位置信息仍与预设焊点位置信息存在偏差，则将控制所述键合机进行停机并对外界做出预警，提醒外界对所述劈刀的本身位置信息进行检测。
22、进一步地，在所述步骤s3中，设置有所述预设焊点面积数值和所述预设焊点面积波动差，若所述异常参数为所述实时下移压力，则将获取所述实时焊点面积数值与预设焊点面积数值进行计算，获取所述实时焊点面积波动差，并将实时焊点面积波动差与预设焊点面积波动差进行对比；
23、若所述实时焊点面积波动差小于等于所述预设焊点面积波动差，则无需对所述键合机进行控制调整；
24、若所述实时焊点面积波动差大于所述预设焊点面积波动差，则将根据所述实时焊点面积数值与所述预设焊点面积数值对所述实时下移压力进行修正；
25、其中，δas=|a1-a2|，δas为实时焊点面积波动差，a1为实时焊点面积数值，a2为预设焊点面积数值。
26、进一步地，对所述实时焊点面积波动差与所述预设焊点面积波动差进行对比，若实时焊点面积波动差大于预设焊点面积波动差，则将根据所述实时焊点面积数值与所述预设焊点面积数值进行计算，获取修正后的实时下移压力作为后续下移压力；
27、其中，f’=fs×a2/a1，其中，f’为修正后的实时下移压力，fs为当前实时下移压力。
28、进一步地，将修正后的实时下移压力作为后续下移压力对金丝进行键合，并获取后续下移压力下的所述实时焊点面积数值作为修正后的实时焊点面积数值，将修正后的实时焊点面积数值与所述预设焊点面积数值进行计算，获取修正后的实时焊点面积波动差，并将修正后的实时焊点面积波动差与所述预设焊点面积波动差进行对比；
29、若所述修正后的实时焊点面积波动差仍大于所述预设焊点面积波动差，则将控制所述键合机停机并对外界做出预警，提醒外界对所述劈刀本身进行检测。
30、本专利技术还提供一种适用于上述任意一项控制方法的基于键合金丝设备的远程控制系统，包括，...
【技术保护点】
1.一种基于键合金丝设备的远程控制方法，其特征在于，包括，
2.根据权利要求1所述的基于键合金丝设备的远程控制方法，其特征在于，在所述步骤S1中，通过温度采集单元对键合过程中的实时键合温度进行采集，通过压力采集单元对键合过程中劈刀的实时下移压力进行采集，通过图像采集单元对键合后的实时焊点数据信息进行获取；
3.根据权利要求2所述的基于键合金丝设备的远程控制方法，其特征在于，在所述步骤S2中，设置有预设键合标准范围，通过数据分析模块将所述实时键合温度和所述实时下移压力与预设键合标准范围中的对应运行范围进行对比，若所述键合参数组中的实时键合参数未落在对应的运行范围内，则判定其存在异常，并将其所对应的实时键合参数标记为所述异常参数；
4.根据权利要求3所述的基于键合金丝设备的远程控制方法，其特征在于，在所述步骤S3中，设置有所述预设焊点位置信息，若所述异常参数为实时键合温度，则将获取所述实时焊点数据信息中的实时焊点位置信息与预设焊点位置信息进行对比；
5.根据权利要求4所述的基于键合金丝设备的远程控制方法，其特征在于，在所述步骤S1中，还
6.根据权利要求5所述的基于键合金丝设备的远程控制方法，其特征在于，将修正后的实时放电参数作为后续放电参数对金丝进行键合，并获取后续放电参数下的所述实时焊点位置信息作为修正后的实时焊点位置信息，将修正后的实时焊点位置信息与预设焊点位置信息进行对比，若修正后的实时焊点位置信息仍与预设焊点位置信息存在偏差，则将控制所述键合机进行停机并对外界做出预警，提醒外界对所述劈刀的本身位置信息进行检测。
7.根据权利要求1所述的基于键合金丝设备的远程控制方法，其特征在于，在所述步骤S3中，设置有所述预设焊点面积数值和所述预设焊点面积波动差，若所述异常参数为所述实时下移压力，则将获取所述实时焊点面积数值与预设焊点面积数值进行计算，获取所述实时焊点面积波动差，并将实时焊点面积波动差与预设焊点面积波动差进行对比；
8.根据权利要求7所述的基于键合金丝设备的远程控制方法，其特征在于，对所述实时焊点面积波动差与所述预设焊点面积波动差进行对比，若实时焊点面积波动差大于预设焊点面积波动差，则将根据所述实时焊点面积数值与所述预设焊点面积数值进行计算，获取修正后的实时下移压力作为后续下移压力；
9.根据权利要求8所述的基于键合金丝设备的远程控制方法，其特征在于，将修正后的实时下移压力作为后续下移压力对金丝进行键合，并获取后续下移压力下的所述实时焊点面积数值作为修正后的实时焊点面积数值，将修正后的实时焊点面积数值与所述预设焊点面积数值进行计算，获取修正后的实时焊点面积波动差，并将修正后的实时焊点面积波动差与所述预设焊点面积波动差进行对比；
10.一种基于键合金丝设备的远程控制系统，基于权利要求1-9任意一项所述的基于键合金丝设备的远程控制方法，其特征在于，包括，
...【技术特征摘要】
1.一种基于键合金丝设备的远程控制方法，其特征在于，包括，
2.根据权利要求1所述的基于键合金丝设备的远程控制方法，其特征在于，在所述步骤s1中，通过温度采集单元对键合过程中的实时键合温度进行采集，通过压力采集单元对键合过程中劈刀的实时下移压力进行采集，通过图像采集单元对键合后的实时焊点数据信息进行获取；
3.根据权利要求2所述的基于键合金丝设备的远程控制方法，其特征在于，在所述步骤s2中，设置有预设键合标准范围，通过数据分析模块将所述实时键合温度和所述实时下移压力与预设键合标准范围中的对应运行范围进行对比，若所述键合参数组中的实时键合参数未落在对应的运行范围内，则判定其存在异常，并将其所对应的实时键合参数标记为所述异常参数；
4.根据权利要求3所述的基于键合金丝设备的远程控制方法，其特征在于，在所述步骤s3中，设置有所述预设焊点位置信息，若所述异常参数为实时键合温度，则将获取所述实时焊点数据信息中的实时焊点位置信息与预设焊点位置信息进行对比；
5.根据权利要求4所述的基于键合金丝设备的远程控制方法，其特征在于，在所述步骤s1中，还设置有电力数据采集单元，若所述实时焊点位置信息与所述预设焊点位置信息出现偏差，则通过电力数据采集单元获取所述打火杆尖端处的实时放电参数，在所述步骤s3中还设置有预设放电参数，将所述实时放电参数中的各参数与预设放电参数中的各参数进行对比，判断其是否存在异常放电参数；
6.根据权利要求5所述的基于键合金丝设备的远程控制方法，其特征在于，将修正后的实时放电参数作为后续放电参数对金丝进...
【专利技术属性】
技术研发人员：李盛伟，李妍琼，
申请(专利权)人：深圳中宝新材科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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