【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于晶圆干燥，具体为一种排风装置及其使用方法。
技术介绍
1、晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅；高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅；硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆；国内晶圆生产线以8英寸和12英寸为主；而晶圆在生产加工过程中，由于晶圆表面吸附颗粒或有机物等污染物会产生大量缺陷，需要清洗晶圆，清洗晶圆完成后，为了去除晶圆上的水，一般通过晶圆干燥装置对清洗后的晶圆进行干燥处理。
2、但现有的晶圆干燥装置在使用时，一般采用加热的方式对其进行干燥处理，但由于刚清洗完的晶圆表面上会粘附有大量的水珠，不仅会使得干燥装置在加热过程中的所需时间被延长，同时这些水珠在加热过程中会转换成水蒸气，导致加热箱内的空气中的湿度增加，使得箱体内部短时间内会变得潮湿，容易滋生霉、细菌的同时会对箱体内的零部件和晶圆等物体造成腐蚀，从而降低了装置的使用效果，使得晶圆干燥的效率被降低。
技术实现思路
1、针对上述情况，为克服现有技术的缺陷，本专利技术提供一种排风装置及其使用方法，有效的解决了上述
技术介绍
中的问题。
2、为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种排风装置，
3、包括干燥加热箱，所述干燥加热箱的侧面上设有轴承，轴承上连接有旋转轴，旋转轴远离干燥加热箱的一端上安装有旋动方块，旋动方块设置于干燥加热箱的外侧；所述旋动方块上设置有旋距锁禁组件，旋距锁禁组件用于对旋转轴限位设置；p>
4、所述旋转轴位于干燥加热箱内的一端上安装有旋转齿轮，旋转齿轮啮合连接旋动齿环，旋动齿环上设置有位动锁持机构，位动锁持机构用于对晶圆夹持设置；
5、所述旋动齿环啮合连接两个辅助齿轮，辅助齿轮上安装有辅助转轴，辅助转轴上设置有辅助基座，辅助基座与干燥加热箱内设有的通风口连接设置；所述通风口上安装有过滤圆板；所述辅助转轴上设有若干通风扇叶。
6、优选的，所述位动锁持机构包括旋动转块，旋动转块的一侧设置于旋动齿环的内侧壁上，所述干燥加热箱内设有旋动转槽，旋动转槽与旋动转块远离旋动齿环的一侧转动连接；所述旋动转块远离旋动转槽的一面上设有三个导向滑槽，每个导向滑槽均设置为弧形槽；所述弧形槽的两端到旋动齿环的圆心的距离不同；所述导向滑槽上滑动设置有导向滑块，导向滑块的初始位置为靠近旋动齿环上的齿槽处；所述干燥加热箱的内侧壁上安装有安装方座，安装方座通过螺栓与固定圆盘的外侧壁连接设置，固定圆盘位于旋动转块靠近旋动齿环的一侧，所述固定圆盘和旋动转块圆心同轴；所述固定圆盘上设有限位移槽，所述导向滑块与限位移槽滑动连接设置；所述限位移槽远离旋动转块圆心的一端延伸至固定圆盘的边缘；所述旋动转块通过导向滑槽和导向滑块之间的滑动配合，调节导向滑块在限位移槽上的位置，使得位动锁持机构对晶片夹持。
7、优选的，所述限位移槽内对称设有限位滑杆，限位滑杆上套设有限位弹簧，限位弹簧的一端与限位移槽连接设置，另一端与导向滑块连接设置，导向滑块上安装有折弯异杆，折弯异杆上设置有贴合横板，贴合横板上对称设有贴合滑柱，两个贴合滑柱共同连接夹持弧板，夹持弧板上设有橡胶缓垫；所述贴合滑柱上套设有贴合弹簧，贴合弹簧的一端与夹持弧板连接设置，另一端与贴合横板连接设置，贴合横板上连接有贴合吸水单元。
8、优选的，所述旋距锁禁组件包括设置于旋动方块上的若干禁位插槽，禁位插槽与禁位插板配合连接设置，禁位插板与调距环杆上设有的若干锁位槽配合连接设置；所述调距环杆的两端与干燥加热箱上设有的调距基座连接设置。
