【技术实现步骤摘要】
本技术涉及晶圆加工，具体而言，涉及一种标定调节机构及晶圆检测装置。
技术介绍
1、机械标定组件作为整机设备光学检测必不可少的机械构件，标定的精度直接影响着整机设备精度尺寸，所以对于不同标定组件需要有专门的调节机构以满足光学检测精度要求。
2、经专利技术人研究发现，现有技术中主要通过调节机构实现标定片的多个位姿的调节，因为涉及到位姿的方向较多，在现有技术中需要配置多个调节部件实现对于标定片的多位姿的调节，其结构复杂调节精度较低，为了解决此现有技术问题，本申请提出一种晶圆检测装置。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种标定调节机构及晶圆检测装置，其能够调节标定片在各个方向的位置，使标定片的平面与晶圆的承载面共面，交接步骤相对简单，无需多次往复调整。
2、本技术的实施例是这样实现的：
3、第一方面，本技术提供一种标定调节机构，包括调节机构本体和放置台，所述放置台可调节地安装在所述调节机构本体上且具有一安装平面，所述安装平面用于放置标定片，所述调节机构本体上设置有与所述放置台底面接触调节柱，通过所述调节柱在竖直方向上的位置变化对所述放置台调节，通过调节所述放置台与所述调节柱的相对角度关系调节所述放置台的平面安装姿态。
4、在可选的实施方式中，所述放置台与所述调节柱接触的一端设置有调节空间，所述调节柱与所述调节空间相互配合以调节所述放置台在第一圆周方向、第二圆周方向和第三圆周方向上的位置，所述第一圆周方向、所述第二圆周方向和所述第三圆周方
5、在可选的实施方式中，所述调节柱的顶端为球面，所述调节空间为锥形凹槽。
6、在可选的实施方式中，所述标定调节机构还包括第一固定件，所述第一固定件用于固定所述放置台在所述第一圆周方向、所述第二圆周方向和所述第三圆周方向上的位置。
7、在可选的实施方式中，所述第一固定件为螺钉，所述第一固定件的轴线方向为竖直方向。
8、在可选的实施方式中，所述调节柱远离所述放置台的一端设有外螺纹，所述调节机构本体上设有与所述外螺纹配合的内螺纹。
9、在可选的实施方式中，所述标定调节机构还包括第二固定件，所述第二固定件用于调节并固定所述放置台在竖直方向上的位置。
10、在可选的实施方式中，所述调节机构本体上开设有竖直方向的条孔，所述第二固定件穿过所述条孔将所述调节机构本体和所述放置台固定，所述第二固定件能够在所述条孔中滑动。
11、在可选的实施方式中，所述第二固定件为螺钉，所述第二固定件的轴线方向位于水平面。
12、第二方面，本技术提供一种晶圆检测装置，包括晶圆承载台和前述实施方式任一项所述的标定调节机构，所述标定调节机构用于使所述标定片的位姿与所述晶圆承载台匹配。
13、本技术实施例的有益效果是：
14、本技术通过设置标定调节机构调节标定片的位置，使得标定片的平面与晶圆的承载面共面，交接步骤相对简单，无需多次往复调整，且调节精度高。
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1.一种标定调节机构，其特征在于，包括调节机构本体和放置台，所述放置台可调节地安装在所述调节机构本体上且具有一安装平面，所述安装平面用于放置标定片，所述调节机构本体上设置有与所述放置台底面接触调节柱，通过所述调节柱在竖直方向上的位置变化对所述放置台调节，通过调节所述放置台与所述调节柱的相对角度关系调节所述放置台的平面安装姿态。
2.根据权利要求1所述的标定调节机构，其特征在于，所述放置台与所述调节柱接触的一端设置有调节空间，所述调节柱与所述调节空间相互配合以调节所述放置台在第一圆周方向、第二圆周方向和第三圆周方向上的位置，所述第一圆周方向、所述第二圆周方向和所述第三圆周方向的任意二者的轴线相互垂直。
3.根据权利要求2所述的标定调节机构，其特征在于，所述调节柱的顶端为球面，所述调节空间为锥形凹槽。
4.根据权利要求3所述的标定调节机构，其特征在于，所述标定调节机构还包括第一固定件，所述第一固定件用于固定所述放置台在所述第一圆周方向、所述第二圆周方向和所述第三圆周方向上的位置。
5.根据权利要求4所述的标定调节机构，其特征在于，所述第
6.根据权利要求2所述的标定调节机构，其特征在于，所述调节柱远离所述放置台的一端设有外螺纹，所述调节机构本体上设有与所述外螺纹配合的内螺纹。
7.根据权利要求1所述的标定调节机构，其特征在于，所述标定调节机构还包括第二固定件，所述第二固定件用于调节并固定所述放置台在竖直方向上的位置。
8.根据权利要求7所述的标定调节机构，其特征在于，所述调节机构本体上开设有竖直方向的条孔，所述第二固定件穿过所述条孔将所述调节机构本体和所述放置台固定，所述第二固定件能够在所述条孔中滑动。
9.根据权利要求7所述的标定调节机构，其特征在于，所述第二固定件为螺钉，所述第二固定件的轴线方向位于水平面。
10.一种晶圆检测装置，其特征在于，包括晶圆承载台和权利要求1-9任一项所述的标定调节机构，所述标定调节机构用于使所述标定片的位姿与所述晶圆承载台匹配。
...【技术特征摘要】
1.一种标定调节机构，其特征在于，包括调节机构本体和放置台，所述放置台可调节地安装在所述调节机构本体上且具有一安装平面，所述安装平面用于放置标定片，所述调节机构本体上设置有与所述放置台底面接触调节柱，通过所述调节柱在竖直方向上的位置变化对所述放置台调节，通过调节所述放置台与所述调节柱的相对角度关系调节所述放置台的平面安装姿态。
2.根据权利要求1所述的标定调节机构，其特征在于，所述放置台与所述调节柱接触的一端设置有调节空间，所述调节柱与所述调节空间相互配合以调节所述放置台在第一圆周方向、第二圆周方向和第三圆周方向上的位置，所述第一圆周方向、所述第二圆周方向和所述第三圆周方向的任意二者的轴线相互垂直。
3.根据权利要求2所述的标定调节机构，其特征在于，所述调节柱的顶端为球面，所述调节空间为锥形凹槽。
4.根据权利要求3所述的标定调节机构，其特征在于，所述标定调节机构还包括第一固定件，所述第一固定件用于固定所述放置台在所述第一圆周方向、所述第二圆周方向和所述第三圆周方向上的位置。...
【专利技术属性】
技术研发人员：唐海明，郑军，
申请(专利权)人：聚时科技上海有限公司，
类型：新型
国别省市：
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