【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本技术总体上涉及光刻写入器，并且具体地涉及扫描光刻激光写入器和用于操作扫描光刻激光写入器的方法。
技术介绍
1、所有目前市售的激光掩模刻录机都配备有单个最终透镜。在这种单头设计中，光通过称为打印头的光学机械组件传递到掩模版。因此，打印头被配备成利用共同的单个最终透镜来影响一个或多个调制激光束。激光束由该透镜聚焦到相应的小光斑。该光斑的位置通常快速且周期性地变化，使得光束轨迹在最终透镜下形成一条激光线(或多条平行线)。这通常被称为扫掠，并且扫掠方向通常被表示为y方向。在一些装置中，打印头组件在横向于扫掠方向的方向上相对于掩模版移动。该移动方向通常表示为x方向。在其它装置中，掩模版相对于印刷头组件移动。相对边缘到边缘行进被称为x行程，并且单个最终透镜下的上述线的长度通常被称为扫掠。这两种设计解决方案都导致掩模版顺序地逐次曝光于在图案化掩模中产生的强度调制光。如果多个光束与共同的单个最终透镜一起使用，则其平行线在x方向上偏移。
2、这种书写概念为书写者的打印速度设定了限制。给定x平台的一定速度或可选地在x行程下的打印头的一定速度以及x行程的长度，以及共同的单个最终透镜中的光束的数量，每单位时间覆盖的掩模版面积简单地由扫掠的长度限定。因此，可以通过增加扫掠的长度或增加共同的单个最终透镜中的平行光束的数量来实现增加的打印速度。如今，在共同的单个最终透镜中使用多达15个平行光束，并且该数量可以进一步增加。然而，即使增加15个额外的平行光束(这在技术上不是完全微不足道的)，也将仅将总打印速度增加2倍。需要进一步提高打印速度。>
3、几年前通过增加扫掠长度进行了提高打印速度的尝试。研制了一种可提供双扫掠长度的新型氧化碲偏转器。设计并提供了在写入头中使用并能够支持新扫掠长度的新光学器件。不幸的是，已经发现，以由该偏转器提供的全扫掠长度印刷的掩模表现出称为不均匀的可见缺陷。这种不均匀归因于由扫掠长度间隔开的重叠区域。如果该间隔太大，则重叠区域的小缺陷似乎可被人眼检测到。就打印速度而言，扫掠长度的唯一增加似乎不是向前的路径。
4、此外，在不具有不均匀要求的其他写入器中，打印速度的任何增加是期望的，因为它将简单地增加写入器的盈利能力。
5、在公开的国际专利申请wo 2020/120725 al中，公开了一种减少驱动单头多光束写入器中的声光调制器的换能器之间的串扰的影响的方法。该方法包括操作机械耦合到声光调制器介质的换能器，其中不同的频率施加到相邻的换能器，并且在空间上相邻的调制信道上的载波之间产生时变相位关系从相邻的换能器发出，相邻通道上的载波之间的频率间隔为400khz至20mhz。
6、在公开的美国专利申请us2020/0166852 al中，公开了一种用于写入基底晶片的光刻设备。该设备包括：光产生装置，其包括用于产生光的多个光源；写入装置；光传输装置，其包括用于将光从光产生装置传输到写入装置的多个光波导。写入装置包括多个可单独控制的写入头，用于将来自一个或多个光源的光投射到基底晶片的不同区域中。该设备还包括用于相对于写入装置在预定的输送方向上移动基底晶片的输送装置，以及用于控制基底晶片上的写入过程的控制装置。调制由电光调制器执行，并且光来自多个光源，这消除了对分束器的任何使用。
7、在公开的美国专利申请us2009/0273793 al中，公开了拉伸位置测量方法和设备以及拉伸方法和设备。至少三个狭缝设置在与绘图平面相同的平面中。检测已经由绘制点形成装置调制并且已经穿过至少三个狭缝的光。基于与检测已经穿过至少三个狭缝的光的时间点相对应的关于绘图平面的相应相对移动位置信息项，获得关于绘图点的两个位置信息项。基于所述至少两个位置信息项来测量绘制点的位置。
技术实现思路
1、因此，本技术的一般目的是找到在不引起不均匀效应的情况下提高打印速度的方法。
2、上述目的通过根据独立权利要求的方法和装置来实现。优选实施例在从属权利要求中限定。