9、优选的，所述调距环杆上滑动设置有调距滑块，调距滑块与禁位插板滑动连接设置，禁位插板上安装有定位方块，定位方块上对称设有定位杆，定位杆与调距滑块上设有的定位基座滑动连接设置；所述定位杆上套设有定位弹簧，所述定位杆上安装有定位限板，所述定位弹簧的一端与定位基座连接设置，另一端与定位限板连接设置，所述调距环杆上套设有调距弹簧，调距弹簧的一端与调距基座连接设置，另一端与调距滑块连接设置。
10、优选的，所述折弯异杆上还设置有循动排湿器；所述循动排湿器包括设置于折弯异杆上的位移方座，位移方座上设有的线缆绕过干燥加热箱上设有的定滑轮与缠绕线轮连接设置，缠绕线轮上安装有驱动转轴，驱动转轴靠近旋动方块的一端与驱动转盘连接设置；所述干燥加热箱内设有驱动基座，所述驱动转轴远离旋动方块的一端与驱动基座连接；所述驱动转轴上安装有发条弹簧，发条弹簧与驱动基座连接设置。
11、优选的，所述贴合吸水单元包括设置于贴合横板上的位移齿条，位移齿条啮合连接位移齿轮，位移齿轮上安装有位移转轴，位移转轴的两端穿过夹持弧板上设有的位移基座与位移凸轮连接设置，两个位移凸轮配合连接触动圆柱，触动圆柱上对称设有l型滑杆，l型滑杆与位移基座上设有的联动基座滑动连接设置；所述l型滑杆上安装有触动限板，所述l型滑杆上套设有拉伸弹簧，所述触动限板通过拉伸弹簧与联动基座连接设置；所述触动圆柱的外侧壁上对称设有连接方柱，所述触动圆柱的两端安装有u型圆柱，两个连接方柱共同连接第一吸水刮板，两个u型圆柱共同连接第二吸水刮板，第一吸水刮板和第二吸水刮板与晶圆的两侧配合连接设置。
12、优选的，所述驱动转盘上安装有驱动移柱，驱动移柱上滑动设置有驱动横块，驱动横块上对称设有定向块，定向块上安装有定向方杆，定向方杆穿过干燥加热箱与定向限板连接设置，两个定向限板共同连接出风块；所述干燥加热箱的侧面上设有连通口，连通口上安装有集风方盒，集风方盒与出风块滑动连接设置；所述集风方盒上设有若干出风槽。
13、优选的，所述贴合横板上安装有主动触块，所述夹持弧板上设有从动触盒，从动触盒内安装有动触片，所述主动触块上设有静触片，所述动触片设置于静触片的移动路径上；所述静触片和动触片的接触会发出信号至控制单元。
14、本专利技术还提供了一种排风装置的使用方法，包括以下步骤：
15、s1、将需要干燥的晶圆放入干燥加热箱内，通过操作位动锁持机构将晶圆夹持设置；
16、s2、位动锁持机构在使用过程中，会使得旋动齿环旋转，使得若干通风扇叶转动；
17、s3、通风扇叶的转动将箱体内部的气体排放至外界；
18、s4、随即启动干燥加热箱，对内部的晶圆进行干燥处理。
19、与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：
20、（1）在连接方柱和u型圆柱的作用下带动第一吸水刮板和第二吸水刮板往复移动，且第一吸水刮板和第二吸水刮板是作用于被夹持晶圆的两侧，且值得一提的是第一吸水刮板和第二吸水刮板都是柔性材质所制且具有吸水功能，当第一吸水刮板和第二吸水刮板在晶圆的两侧上往复移动时，不仅能够将晶圆两侧上所粘附的杂质或黏性较大无法被清洗的杂质进行清理，同时还可以将晶圆表面上的大量水分进行吸收，使得晶圆表面上的水珠能够较少，避免晶圆干燥的时间被延长，提升了晶圆干燥的效果和效率，同时被吸收的水分都作用于第一吸水刮板和第二吸水刮板上本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种排风装置，其特征在于：包括干燥加热箱（1），所述干燥加热箱（1）的侧面上设有轴承，轴承上连接有旋转轴（2），旋转轴（2）远离干燥加热箱（1）的一端上安装有旋动方块（3），旋动方块（3）设置于干燥加热箱（1）的外侧；所述旋动方块（3）上设置有旋距锁禁组件，旋距锁禁组件用于对旋转轴（2）限位设置；
