管路结构及真空设备制造技术

本技术属于真空镀膜技术领域，公开了一种管路结构和真空设备。管路结构包括内管、进气管和外管。内管内设有内腔，内管上设有多个通气孔，进气管连通于内腔，并设有多个进气口，外管套设于内管外侧，内管和外管之间形成缓冲腔，内腔通过通气孔连通于缓冲腔，外管设有多个出气孔，缓冲腔通过出气孔连通于外部。真空设备包括供气装置和上述管路结构。通过上述设置，本申请的管路结构能够平衡出气孔处的气压和流量，改善气体混合效果。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及真空镀膜，尤其涉及一种管路结构及真空设备。

技术介绍

1、目前的真空镀膜设备，会在特定区域设置出气口，具体形状结构如图1所示，通过管路一侧设有进气口，并通过管路另一侧间隔设置的多个出气口进行出气。但该管路并未对气体的出气进行控制，在不同区域的出气口，气压及气流量会存在差异，因而在实际使用过程中会导致气体混合效果差，还会造成不同区域的气体环境差异，进而导致工艺差异。

技术实现思路

1、本技术的目的在于提供一种管路结构，能够平衡出气孔处的气压和流量，改善气体混合效果。

2、为达此目的，本技术采用以下技术方案：

3、一种管路结构，其包括：

4、内管，所述内管内设有内腔，所述内管上设有多个通气孔；

5、进气管，连通于所述内腔，并设有多个进气口；

6、外管，套设于所述内管外侧，所述内管和所述外管之间形成缓冲腔，所述内腔通过所述通气孔连通于所述缓冲腔，所述外管设有多个出气孔，所述缓冲腔通过所述出气孔连通于外部。

7、可选地，沿所述内管的延长方向，多个所述通气孔依次间隔设置于所述内管的管壁上。

8、可选地，多个所述通气孔中，相邻两个所述通气孔之间的间距相等。

9、可选地，所述内管的两端均连通于所述进气管。

10、可选地，多个所述进气口设置于所述进气管的同一侧，一个所述进气口对应通入一种气体。

11、可选地，沿所述外管的延长方向，多个所述出气孔依次间隔设置于所述外管的管壁上。

12、可选地，多个所述出气孔中，相邻两个所述出气孔之间的间距相等。

13、可选地，所述外管的两端封堵。

14、可选地，所述出气孔设置于所述外管背离所述通气孔的一侧。

15、本技术的另一个目的在于提供一种真空设备，能够平衡出气孔处的气压和流量，改善气体混合效果

16、为达此目的，本技术采用以下技术方案：

17、一种真空设备，其包括供气装置和如上所述的管路结构，所述供气装置连通于所述管路结构。

18、有益效果：

19、本技术提供一种管路结构和真空设备，管路结构包括内管、进气管和外管。内管内设有内腔，内管上设有多个通气孔，进气管连通于内腔，并设有多个进气口，外部气体通过进气口依次经过进气管和内管。外管套设于内管外侧，内管和外管之间形成缓冲腔，内腔通过通气孔连通于缓冲腔，使得内腔中的气体经由通气孔能够进入缓冲腔中，避免了以往直接通过出气口排出至外部而带来气体不均衡的问题。外管设有多个出气孔，缓冲腔通过出气孔连通于外部，使得缓冲腔中的气体能够经由出气孔被排出，由于内管和外管之间设置有缓冲腔，使得气体能够在缓冲腔中暂存并充分混合，保证各个出气孔处的气压和气体流量更加均衡，气体混合效果更好。真空设备包括供气装置和上述管路结构。通过上述设置，本申请的管路结构能够平衡出气孔处的气压和流量，改善气体混合效果。

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【技术保护点】

1.管路结构，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的管路结构，其特征在于，沿所述内管(1)的延长方向，多个所述通气孔(12)依次间隔设置于所述内管(1)的管壁上。

3.根据权利要求1所述的管路结构，其特征在于，多个所述通气孔(12)中，相邻两个所述通气孔(12)之间的间距相等。

4.根据权利要求1所述的管路结构，其特征在于，所述内管(1)的两端均连通于所述进气管(2)。

5.根据权利要求1所述的管路结构，其特征在于，多个所述进气口(21)均设置于所述进气管(2)的同一侧，一个所述进气口(21)对应通入一种气体。

6.根据权利要求1所述的管路结构，其特征在于，沿所述外管(3)的延长方向，多个所述出气孔(32)依次间隔设置于所述外管(3)的管壁上。

7.根据权利要求1所述的管路结构，其特征在于，多个所述出气孔(32)中，相邻两个所述出气孔(32)之间的间距相等。

8.根据权利要求1所述的管路结构，其特征在于，所述外管(3)的两端封堵。

9.根据权利要求1所述的管路结构，其特征在于，所述出气孔(32)设置于所述外管(3)背离所述通气孔(12)的一侧。

10.真空设备，其特征在于，包括供气装置和权利要求1-9任一项所述的管路结构，所述供气装置连通于所述管路结构。

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【技术特征摘要】

1.管路结构，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的管路结构，其特征在于，沿所述内管(1)的延长方向，多个所述通气孔(12)依次间隔设置于所述内管(1)的管壁上。

3.根据权利要求1所述的管路结构，其特征在于，多个所述通气孔(12)中，相邻两个所述通气孔(12)之间的间距相等。

4.根据权利要求1所述的管路结构，其特征在于，所述内管(1)的两端均连通于所述进气管(2)。

5.根据权利要求1所述的管路结构，其特征在于，多个所述进气口(21)均设置于所述进气管(2)的同一侧，一个所述进气口(21)对应通入一种气体。

6.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员：姚力军，潘杰，姚舜，王予丛，沈栋栋，李松松，
申请(专利权)人：浙江景昇薄膜科技有限公司，
类型：新型
国别省市：