【技术实现步骤摘要】
本申请涉及离子减薄，特别涉及一种离子减薄仪样品台。
技术介绍
1、离子减薄仪为一种在材料科学领域普遍应用的仪器，为透射样品的制备而设计，有着较快的制样速度，可以以较小的耗费将高质量的tem样品制备出来。其工作原理为：由图1所示，在高真空中，两个相对的冷阴极离子枪，提供高能量的氩离子流，以一定角度(5°～30°)对旋转的样品的两面进行轰击。当轰击能量大于样品材料表层原子的结合能时，样品表层原子受到氩离子击发而溅射，经较长时间的连续轰击、溅射，最终样品中心部分穿孔。穿孔后的样品在孔的边缘处极薄，对电子束是透明的，就成为薄膜样品。由图2所示，离子减薄法前期步骤也是要进行加工切割，通常先把试样加工成直径3mm，厚度最好能低于200μm的薄的小圆片，然后再进行减薄，得到薄膜样品；如果样品特别难减薄，可以进一步凹坑，以便于减薄。
2、公开号为cn210071445u的技术公开一种小角度双面离子减薄仪样品台，其旋转托盘在位于夹持通孔的侧壁上设有夹持机构，夹持机构包括设置在旋转托盘内的滑腔，滑腔内设有滑动块，滑动块的外端部设有弧形结构的挡块，挡块的外侧设有外端面带有弧形凹槽的夹持片，能够对不同大小的样品进行夹持固定，具有减薄均匀和减薄效果好的特点；但是，该减薄仪样品台主要存在的问题是：在夹持样品的过程中，从样品的边缘向其中心挤压的方式夹持，一方面极容易将样品挤压变形，无法使用；另一方面，样品产生内应力，经氩离子较长时间的连续轰击、溅射，在样品中心部分逐渐变薄直至穿孔的过程中，该内应力慢慢释放，易导致最终制备的薄膜样品弯曲变形，影响测
技术实现思路
1、本技术的目的是为了解决上述技术的不足，提供一种离子减薄仪样品台，不仅实现对样品的安装固定，而且避免安装时样品变形、及最终制备的薄膜样品弯曲变形，以确保测试用薄膜样品的质量。
2、为此，本技术提供一种离子减薄仪样品台包括盘状的底座，底座的中心处设有贯穿底座上下底面的第一中心通孔，底座在位于第一中心通孔的外围转动连接安装设有旋转托盘，旋转托盘的中部设有与第一中心通孔相连通的第二中心通孔；离子减薄仪样品台还包括样品固定杯，样品固定杯设有杯盖、及用于固定容纳样品的杯体，杯盖可拆卸的盖设在杯体的杯口上；杯盖的中部设有第三中心通孔，杯体的底部的中部设有与第三中心通孔相连通的第四中心通孔；样品固定杯设置在第二中心通孔内，且与旋转托盘相连接。
3、优选的，旋转托盘在位于第二中心通孔的内壁上开设有周向分布的半封闭槽，半封闭槽为上侧开口下侧封闭的形状，杯体的周向外壁连接设有周向分布的卡块，卡块的整体或头部与半封闭槽可拆卸匹配连接设置。
4、优选的，第三中心通孔为上口大、下口小的圆锥形通孔；第四中心通孔为上口小、下口大的圆锥形通孔。
5、优选的，杯体的杯口上开设有周向环形凹槽，杯盖的下表面设有周向环形凸块，周向环形凸块和周向环形凹槽可拆卸匹配连接设置。
6、优选的，周向环形凸块和周向环形凹槽通过螺纹相连接。
7、优选的，半封闭槽的横截面为燕尾槽状，卡块的整体或头部的横截面为燕尾块状。
8、优选的，旋转托盘的底面周向开设有环形导向滑槽，底座的上表面周向安装设有多个滚轮；滚轮设在环形导向滑槽内，且与环形导向滑槽的内壁滚动连接。
9、优选的，旋转托盘的外侧设有周向分布的齿牙，底座内设有与齿牙相啮合的传动齿轮，传动齿轮的轴端部与驱动装置的输出轴相连接。
10、优选的，驱动装置为伺服电机。
11、本技术的有益效果是：本技术提供一种离子减薄仪样品台，其设有样品固定杯，样品固定杯设有杯盖和杯体，杯盖的中部设有第三中心通孔，杯体的底部的中部设有与第三中心通孔相连通的第四中心通孔；将样品放置容纳在杯体内，再将杯盖盖设在杯体的杯口上，此时杯盖在第三中心通孔的外围的下表面压在样品的上表面的边缘处附近，杯体的底部在第四中心通孔的外围的上表面压在样品的下表面的边缘处附近，在杯盖和杯体的共同作用下，完成样品的固定；本技术固定样品的方式，采用在样品的上下表面的周向边缘处分别施加一个作用力，二者方向相对，且垂直于样品表面，相比现有技术，样品不易挤压变形，且在样品中心部分逐渐变薄直至穿孔的过程中，最终制备的薄膜样品也不会弯曲变形。
12、另外，样品固定杯通过卡块的整体或头部匹配卡接在旋转托盘的半封闭槽内，一方面，便于样品固定杯在旋转托盘的安装和拆卸，提高样品固定杯的更换效率；另一方面，根据样品的直径的实际情况，满足不同直径的样品固定杯设置在第二中心通孔内，提高本申请对于不同的直径样品的适用性。
