【技术实现步骤摘要】
本申请涉及微机电系统，特别是涉及一种微机电系统振镜。
技术介绍
1、微机电系统(miciro-electro-mechanical system，mems)振镜，是一种矢量扫描型微镜，其工作模式多为谐振模式，具有尺寸小，振荡频率高，无旋转部件等优势，在投影显示、光通信、三维扫描等诸多领域有广阔的应用前景。
2、通常，mems振镜中设置有线圈，而传统mems振镜内的线圈产生的洛伦兹力较小，从而会对mems振镜的可靠性带来一定的影响。因此，目前亟需提出一种在不影响mems振镜可靠性的情况下能够提高洛伦兹力的mems振镜。
技术实现思路
1、基于此，有必要针对上述技术问题，提供一种在不影响mems振镜可靠性的情况下能够提高洛伦兹力的微机电系统振镜。
2、第一方面，本申请实施例提供了一种微机电系统振镜，该微机电系统振镜包括：振镜本体、正面线圈、背面线圈以及设置于振镜本体上的孔状结构；正面线圈设置于振镜本体的正面，背面线圈设置于振镜本体的背面，且正面线圈与背面线圈通过孔状结构相互连接；
3、正面线圈和背面线圈，用于在磁场的作用下产生大小相同方向一致洛伦兹力，以使振镜本体在洛伦兹力的作用下发生转动进行光束的扫描。
4、在其中一个实施例中，振镜本体为硅基板；正面线圈和背面线圈均为在振镜本体上，采用半导体工艺或化学工艺制成的线圈。
5、在其中一个实施例中，正面线圈和背面线圈均为在硅基板上采用溅射方式制成的溅射线圈。
6、在其中
7、在其中一个实施例中，正面线圈和背面线圈均为在硅基板上采用化镀方式制成的化镀线圈。
8、在其中一个实施例中，振镜本体包括外围支撑架、设置于外围支撑架内的平衡环、连接外围支撑架与平衡环的第一悬臂梁、设置于平衡环内的反射镜以及连接平衡环与反射镜的第二悬臂梁；第一悬臂梁和第二悬臂梁关于平衡环的中心垂直设置；
9、外围支撑架，用于对平衡环起到支撑作用；
10、平衡环，用于支撑设置正面线圈和背面线圈；
11、第一悬臂梁，用于控制平衡环的转动；
12、反射镜，用于在发生转动时，实现光束的扫描；
13、第二悬臂梁，用于控制反射镜的转动。
14、在其中一个实施例中，平衡环的第一面设置有正面线圈，平衡环的第二面设置有背面线圈，且平衡环上设置孔状结构。
15、在其中一个实施例中，平衡环的第一面与反射镜的第一面位于同一侧，平衡环的第二面与反射镜的第二面位于同一侧。
16、在其中一个实施例中，第一悬臂梁包括信号输入悬臂梁和信号输出悬臂梁；信号输入悬臂梁设置于平衡环的第一位置处，信号输出悬臂梁设置于平衡环的第二位置处，第一位置与第二位置关于第二悬臂梁对称设置。
17、在其中一个实施例中，信号输入悬臂梁包括第一部件、第二部件和驱动信号输入端口，第一部件与第二部件之间为空心设置，第一部件与第二部件之间为驱动信号输入端口；信号输出悬臂梁包括第三部件、第四部件和驱动信号输出端口，第三部件和第四部件之间为空心设置，第三部件与第四部件之间为驱动信号输出端口；
18、驱动信号输入端口，用于设置与正面线圈或背面线圈的一端连接的线缆；
19、驱动信号输出端口，用于设置与背面线圈或正面线圈的一端连接的线缆。
20、在其中一个实施例中，孔状结构包括第一硅通孔和第二硅通孔，第一硅通孔和第二硅通孔分别设置于平衡环上的不同位置处；
21、正面线圈的一端与背面线圈的一端通过第一硅通孔连接，背面线圈的另一端与驱动信号输出端口内的线缆通过第二硅通孔连接。
22、在其中一个实施例中，微机电系统振镜还包括磁体；磁体为多个，分别设置于振镜本体的正面和/或背面上。
23、本申请实施例提供的微机电系统mems振镜，包括：振镜本体、正面线圈、背面线圈以及设置于振镜本体上的孔状结构，正面线圈设置于振镜本体的正面，背面线圈设置于振镜本体的背面，且正面线圈与背面线圈通过孔状结构相互连接，正面线圈和背面线圈，用于在磁场的作用下产生大小相同方向一致洛伦兹力，以使振镜本体在洛伦兹力的作用下发生转动进行光束的扫描。上述微机电系统mems振镜在振镜本体的双面均设置线圈，并且设置的双面线圈能够在磁场的作用下产生大小相同方向一致的洛伦兹力，即产生两倍的洛伦兹力，从而在不影响微机电系统mems振镜可靠性的情况下还能够提高洛伦兹力的微机电系统mems振镜；同时，采用上述方式设计的微机电系统mems振镜，设计结构简单，复杂度较低。