2.根据权利要求1所述的一种排风装置，其特征在于：所述位动锁持机构包括旋动转块（11），旋动转块（11）的一侧设置于旋动齿环（5）的内侧壁上，所述干燥加热箱（1）内设有旋动转槽（12），旋动转槽（12）与旋动转块（11）远离旋动齿环（5）的一侧转动连接；所述旋动转块（11）远离旋动转槽（12）的一面上设有三个导向滑槽（13），每个导向滑槽（13）均设置为弧形槽；所述弧形槽的两端到旋动齿环（5）的圆心的距离不同；所述导向滑槽（13）上滑动设置有导向滑块（14），导向滑块（14）的初始位置为靠近旋动齿环（5）上的齿槽处；所述干燥加热箱（1）的内侧壁上安装有安装方座（17），安装方座（17）通过螺栓与固定圆盘（15）的外侧壁连接设置，固定圆盘（15）位于旋动转块（11）靠近旋
3.根据权利要求2所述的一种排风装置，其特征在于：所述限位移槽（16）内对称设有限位滑杆（18），限位滑杆（18）上套设有限位弹簧（19），限位弹簧（19）的一端与限位移槽（16）连接设置，另一端与导向滑块（14）连接设置，导向滑块（14）上安装有折弯异杆（20），折弯异杆（20）上设置有贴合横板（21），贴合横板（21）上对称设有贴合滑柱（22），两个贴合滑柱（22）共同连接夹持弧板（23），夹持弧板（23）上设有橡胶缓垫（24）；所述贴合滑柱（22）上套设有贴合弹簧（25），贴合弹簧（25）的一端与夹持弧板（23）连接设置，另一端与贴合横板（21）连接设置，贴合横板（21）上连接有贴合吸水单元。
4.根据权利要求1所述的一种排风装置，其特征在于：所述旋距锁禁组件包括设置于旋动方块（3）上的若干禁位插槽（26），禁位插槽（26）与禁位插板（27）配合连接设置，禁位插板（27）与调距环杆（28）上设有的若干锁位槽（29）配合连接设置；所述调距环杆（28）的两端与干燥加热箱（1）上设有的调距基座（30）连接设置。
5.根据权利要求4所述的一种排风装置，其特征在于：所述调距环杆（28）上滑动设置有调距滑块（31），调距滑块（31）与禁位插板（27）滑动连接设置，禁位插板（27）上安装有定位方块（32），定位方块（32）上对称设有定位杆（33），定位杆（33）与调距滑块（31）上设有的定位基座（34）滑动连接设置；所述定位杆（33）上套设有定位弹簧（35），所述定位杆（33）上安装有定位限板，所述定位弹簧（35）的一端与定位基座（34）连接设置，另一端与定位限板连接设置，所述调距环杆（28）上套设有调距弹簧（36），调距弹簧（36）的一端与调距基座（30）连接设置，另一端与调距滑块（31）连接设置。
6.根据权利要求3所述的一种排风装置，其特征在于：所述折弯异杆（20）上还设置有循动排湿器；所述循动排湿器包括设置于折弯异杆（20）上的位移方座（37），位移方座（37）上设有的线缆绕过干燥加热箱（1）上设有的定滑轮（38）与缠绕线轮（39）连接设置，缠绕线轮（39）上安装有驱动转轴（40），驱动转轴（40）靠近旋动方块（3）的一端与驱动转盘（41）连接设置；所述干燥加热箱（1）内设有驱动基座（42），所述驱动转轴（40）远离旋动方块（3）的一端与驱动基座（42）连接；所述驱动转轴（40）上安装有发条弹簧（43），发条弹簧（43）与驱动基座（42）连接设置。
7.根据权利要求3所述的一种排风装置，其特征在于：所述贴合吸水单元包括设置于贴合横板（21）上的位移齿条（44），位移齿条（44）啮合连接位移齿轮（45），位移齿轮（45）上安装有位移转轴（46），位移转轴（46）的两端穿过夹持弧板（23）上设有的位移基座（47）与位移凸轮（48）连接设置，两个位移凸轮（48）配合连接触动圆柱（49），触动圆柱（49）上对称设有L型滑杆（50），L型滑杆（50）与位移基座（47）上设有的联动基座（51）滑动连接设置；所述...
