【技术实现步骤摘要】
本技术属于流体输送，尤其是涉及一种旁通式隔膜阀。
技术介绍
1、在半导体行业中，通常使用隔膜阀来输送高纯湿化学品等强腐蚀性液体，这些隔膜阀由阀主体、阀组件和致动组件等组成，其中，阀组件包括设置在阀杆端部的阀芯，阀芯随着阀杆往复移动，实现对阀主体的阀口的关闭或打开。
2、普通的隔膜阀中，一般存在两种通道情况，也就是开或者关的状态，但在一些特殊的流道中，虽然不需要大量的流体进入，但还需要有微流在流道内流动，以保持管道的润湿，同时也避免流体停止流动带来沉积、凝固、结晶析出等问题。具体应用情形例如，晶圆在清洗箱内完成清洗后，需要在清洗箱里有微小流量的液体对晶圆持续冲洗，一旦清洗箱内没有持续流动的液体，则颗粒物会重新附着沉积在晶圆表面，导致晶圆的清洗无效。现有技术中也有将通过原先的阀芯将阀口微微打开，以实现微流作用，但在实际使用过程中发现这样的结构会明显降低位于阀芯周侧的膜部的使用寿命。
3、市面上隔膜泵的启闭机构主要是针对大流量液体的阻断和打开，其不仅结构相对复杂，而且不适合针对微小流量的启闭控制，因此需要针对上述流道内微流的启闭设置特殊的开关机构。
技术实现思路
1、为了克服现有技术的不足，本技术提供一种旁通式隔膜阀，其设置有旁通流道，并通过启闭柱实现旁通流道的开启或关闭，并利用驱动件与启闭柱轴向卡接实现对启闭柱的驱动，使得在阀芯封堵阀口时，液体通过打开的旁通流道从入口流道向出口流道涌入，对出口流道起到良好的润湿效果，且不会影响阀口的正常启闭。
2、本
3、阀主体，其具有用于流体流过的入口流道、出口流道及位于两者之间的阀口；
4、阀组件，包括阀杆和阀芯，所述阀杆可相对阀主体移动以使所述阀芯启闭所述阀口；
5、旁通流道，设于所述阀主体，其两端分别连通所述入口流道和出口流道；
6、安装槽，设于所述阀主体的相对旁通流道侧；
7、启闭柱，具有用于启闭所述旁通流道的密封部；
8、膜部，设于所述启闭柱，并径向延伸以与安装槽内壁形成密封连接；
9、驱动件，设于所述启闭柱的远离旁通流道端，且该驱动件与启闭柱轴向卡接设置。
10、本技术在阀主体开设旁通流道，通过启闭柱作为开关，在普通的使用过程中，启闭柱将旁通流道封堵，按照正常的流道进行开闭，但当阀口为关闭状态时，通过运动启闭柱，单独将旁通流道打开，从而实现料液微流在出口流道内流动的目的，使得出口流道及其他管道持续处于润湿的状态；由于旁通流道内是微流，其不会影响阀口本身的正常关闭或者打开，不会有大量液体涌向出口流道，减小料液泄漏的风险；驱动件与启闭柱轴向卡接，驱动件可以驱动启闭柱轴向平移打开或关闭旁通流道，但是在发生周向转动时，难以将周向转动通过摩擦力传递给启闭柱；进而可以减小旁通流道和启闭柱相对运动后产生颗粒磨损的情况，保证流体的洁净度，也能保证启闭柱对旁通流道的有效密封，避免启闭柱周向转动导致的密封失效，也防止启闭柱周向转动带动膜部旋转扭曲，延长膜部的使用寿命。
11、进一步的，所述驱动件和启闭柱其一设有容纳槽，该容纳槽具有径向延伸的开口；另一设有凸出部，该凸出部可径向插入容纳槽并与其轴向卡接。
12、利用带有开口的容纳槽和凸出部配合连接，装配时只需要将凸出部沿着垂直于启闭柱中心轴的方向从开口滑移进入容纳槽，即可实现启闭柱和驱动件的轴向卡接，装配简单，连接结构稳固，两者不会轻易沿径向脱离。
13、进一步的，所述凸出部与容纳槽的轴向内壁间具有活动间隙。
14、容纳槽内具有两个相对的抵接面——第一抵接面和第二抵接面，在驱动件推动启闭柱密封旁通流道时，凸出部与第一抵接面接触，在驱动件拉动启闭柱打开旁通流道时，凸出部与第二抵接面接触，凸出部不与容纳槽的第一抵接面和第二抵接面同时接触，避免驱动件转动时带动启闭柱转动，导致启闭柱的膜部发生较大幅度的扭转，减小驱动件对于启闭柱本身的影响。
15、进一步的，还包括压座，所述驱动件与压座间形成螺旋副。
16、驱动件的外壁设有外螺纹，压座的内壁设有内螺纹，两者螺纹连接，与此同时，压座的外壁设有外螺纹，安装槽设有内螺纹，压座与安装槽螺纹连接，采用上述结构装配简单，且启闭柱的平移行程相对较短，旋转扭曲对膜部的影响相对较小；压座在与安装槽螺纹连接的同时，将抵接环抵压在安装槽内壁，从而使得抵接环与安装槽形成密封连接；同时，由于受到压座和阀主体的相向夹持作用，抵接环不会发生周向转动，继而膜部不会发生大幅度的周向偏转。
17、进一步的，所述启闭柱、膜部和抵接环一体设置。
18、采用上述方案，可以保证启闭柱、膜部和抵接环对旁通流道形成有效的密封，同时便于加工和装配；进一步地，即便驱动件有微小的周向旋转驱动力传递给启闭柱，与启闭柱一体连接的抵接环也可阻止启闭柱转动；
19、此外，由于膜部与启闭柱一体连接自身可轴向形变，当启闭柱受到驱动件的摩擦力时，膜部会更多地向活动间隙方向形变以减小摩擦力，进而延长膜的寿命。
