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【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种显微镜拉曼分光装置及用于分光装置的光学元件的角度调整构件。
技术介绍
1、拉曼分光装置可通过对在照射激发激光时从试样产生的波长不同的拉曼散射光进行分光分析来进行试样的鉴定(例如专利文献1)。
2、其中,作为微小部的化学构造的分析方法,开发了显微拉曼分光法,近年来被广泛应用。
3、在包括作为显微拉曼分光法之一的共焦光学系统的显微拉曼分光装置中,能够仅选择性地撷取试样中来自激光聚光位置的散射光。
4、然而,成为激光的点光源的聚光点径为1μm级,与此相对,共焦光学系统的聚光直径为几十μm级,因此,共焦光学系统的显微拉曼分光装置要求非常高的光轴调整精度。进而,若考虑激光的射出角稳定性,则需要修正入射激光光轴与反射拉曼光轴的日差变动。
5、作为所述光轴的修正方法,以往已知有手动调整对光学元件夹赋予的光轴调整螺钉的光轴的手动调整方式、或利用马达变更光学元件的配置角度的电动调整方式等。
6、现有技术文献
7、专利文献
8、专利文献1:日本专利特开2006-113021号公报
9、在手动调整光轴的方式的情况下,调整螺钉通常设置于装置壳体内,因此为了手动对调制螺钉进行调整,需要打开装置壳体使光学系统露出。然而,由于拉曼分光装置的光源使用激光束,故而需要在激光管理区域内打开。
10、而且,在光轴的手动调整方式及电动调整方式的任一情况下,均需要以0.001deg级的角度调整光学元件,需要光轴调整者具有一定程度的调整技能,对于调
11、进而,在电动调整方式的情况下,需要选定能够高精度、高精密地驱动的马达,存在马达的尺寸变大、进而马达的成本变高的情况。其结果为,存在显微拉曼分光装置本身的体积变大,而且成本也变高的情况。
技术实现思路
1、[专利技术所要解决的问题]
2、因此,谋求一种能够在不打开装置壳体的情况下进行光轴的调整、并且调整者能够没有过度负担地进行光轴的微调的装置。
3、本专利技术的目的在于提供一种能够在不打开装置壳体的情况下进行光轴的调整、并且调整者能够没有过度负担地进行光轴的微调的显微拉曼分光装置。
4、进而,本专利技术的目的在于提供一种能够简单地进行光轴的微调的光学元件用角度调整构件。
5、[解决问题的技术手段]
6、即,本专利技术提供一种显微拉曼分光装置,其包括:
7、激光光源;
8、显微镜光学部;
9、板,固定样品;
10、拉曼光检测系统,包括用来生成可见图像的光学摄像元件;以及
11、入射光用光学元件及拉曼光用光学元件的至少任一光学元件,所述入射光用光学元件用来将从所述激光光源射出的激光导向所述显微镜光学部,所述拉曼光用光学元件用来将从所述样品反射的拉曼光导向所述拉曼检测系统,
12、所述入射光用光学元件及所述拉曼光用光学元件的至少一者包括角度调整构件,所述角度调整构件包括两个致动器及前端部能够360°运转的中心杆。
13、而且,本专利技术提供一种光学元件用角度调整构件,其包括
14、两个致动器及前端部能够360°运转的中心杆。
15、[专利技术的效果]
16、根据本专利技术,可提供一种能够在不打开装置壳体的情况下进行光轴的调整、并且调整者能够没有过度负担地进行光轴的微调的显微拉曼分光装置。
17、进而,根据本专利技术,可提供一种能够简单地进行光轴的微调的光学元件用角度调整构件。
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1.一种显微拉曼分光装置,包括:
2.根据权利要求1所述的显微拉曼分光装置,包括所述入射光用光学元件与所述拉曼光用光学元件,所述入射光用光学元件的至少一者与所述拉曼光用光学元件的至少一者包括所述角度调整构件。
3.根据权利要求1或2所述的显微拉曼分光装置,其中所述显微镜光学部为共焦光学系统。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的显微拉曼分光装置,其中所述两个致动器以互为90°的角度安装于所述角度调整构件。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的显微拉曼分光装置,其中所述致动器包括压电元件。
6.根据权利要求5所述的显微拉曼分光装置,还包括对所述压电元件施加电压的装置。
7.根据权利要求1至6中任一项所述的显微拉曼分光装置,其中所述角度调整构件包括光学元件夹。
8.一种光学元件用角度调整构件,包括两个致动器及前端部能够360°运转的中心杆。
9.根据权利要求8所述的光学元件用角度调整构件,其中所述两个致动器以互为90°的角度安装。
10.根据权利要求8或9所述的光学元件用角度调
11.根据权利要求8至10中任一项所述的光学元件用角度调整构件,包括光学元件夹。
...【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种显微拉曼分光装置,包括:
2.根据权利要求1所述的显微拉曼分光装置,包括所述入射光用光学元件与所述拉曼光用光学元件,所述入射光用光学元件的至少一者与所述拉曼光用光学元件的至少一者包括所述角度调整构件。
3.根据权利要求1或2所述的显微拉曼分光装置,其中所述显微镜光学部为共焦光学系统。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的显微拉曼分光装置,其中所述两个致动器以互为90°的角度安装于所述角度调整构件。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的显微拉曼分光装置,其中所述致动器包括压电元件。
6.根据...
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