【技术特征摘要】
1.一种排风装置，其特征在于：包括干燥加热箱（1），所述干燥加热箱（1）的侧面上设有轴承，轴承上连接有旋转轴（2），旋转轴（2）远离干燥加热箱（1）的一端上安装有旋动方块（3），旋动方块（3）设置于干燥加热箱（1）的外侧；所述旋动方块（3）上设置有旋距锁禁组件，旋距锁禁组件用于对旋转轴（2）限位设置；
2.根据权利要求1所述的一种排风装置，其特征在于：所述位动锁持机构包括旋动转块（11），旋动转块（11）的一侧设置于旋动齿环（5）的内侧壁上，所述干燥加热箱（1）内设有旋动转槽（12），旋动转槽（12）与旋动转块（11）远离旋动齿环（5）的一侧转动连接；所述旋动转块（11）远离旋动转槽（12）的一面上设有三个导向滑槽（13），每个导向滑槽（13）均设置为弧形槽；所述弧形槽的两端到旋动齿环（5）的圆心的距离不同；所述导向滑槽（13）上滑动设置有导向滑块（14），导向滑块（14）的初始位置为靠近旋动齿环（5）上的齿槽处；所述干燥加热箱（1）的内侧壁上安装有安装方座（17），安装方座（17）通过螺栓与固定圆盘（15）的外侧壁连接设置，固定圆盘（15）位于旋动转块（11）靠近旋动齿环（5）的一侧，所述固定圆盘（15）和旋动转块（11）圆心同轴；所述固定圆盘（15）上设有限位移槽（16），所述导向滑块（14）与限位移槽（16）滑动连接设置；所述限位移槽（16）远离旋动转块（11）圆心的一端延伸至固定圆盘（15）的边缘；所述旋动转块（11）通过导向滑槽（13）和导向滑块（14）之间的滑动配合，调节导向滑块（14）在限位移槽（16）上的位置，使得位动锁持机构对晶片夹持。
3.根据权利要求2所述的一种排风装置，其特征在于：所述限位移槽（16）内对称设有限位滑杆（18），限位滑杆（18）上套设有限位弹簧（19），限位弹簧（19）的一端与限位移槽（16）连接设置，另一端与导向滑块（14）连接设置，导向滑块（14）上安装有折弯异杆（20），折弯异杆（20）上设置有贴合横板（21），贴合横板（21）上对称设有贴合滑柱（22），两个贴合滑柱（22）共同连接夹持弧板（23），夹持弧板（23）上设有橡胶缓垫（24）；所述贴合滑柱（22）上套设有贴合弹簧（25），贴合弹簧（25）的一端与夹持弧板（23）连接设置，另一端与贴合横板（21）连接设置，贴合横板（21）上连接有贴合吸水单元。
4.根据权利要求1所述的一种排风装置，其特征在于：所述旋距锁禁组件包括设置于旋动方块（3）上的若干禁位插槽（26），禁位插槽（26）与禁位插板（27）配合连接设置，禁位插板（27）与调距环杆（28）上设有的若干锁位槽（29）配合连接设置；所述调距环杆（28）的两端与干燥加热箱（1）上设有的调距基座（30）连接设置。
5.根据权利要求4所述的一种排风装置，其特征在于：所述调距环杆（28）上滑动设置有调距滑块（31），调距滑块（31）与禁位插板（27）滑动连接设置，禁位插板（27）上安装有定位方块（32），定位方块（32）上对称设有定位杆（33），定位杆（33）与调距滑块（31）上设有的定位基座（34）滑动连接设置；所述定位杆（33）上套设有定位...
【专利技术属性】
技术研发人员：魏猛，张佳男，张爽，
申请(专利权)人：沈阳芯达半导体设备有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。