20、进一步的，所述膜部连接于抵接环靠近旁通流道一侧，且所述安装槽上形成有支撑斜面。
21、在启闭柱沿着轴向发生往复活动时，膜部会跟着启闭柱活动、相对抵接环发生轴向摆动，此时膜部会摆动至贴合在支撑斜面上，支撑斜面会给膜部形成良好的支撑作用，避免膜部过度摆动造成的拉扯而损坏；同时当启闭柱向右移动时，因为膜部的大部分都会贴合在支撑斜面上，即使靠近启闭柱外壁的内圈没有贴合在支撑斜面上，该部分也顺着支撑斜面倾斜，膜部整体也不会发生大角度的弯折，延长膜部的使用寿命，避免膜部因为局部弯折导致的容易损坏。
22、进一步的，所述支撑斜面靠近抵接环一侧的内径大于膜部的外径，以在抵接环和支撑斜面之间形成弯折间隙。
23、由于设置了弯折间隙，膜部的一部分应力分散到抵接环上，避免应力集中在膜部和抵接环的连接处。
24、进一步的，所述压座外壁设有锁止槽，所述阀主体具有锁止孔，锁件可穿过锁止孔伸入锁止槽，以限制压座向远离旁通流道方向运动。
25、如此设置，在压座和阀主体螺纹连接的前提下，增加两者连接的稳固性，同时也避免压座和阀主体发生周向转动导致压座的松动。
26、进一步的，所述驱动件设于所述压座的内侧；且所述驱动件上设置有限位凸起，所述压座上设置有限位台阶，该限位凸起可与限位台阶相抵以限制启闭柱在远离旁通流道方向的活动行程。
27、驱动件设置在压座的内侧，便于驱动件和阀主体之间的稳固装配，方便安装；限位凸起和限位台阶相抵限制启闭柱一个方向的活动行程，避免启闭柱过度平移导致膜部被过度拉扯。
28、本技术的有益效果是：1)在阀主体开设旁通流道，通过启闭柱作为开关，当阀口为关闭状态时，通过运动启闭柱，单独将旁通流道打开，从而实现料液微流在出口流道内流动的目的，使得出口流道及本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种旁通式隔膜阀，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的旁通式隔膜阀，其特征在于：所述驱动件和启闭柱其一设有容纳槽，该容纳槽具有径向延伸的开口；另一设有凸出部，该凸出部可径向插入容纳槽并与其轴向卡接。
3.根据权利要求2所述的旁通式隔膜阀，其特征在于：所述凸出部与容纳槽的轴向内壁间具有活动间隙。
4.根据权利要求1所述的旁通式隔膜阀，其特征在于：还包括压座，所述驱动件与压座间形成螺旋副。
5.根据权利要求1或3所述的旁通式隔膜阀，其特征在于：还包括压座和抵接环，所述抵接环设于膜部的外周；所述压座与安装槽螺纹连接并将抵接环抵压在所述安装槽内壁，以使抵接环与安装槽形成密封连接。
6.根据权利要求5所述的旁通式隔膜阀，其特征在于：所述启闭柱、膜部和抵接环一体设置。
7.根据权利要求5所述的旁通式隔膜阀，其特征在于：所述膜部连接于抵接环靠近旁通流道一侧，且所述安装槽上形成有支撑斜面。
8.根据权利要求7所述的旁通式隔膜阀，其特征在于：所述支撑斜面靠近抵接环一侧的内径大于膜部的外径，以在抵接环和支
9.根据权利要求5所述的旁通式隔膜阀，其特征在于：所述压座外壁设有锁止槽，所述阀主体具有锁止孔，锁件可穿过锁止孔伸入锁止槽，以限制压座向远离旁通流道方向运动。
10.根据权利要求5所述的旁通式隔膜阀，其特征在于：所述驱动件设于所述压座的内侧；且所述驱动件上设置有限位凸起，所述压座上设置有限位台阶，该限位凸起可与限位台阶相抵以限制启闭柱在远离旁通流道方向的活动行程。
...【技术特征摘要】
1.一种旁通式隔膜阀，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的旁通式隔膜阀，其特征在于：所述驱动件和启闭柱其一设有容纳槽，该容纳槽具有径向延伸的开口；另一设有凸出部，该凸出部可径向插入容纳槽并与其轴向卡接。
3.根据权利要求2所述的旁通式隔膜阀，其特征在于：所述凸出部与容纳槽的轴向内壁间具有活动间隙。
4.根据权利要求1所述的旁通式隔膜阀，其特征在于：还包括压座，所述驱动件与压座间形成螺旋副。
5.根据权利要求1或3所述的旁通式隔膜阀，其特征在于：还包括压座和抵接环，所述抵接环设于膜部的外周；所述压座与安装槽螺纹连接并将抵接环抵压在所述安装槽内壁，以使抵接环与安装槽形成密封连接。
6.根据权利要求5所述的旁通式隔膜阀，其特征在于：所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：贾建东，高杰，王传昊，
申请(专利权)人：杭州科百特半导体分离膜有限公司，
类型：新型
国别省市：
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