【技术实现步骤摘要】
本技术涉及打标机领域，特别是一种基于标靶的晶圆定位装置。
技术介绍
1、在目前的使用的晶圆打标机平台中，一般需要事先定位来控制晶圆的位置，使晶圆能够移动到精确的位置上。
2、现有的一般采用上相机来定位晶圆的标记，而下相机来检测打标效果，但是上相机和下相机在加工或者使用过程中不可避免的具有同轴度的偏差，容易导致检测效果受到影响。
技术实现思路
1、本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本技术提出一种基于标靶的晶圆定位装置，能够校准上相机和下相机的同轴度偏差调高检测精度。
2、根据本技术实施例的基于标靶的晶圆定位装置，
3、底板，用于放置产品；
4、第一转移机构，驱动所述底板沿水平方向移动
5、上相机，设于所述底板的上方，所述上相机用于定位产品上侧；
6、下相机，设于所述底板的下方，所述下相机用于定位产品下侧；
7、标靶，设有标记点，所述上相机和所述下相机能够定位所述标靶的标记点。
8、根据本技术的一些实施例，所述上相机和下相机为ccd相机。
9、根据本技术的一些实施例，所述定位机构还包括环光源，所述环光源设于所述上相机的下方。
10、根据本技术的一些实施例，还包括第二转移机构，所述第二转移机构用于驱动所述标靶移动。
11、根据本技术的一些实施例，所述机架设有第一l形支架和第二l形支架，所述第一l形支架和所述第二l形支架均倒置于所述机架，所
12、根据本技术的一些实施例，还包括校准机构，所述校准机构设于所述机架，所述校准机构用于校准产品的方向。
13、根据本技术的一些实施例，所述校准机构包括转动组件和校准器，所述转动组件设于所述机架，所述转动组件用于放置产品并驱动产品旋转，所述校准器设于所述机架，所述校准器用于定位产品的标记。
14、根据本技术的一些实施例，所述第一转移机构包括第一导轨、第一驱动件、第二导轨和第二驱动件，所述第一导轨设于所述机架，所述第一驱动件驱动所述第二导轨沿所述第一导轨的前后方向移动，所述第二驱动件驱动所述底板沿所述第二导轨的左右方向移动。
15、根据本技术的一些实施例，还包括压盘，所述压盘用于压接产品。
16、本技术实施例至少具有如下有益效果：上相机能够定位产品晶圆上侧的标记点，下相机用于检测产品晶圆加工后的精度；加工前，通过上相机识别产品晶圆的标记点位置，依此判断晶圆的方位，使第一转移机构驱动底板移动到准确的位置，加工后，通过下相机识别打标标记，确定加工是否准确；标靶移动到上相机和下相机之间，上相机拍标靶标记点位置，下相机拍标靶标记点位置，用计算机计算两个照片相差多少再进行补偿，能够有效计算上相机和下相机之间的同轴度，以此更好地确定打标上相机、下相机的上下拍照的精准度。
17、本技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本技术的实践了解到。
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1.一种基于标靶的晶圆定位装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的基于标靶的晶圆定位装置，其特征在于：所述上相机(610)和下相机(620)均为CCD相机。
3.根据权利要求1所述的基于标靶的晶圆定位装置，其特征在于：还包括环光源(640)，所述环光源(640)设于所述上相机(610)的下方。
4.根据权利要求1所述的基于标靶的晶圆定位装置，其特征在于：还包括第二转移机构，所述第二转移机构用于驱动所述标靶(630)移动。
5.根据权利要求1所述的基于标靶的晶圆定位装置，其特征在于：还包括机架(100)，所述机架(100)设有第一L形支架(110)和第二L形支架(120)，所述第一L形支架(110)和所述第二L形支架(120)均倒置于所述机架(100)，所述第一L形支架(110)的下端连接所述机架(100)，所述上相机(610)设于所述第一L形支架(110)的上端，所述下相机(620)设于所述第二L形支架(120)的下端，所述第二L形支架(120)的上端连接所述机架(100)。
6.根据权利要求5所述的基于标靶的
7.根据权利要求1所述的基于标靶的晶圆定位装置，其特征在于：还包括校准机构(300)，所述校准机构(300)用于校准产品的方向。
8.根据权利要求7所述的基于标靶的晶圆定位装置，其特征在于：所述校准机构(300)包括转动组件(310)和校准器(320)，所述转动组件(310)用于放置产品并驱动产品旋转，所述校准器(320)用于定位产品的标记。
9.根据权利要求1所述的基于标靶的晶圆定位装置，其特征在于：还包括上料机构(200)，所述上料机构(200)包括机械手(210)和原料仓(220)，原料仓(220)用于放置产品，机械手(210)用于运输产品。
...【技术特征摘要】
1.一种基于标靶的晶圆定位装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的基于标靶的晶圆定位装置，其特征在于：所述上相机(610)和下相机(620)均为ccd相机。
3.根据权利要求1所述的基于标靶的晶圆定位装置，其特征在于：还包括环光源(640)，所述环光源(640)设于所述上相机(610)的下方。
4.根据权利要求1所述的基于标靶的晶圆定位装置，其特征在于：还包括第二转移机构，所述第二转移机构用于驱动所述标靶(630)移动。
5.根据权利要求1所述的基于标靶的晶圆定位装置，其特征在于：还包括机架(100)，所述机架(100)设有第一l形支架(110)和第二l形支架(120)，所述第一l形支架(110)和所述第二l形支架(120)均倒置于所述机架(100)，所述第一l形支架(110)的下端连接所述机架(100)，所述上相机(610)设于所述第一l形支架(110)的上端，所述下相机(620)设于所述第二l形支架(120)的下端，所述第二l形支架(120)的上端连...
【专利技术属性】
技术研发人员：郭良，刘涛，梁家浒，
申请(专利权)人：珠海东辉半导体装备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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