【技术实现步骤摘要】
本技术涉及掩膜版修补点测试，具体涉及一种掩膜版修补点牢固性测试装置。
技术介绍
1、掩膜版制作过程中会出现铬缺失情况，这种铬缺失统称掩膜版的铬缺，是掩膜版制造过程中无法避免的问题。出现铬缺后，目前常见的方法是使用lcvd(激光化学气象沉积)在缺陷位置生长一层铬层，lcvd后的铬层能起到补全掩膜版缺陷的效果。lcvd(激光化学气象沉积)后，修补点会随着lcvd设备的能量、材料浓度等变动，从而出现修补点牢固性降低情况，这个情况会导致客户在使用掩膜版过程中出现修补点掉落情况造成批量损伤。故亟需一种能够对修补点进行检测的装置。
技术实现思路
1、本技术目的在于提供一种掩膜版修补点牢固性测试装置，方便对修补点进行检测，且能够有效的实现检测掩膜版上修补点的牢固性，从而避免后期使用过程中出现修补点掉落等情况而造成批量损伤。
2、本技术通过下述技术方案实现：
3、一种掩膜版修补点牢固性测试装置，包括承重基座、安装支架和电刷头组件，所述承重基座设置于掩膜版，所述安装支架设置于所述承重基座，所述电刷头组件活动设置于所述安装支架，且所述电刷头组件的毛刷头组件与所述掩膜版上的修补点接触。为了解决上述技术问题，并实现相应技术效果，本技术，通过承重基座将整个装置设置到掩膜版上，并用电刷头组件的毛刷头组件对与其接触的修补点进行刷洗，能够有效的实现检测掩膜版上修补点的牢固性，从而避免后期使用过程中出现修补点掉落等情况而造成批量损伤。并且电刷头的实用能够更加方便有效的控制刷洗次数及刷洗时间及
4、进一步的技术方案：
5、所述电刷头组件还包括刷头驱动器和电刷头外壳，所述刷头驱动器设置于所述电刷头外壳内，且所述刷头驱动器的驱动端与所述毛刷头组件连接；
6、进一步的：所述毛刷头组件设置于所述电刷头外壳的底端，所述电刷头外壳的顶端与所述安装支架活动连接。
7、进一步的：所述电刷头外壳顶端贯穿所述安装支架后连接配重组件；
8、进一步的：所述配重组件底设置有缓冲弹簧，所述缓冲弹簧的另一端抵接于所述安装支架。
9、进一步的：所述配重组件包括配重基座和可调配重块，所述配重基座设置于所述电刷头外壳顶并固定；
10、进一步的：所述可调配重块活动设置于所述配重基座。
11、进一步的：所述配重基座顶开设有用于放置可调配重块的配重块放置槽，所述配重基座底开设有用于插接电刷头外壳的插接孔；
12、进一步的：所述电刷头外壳插入所述插接孔内，并用紧固螺栓固定。
13、进一步的：所述安装支架包括竖直段和水平段，所述竖直段竖直设置于所述承重基座，所述水平段的一端与所述竖直段顶端连接，所述水平段的另一端向所述承重基座外延伸。
14、进一步的：所述水平段上开设有台阶通孔，所述台阶通孔下段孔径与所述电刷头外壳直径适配；
15、进一步的：所述台阶通孔上段孔径大于所述电刷头外壳直径，且小于配重基座直径。
16、进一步的：所述缓冲弹簧下段设置于所述台阶通孔内，且所述缓冲弹簧底端抵接于所述台阶通孔内的台阶面上。
17、进一步的：所述承重基座开设有定位凹槽，所述修补点定位于所述定位凹槽内。
18、进一步的：所述承重基座与所述掩膜版之间垫设有硅胶垫。
19、本技术与现有技术相比，具有如下的优点和有益效果：
20、1、本技术一种掩膜版修补点牢固性测试装置，通过承重基座将整个装置设置到掩膜版上，并用电刷头组件的毛刷头组件对与其接触的修补点进行刷洗，能够有效的实现检测掩膜版上修补点的牢固性，从而避免后期使用过程中出现修补点掉落等情况而造成批量损伤。
21、2、本技术一种掩膜版修补点牢固性测试装置，电刷头的实用能够更加方便有效的控制刷洗次数及刷洗时间及力度等，从而能够保证修补点检测的准确性。