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1.一种离子减薄仪样品台，包括盘状的底座(1)，所述底座(1)的中心处设有贯穿所述底座(1)上下底面的第一中心通孔(2)，所述底座(1)在位于所述第一中心通孔(2)的外围转动连接安装设有旋转托盘(3)，所述旋转托盘(3)的中部设有与所述第一中心通孔(2)相连通的第二中心通孔(4)；其特征在于，所述离子减薄仪样品台还包括样品固定杯(5)，所述样品固定杯(5)设有杯盖(6)、及用于固定容纳样品的杯体(7)，所述杯盖(6)可拆卸的盖设在所述杯体(7)的杯口上；所述杯盖(6)的中部设有第三中心通孔(8)，所述杯体(7)的底部的中部设有与所述第三中心通孔(8)相连通的第四中心通孔(9)；所述样品固定杯(5)设置在所述第二中心通孔(4)内，且与所述旋转托盘(3)相连接。
2.根据权利要求1所述的一种离子减薄仪样品台，其特征在于，所述旋转托盘(3)在位于所述第二中心通孔(4)的内壁上开设有周向分布的半封闭槽(10)，所述半封闭槽(10)为上侧开口下侧封闭的形状，所述杯体(7)的周向外壁连接设有周向分布的卡块(11)，所述卡块(11)的整体或头部与所述半封闭槽(10)可拆卸匹配连接设
3.根据权利要求1所述的一种离子减薄仪样品台，其特征在于，所述第三中心通孔(8)为上口大、下口小的圆锥形通孔；所述第四中心通孔(9)为上口小、下口大的圆锥形通孔。
4.根据权利要求1所述的一种离子减薄仪样品台，其特征在于，所述杯体(7)的杯口上开设有周向环形凹槽(12)，所述杯盖(6)的下表面设有周向环形凸块(13)，所述周向环形凸块(13)和所述周向环形凹槽(12)可拆卸匹配连接设置。
5.根据权利要求4所述的一种离子减薄仪样品台，其特征在于，所述周向环形凸块(13)和所述周向环形凹槽(12)通过螺纹相连接。
6.根据权利要求2所述的一种离子减薄仪样品台，其特征在于，所述半封闭槽(10)的横截面为燕尾槽状，所述卡块(11)的整体或头部的横截面为燕尾块状。
7.根据权利要求1所述的一种离子减薄仪样品台，其特征在于，所述旋转托盘(3)的底面周向开设有环形导向滑槽(17)，所述底座(1)的上表面周向安装设有多个滚轮(18)；所述滚轮(18)设在所述环形导向滑槽(17)内，且与所述环形导向滑槽(17)的内壁滚动连接。
8.根据权利要求1-7任一项所述的一种离子减薄仪样品台，其特征在于，所述旋转托盘(3)的外侧设有周向分布的齿牙(14)，所述底座(1)内设有与所述齿牙(14)相啮合的传动齿轮(15)，所述传动齿轮(15)的轴端部与驱动装置(16)的输出轴相连接。
9.根据权利要求8所述的一种离子减薄仪样品台，其特征在于，所述驱动装置(16)为伺服电机。
...【技术特征摘要】
1.一种离子减薄仪样品台，包括盘状的底座(1)，所述底座(1)的中心处设有贯穿所述底座(1)上下底面的第一中心通孔(2)，所述底座(1)在位于所述第一中心通孔(2)的外围转动连接安装设有旋转托盘(3)，所述旋转托盘(3)的中部设有与所述第一中心通孔(2)相连通的第二中心通孔(4)；其特征在于，所述离子减薄仪样品台还包括样品固定杯(5)，所述样品固定杯(5)设有杯盖(6)、及用于固定容纳样品的杯体(7)，所述杯盖(6)可拆卸的盖设在所述杯体(7)的杯口上；所述杯盖(6)的中部设有第三中心通孔(8)，所述杯体(7)的底部的中部设有与所述第三中心通孔(8)相连通的第四中心通孔(9)；所述样品固定杯(5)设置在所述第二中心通孔(4)内，且与所述旋转托盘(3)相连接。
2.根据权利要求1所述的一种离子减薄仪样品台，其特征在于，所述旋转托盘(3)在位于所述第二中心通孔(4)的内壁上开设有周向分布的半封闭槽(10)，所述半封闭槽(10)为上侧开口下侧封闭的形状，所述杯体(7)的周向外壁连接设有周向分布的卡块(11)，所述卡块(11)的整体或头部与所述半封闭槽(10)可拆卸匹配连接设置。
3.根据权利要求1所述的一种离子减薄仪样品台，其特征在于，所述第三中心通孔(8)为上口大、下口小的圆锥形通孔；所述第四中心通孔(9)为上口小、下口大的圆锥形通孔。...
【专利技术属性】
技术研发人员：董清轩，
申请(专利权)人：威海蓝谷材料分析研究院有限公司，
类型：新型
国别省市：
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