3、一般而言，在第一方面，扫描光刻激光写入器包括基底支架、照射装置和控制单元。基底支架具有用于将具有激光敏感表面的基底保持在基底平面中的附接装置。照射装置具有激光源、多头调制器装置和m个写入头装置，其中m≥2。照射装置被布置用于经由多头调制器装置将来自激光源的激光提供给m个写入头装置以照射基底平面。所述控制单元被配置用于至少在平行于所述基底平面的扫描方向上控制所述基底支架与所述m个写入头装置之间的相对机械位移。所述控制单元被配置用于控制从所述m个写入头装置出射的激光在平行于所述基底平面并横向于所述扫描方向的扫掠方向上的扫掠。多头调制器装置被配置为通过使用声光晶体将源自激光源的输入光束分离并调制为用于m个写入头装置中的每一个的n个调制光束，其中n≥1。m个写入头被定位成使得从m个写入头装置中的每一个输出的激光在扫掠方向上相对于彼此移位预定的非零距离。
4、在第二方面，一种用于操作扫描光刻激光写入器的方法包括提供激光输入光束。对于m个写入头布置中的每一个，其中m≥2，激光输入光束被分离并且通过声光调制被调制为n个调制光束，其中n≥1。用于m个写入头装置的n个调制光束光学连接到相应的写入头装置。扫描光刻激光写入器的基底平面被用于m个写入头装置的n个调制光束照射。所述基底平面和所述m个写入头布置在至少平行于所述基底平面的扫描方向上相对于彼此移位。从m个写入头装置出射的n个调制光束在平行于基底平面并横向于扫描方向的扫掠方向上扫描。在所有情况下，从m个写入头装置中的每一个出射的n个调制光束在扫掠方向上相对于彼此移位预定的非零距离。
5、所提出的技术的一个优点是打印速度与打印头的数量成比例地增加，而现有设备的大多数部件可以在没有大的改变的情况下使用。当阅读具体实施方式时，将理解其他优点。
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1.一种扫描光刻激光写入器(1)，包括:
2.根据权利要求1所述的扫描光刻激光写入器，其特征在于，所述多头调制器装置(4)包括具有n个调制器段(25)的声光调制器(20)，其中每个段(25)被配置为将源自所述激光源(10)的输入光束(5)分离并调制成为用于所述m个写入头装置(50)中的每一个的一个调制光束(7)。
3.根据权利要求2所述的扫描光刻激光写入器,其特征在于，所述声光调制器(20)的每个调制器段(25)包括m个换能器(24A、24B)。
4.根据权利要求3所述的扫描光刻激光写入器，其特征在于，所述m个换能器(24A、24B)中的每一个由各自头部分配频率(F1、F2)驱动，所述各自头部分配频率(F1、F2)不同于其他换能器(24A，24B)的头部分配频率(F1、F2)。
5.根据权利要求3所述的扫描光刻激光写入器，其特征在于，所述m个换能器(24A、24B)中的每一个由射频信号驱动，所述射频信号是m个射频信号的和(F1+F2)，每个射频信号具有各自不同频率(F1，F2)，其中频移不同于其他换能器(24A，24B)的头部分配频
6.根据权利要求2所述的扫描光刻激光写入器，其特征在于，所述声光调制器(20)的每个调制器段(25)包括一个公共换能器(24)，其中所述换能器(24)由射频信号驱动，所述射频信号是m个射频信号的和(F1+F2)，每个射频信号具有各自不同的头部分配频率。
7.根据权利要求3至6中任一项所述的扫描光刻激光写入器，其特征在于，多头调制器装置(4)包括m个分束器装置(70)，所述声光调制器的每个调制器段(25)一个分束器装置(70)，所述分束器装置配置用于将所述输入光束(6)分成以不同入射角(θi1,θi2)提供给所述声光晶体(27)的m个入射光束(6A-C)。
8.根据权利要求1至7中任一项所述的扫描光刻激光写入器，其特征在于，每个写入头装置(50)相对于一个或两个其他写入头装置(50)的所述预定非零距离(ΔY)等于有效扫掠长度除以整数k，其中k≤m，并且其中所述有效扫掠长度是所述写入头装置(50)的扫掠长度(S)减去扫掠重叠距离(O)，所述扫掠重叠距离(O)等于或大于零。