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1.一种微机电系统振镜，其特征在于，所述微机电系统振镜包括：振镜本体、正面线圈、背面线圈以及设置于所述振镜本体上的孔状结构；所述正面线圈设置于所述振镜本体的正面，所述背面线圈设置于所述振镜本体的背面，且所述正面线圈与所述背面线圈通过所述孔状结构相互连接；
2.根据权利要求1所述的微机电系统振镜，其特征在于，所述振镜本体为硅基板；所述正面线圈和所述背面线圈均为在所述振镜本体上，采用半导体工艺或化学工艺制成的线圈。
3.根据权利要求2所述的微机电系统振镜，其特征在于，所述正面线圈和所述背面线圈均为在所述硅基板上采用溅射方式制成的溅射线圈。
4.根据权利要求2所述的微机电系统振镜，其特征在于，所述正面线圈和所述背面线圈均为在所述硅基板上采用电镀方式制成的电镀线圈。
5.根据权利要求2所述的微机电系统振镜，其特征在于，所述正面线圈和所述背面线圈均为在所述硅基板上采用化镀方式制成的化镀线圈。
6.根据权利要求1-5中任一项所述的微机电系统振镜，其特征在于，所述振镜本体包括外围支撑架、设置于所述外围支撑架内的平衡环、连接所述外围支撑
7.根据权利要求6所述的微机电系统振镜，其特征在于，所述平衡环的第一面设置有所述正面线圈，所述平衡环的第二面设置有所述背面线圈，且所述平衡环上设置所述孔状结构。
8.根据权利要求7所述的微机电系统振镜，其特征在于，所述平衡环的第一面与所述反射镜的第一面位于同一侧，所述平衡环的第二面与所述反射镜的第二面位于同一侧。
9.根据权利要求6所述的微机电系统振镜，其特征在于，所述第一悬臂梁包括信号输入悬臂梁和信号输出悬臂梁；所述信号输入悬臂梁设置于所述平衡环的第一位置处，所述信号输出悬臂梁设置于所述平衡环的第二位置处，所述第一位置与所述第二位置关于所述第二悬臂梁对称设置。
10.根据权利要求9所述的微机电系统振镜，其特征在于，所述信号输入悬臂梁包括第一部件、第二部件和驱动信号输入端口，所述第一部件与所述第二部件之间为空心设置，所述第一部件与所述第二部件之间为所述驱动信号输入端口；所述信号输出悬臂梁包括第三部件、第四部件和驱动信号输出端口，所述第三部件和所述第四部件之间为空心设置，所述第三部件与所述第四部件之间为所述驱动信号输出端口；
11.根据权利要求1-5中任一项所述的微机电系统振镜，其特征在于，所述孔状结构包括第一硅通孔和第二硅通孔，所述第一硅通孔和所述第二硅通孔分别设置于平衡环上的不同位置处；
12.根据权利要求1-5中任一项所述的微机电系统振镜，其特征在于，所述微机电系统振镜还包括磁体；所述磁体为多个，分别设置于所述振镜本体的正面和/或背面上。
...【技术特征摘要】
1.一种微机电系统振镜，其特征在于，所述微机电系统振镜包括：振镜本体、正面线圈、背面线圈以及设置于所述振镜本体上的孔状结构；所述正面线圈设置于所述振镜本体的正面，所述背面线圈设置于所述振镜本体的背面，且所述正面线圈与所述背面线圈通过所述孔状结构相互连接；
2.根据权利要求1所述的微机电系统振镜，其特征在于，所述振镜本体为硅基板；所述正面线圈和所述背面线圈均为在所述振镜本体上，采用半导体工艺或化学工艺制成的线圈。
3.根据权利要求2所述的微机电系统振镜，其特征在于，所述正面线圈和所述背面线圈均为在所述硅基板上采用溅射方式制成的溅射线圈。
4.根据权利要求2所述的微机电系统振镜，其特征在于，所述正面线圈和所述背面线圈均为在所述硅基板上采用电镀方式制成的电镀线圈。
5.根据权利要求2所述的微机电系统振镜，其特征在于，所述正面线圈和所述背面线圈均为在所述硅基板上采用化镀方式制成的化镀线圈。
6.根据权利要求1-5中任一项所述的微机电系统振镜，其特征在于，所述振镜本体包括外围支撑架、设置于所述外围支撑架内的平衡环、连接所述外围支撑架与所述平衡环的第一悬臂梁、设置于所述平衡环内的反射镜以及连接所述平衡环与所述反射镜的第二悬臂梁；所述第一悬臂梁和所述第二悬臂梁关于所述平衡环的中心垂直设置；
7.根据权利要求6所述的微机电系统振镜，其特征在于，所述平衡环的第一面设置有所...
【专利技术属性】
技术研发人员：孙梦婕，
申请(专利权)人：武汉万集光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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