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1.一种掩膜版修补点牢固性测试装置，其特征在于，包括承重基座(1)、安装支架(2)和电刷头组件(3)，所述承重基座(1)设置于掩膜版(4)，所述安装支架(2)设置于所述承重基座(1)，所述电刷头组件(3)活动设置于所述安装支架(2)，且所述电刷头组件(3)的毛刷头组件(31)与所述掩膜版(4)上的修补点接触。
2.根据权利要求1所述的一种掩膜版修补点牢固性测试装置，其特征在于，所述电刷头组件(3)还包括刷头驱动器(32)和电刷头外壳(33)，所述刷头驱动器(32)设置于所述电刷头外壳(33)内，且所述刷头驱动器(32)的驱动端与所述毛刷头组件(31)连接；
3.根据权利要求2所述的一种掩膜版修补点牢固性测试装置，其特征在于，所述电刷头外壳(33)顶端贯穿所述安装支架(2)后连接配重组件(5)；
4.根据权利要求3所述的一种掩膜版修补点牢固性测试装置，其特征在于，所述配重组件(5)包括配重基座(51)和可调配重块(52)，所述配重基座(51)设置于所述电刷头外壳(33)顶并固定；
5.根据权利要求4所述的一种掩膜版修补点牢固性测试装置
6.根据权利要求3所述的一种掩膜版修补点牢固性测试装置，其特征在于，所述安装支架(2)包括竖直段(21)和水平段(22)，所述竖直段(21)竖直设置于所述承重基座(1)，所述水平段(22)的一端与所述竖直段(21)顶端连接，所述水平段(22)的另一端向所述承重基座(1)外延伸。
7.根据权利要求6所述的一种掩膜版修补点牢固性测试装置，其特征在于，所述水平段(22)上开设有台阶通孔(23)，所述台阶通孔(23)下段孔径与所述电刷头外壳(33)直径适配；
8.根据权利要求7所述的一种掩膜版修补点牢固性测试装置，其特征在于，所述缓冲弹簧(6)下段设置于所述台阶通孔(23)内，且所述缓冲弹簧(6)底端抵接于所述台阶通孔(23)内的台阶面上。
9.根据权利要求1所述的一种掩膜版修补点牢固性测试装置，其特征在于，所述承重基座(1)开设有定位凹槽(11)，所述修补点定位于所述定位凹槽(11)内。
10.根据权利要求1所述的一种掩膜版修补点牢固性测试装置，其特征在于，所述承重基座(1)与所述掩膜版(4)之间垫设有硅胶垫(7)。
...【技术特征摘要】
1.一种掩膜版修补点牢固性测试装置，其特征在于，包括承重基座(1)、安装支架(2)和电刷头组件(3)，所述承重基座(1)设置于掩膜版(4)，所述安装支架(2)设置于所述承重基座(1)，所述电刷头组件(3)活动设置于所述安装支架(2)，且所述电刷头组件(3)的毛刷头组件(31)与所述掩膜版(4)上的修补点接触。
2.根据权利要求1所述的一种掩膜版修补点牢固性测试装置，其特征在于，所述电刷头组件(3)还包括刷头驱动器(32)和电刷头外壳(33)，所述刷头驱动器(32)设置于所述电刷头外壳(33)内，且所述刷头驱动器(32)的驱动端与所述毛刷头组件(31)连接；
3.根据权利要求2所述的一种掩膜版修补点牢固性测试装置，其特征在于，所述电刷头外壳(33)顶端贯穿所述安装支架(2)后连接配重组件(5)；
4.根据权利要求3所述的一种掩膜版修补点牢固性测试装置，其特征在于，所述配重组件(5)包括配重基座(51)和可调配重块(52)，所述配重基座(51)设置于所述电刷头外壳(33)顶并固定；
5.根据权利要求4所述的一种掩膜版修补点牢固性测试装置，其特征在于，所述配重基座(51)顶开设有用于放置可调配重块(52)的配重块放置...
【专利技术属性】
技术研发人员：孙多卫，郑宇辰，
申请(专利权)人：成都路维光电有限公司，
类型：新型
国别省市：
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