9.根据权利要求1至8中任一项所述的扫描光刻激光写入器，其特征在于，还包括分束器(80)，所述分束器(80)被布置用于将来自所述声光调制器(4)的一束平行调制光束分成m个分开的n个调制光束的组，每个写入头装置(50)一组。
10.一种用于操作扫描光刻激光写入器(1)的方法，所述方法包括以下步骤：
11.根据权利要求10所述的方法，其特征在于所述步骤：分离并调制(S20)所述激光输入光束在n个分段步骤中执行，其中每个分段步骤调制用于所述m个写入头装置(50)中的每一个的一个光束。
12.根据权利要求11所述的方法，其特征在于所述步骤：分离并调制(S20)所述激光输入光束包括通过m个换能器(24A、24B)驱动所述声光调制器(20)。
13.根据权利要求12所述的方法，其特征在于，所述m个换能器(24A、24B)中的每一个由各自的头部分配频率(F1、F2)驱动，所述各自的头部分配频率(F1、F2)不同于所述其他换能器(24A、24B)的所述头部分配频率(F1、F2)。
14.根据权利要求12所述的方法，其特征在于，所述m个换能器(24A、24B)中的每一个由m个射频信号之和(F1、F2)的射频信号驱动，每个射频信号具有各自不同的频率(F1、F2)，其中频移不同于其他换能器(24A、24B)的头部分配频率(F1、F2)。
15.根据权利要求11所述的方法，其特征在于所述步骤：分离并调制(S20)所述激光输入光束包括通过一个公共换能器(24)驱动所述声光调制器(20)，其中所述换能器(24)由m个射频信号之和(F1、F2)的射频信号驱动，每个射频信号具有各自不同的头部分配频率。
...【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种扫描光刻激光写入器(1)，包括:
2.根据权利要求1所述的扫描光刻激光写入器，其特征在于，所述多头调制器装置(4)包括具有n个调制器段(25)的声光调制器(20)，其中每个段(25)被配置为将源自所述激光源(10)的输入光束(5)分离并调制成为用于所述m个写入头装置(50)中的每一个的一个调制光束(7)。
3.根据权利要求2所述的扫描光刻激光写入器,其特征在于，所述声光调制器(20)的每个调制器段(25)包括m个换能器(24a、24b)。
4.根据权利要求3所述的扫描光刻激光写入器，其特征在于，所述m个换能器(24a、24b)中的每一个由各自头部分配频率(f1、f2)驱动，所述各自头部分配频率(f1、f2)不同于其他换能器(24a，24b)的头部分配频率(f1、f2)。
5.根据权利要求3所述的扫描光刻激光写入器，其特征在于，所述m个换能器(24a、24b)中的每一个由射频信号驱动，所述射频信号是m个射频信号的和(f1+f2)，每个射频信号具有各自不同频率(f1，f2)，其中频移不同于其他换能器(24a，24b)的头部分配频率(f1，f2)。
6.根据权利要求2所述的扫描光刻激光写入器，其特征在于，所述声光调制器(20)的每个调制器段(25)包括一个公共换能器(24)，其中所述换能器(24)由射频信号驱动，所述射频信号是m个射频信号的和(f1+f2)，每个射频信号具有各自不同的头部分配频率。
7.根据权利要求3至6中任一项所述的扫描光刻激光写入器，其特征在于，多头调制器装置(4)包括m个分束器装置(70)，所述声光调制器的每个调制器段(25)一个分束器装置(70)，所述分束器装置配置用于将所述输入光束(6)分成以不同入射角(θi1,θi2)提供给所述声光晶体(27)的m个入射光束(6a-c)。
8.根据权利要求1至7中任一项所述的扫描光刻激光写入器，其特征在于，每个写入头装置(50)相...
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