【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及太阳能，特别是涉及一种炉管密封结构及炉管。
技术介绍
1、当前光伏行业的扩散，氧化、退火、掺杂、pecvd，lpcvd等工艺生产有立式炉和卧式炉两种类型，这两种类型的结构都需要将硅片装在特定的载具中传输入反应腔体内进行工艺，通过通入的特定的反应气体，从而实现对硅片进行特定的镀膜，扩散，氧化和薄膜沉积等工艺。在现有的两层炉管设计中，利用底座和顶壁分别将双层炉管的两端密封起来形成直通的腔体，将待处理的晶圆放在直通腔体内，利用双层炉管上的加热层对直通腔体进行加热或者将炉体设置为内外炉体，将内炉腔封闭的形式。
2、如现有技术中，炉管内载具的承载结构固定，无法调节位置及角度。而如要需要在炉管的密闭的腔室内设置转动的装置来调整载具的位置，由于炉内温度高，而无法直接在炉管内设置转动装置的动力源，所以其传动部分需要贯穿炉管的密闭空间，如何保证可旋转的同时又能完成真空的密封是亟待解决的问题。
技术实现思路
1、本专利技术为了解决上述现有技术中炉管内部设置传动装置密闭空间密封的技术问题，提出一种炉管密封结构及炉管。
2、本专利技术采用的技术方案是：
3、本专利技术提出了一种炉管密封结构，炉管包括：外炉管、内炉管、上炉盖、下炉门和旋转装置；所述外炉管内安装所述内炉管；密封结构为：所述上炉盖密封安装在所述外炉管与所述内炉管的上端，所述下炉门密封安装在所述外炉管的下端，所述下炉门的中心孔处密封连接有磁流体密封组件，所述磁流体密封组件的传动轴一端位于所述炉管密
4、进一步的，外炉管上端的外壁上设有外密封法兰，所述内炉管的内壁设有内密封法兰；所述上炉盖覆盖所述外炉管与内炉管的上端面，其外边缘与所述外密封法兰密封连接，内边缘与所述内密封法兰连接，所述下炉门的外边缘与所述外炉管的下端密封连接。
5、本专利技术还提出一种炉管，包括上述的炉管密封结构，所述下炉管下端开口，并穿过所述下炉门的中心孔；所述磁流体密封组件呈环形，中部也设有对应的中心孔，并分成内圈部分、外圈部分以及位于内圈部分与外圈部分之间呈环形的传动轴，其内圈部分与所述内炉管底部的支撑底座密封连接，外圈部分与所述下炉门的内边缘的外侧密封连接，内圈部分与外圈部分与所述传动轴转动密封。
6、进一步的，所述磁流体密封组件的内圈部分内设有至少一个内圈永磁体，所述内圈永磁体的两个内极靴环绕所述传动轴内壁面，所述传动轴的内壁面上对应内极靴设有内环形槽，所述内环形槽内设置磁流体；所述磁流体密封组件的外圈部分内设有至少一个外圈永磁体，所述外圈永磁体的两个外极靴环绕所述传动轴外壁面，所述传动轴的外壁面上对应外极靴设有外环形槽，所述外环形槽内设置磁流体。
7、本专利技术还提出一种炉管，包括上述的炉管密封结构，所述内炉管靠近所述下炉门的下端为封闭端，且封闭端与所述下炉门之间保持有距离，所述磁流体密封组件密封安装在所述下炉门下侧外并盖住所述下炉门的中心孔。
8、进一步的，所述旋转装置包括：设置在炉管的所述密闭腔室并带有多个载具放置位的舟托底座，所述舟托底座连接磁流体密封组件的传动轴；位于密闭腔室外连接所述传动轴带动所述舟托底座旋转的旋转动力源。
9、所述旋转动力源与所述传动轴通过齿轮传动或者皮带轮传动。
10、第一实施例中，舟托底座包括：
11、旋转底座，所述旋转底座位于所述密闭腔室的底部；
12、挂放板，设置在所述旋转底座上，所述挂放板上设有多个可挂放所述载具的所述载具放置位。
13、第一实施例中，舟托底座包括：
14、旋转底座，所述旋转底座具有多个供载具舟穿过或者放置的所述载具放置位；
15、多对承载件，每一对承载件位于一个载具放置位的两侧边缘，并可折叠地设置在旋转底座上；
16、所述承载件切换为折叠状态时，载具能够从底部向上穿过所述承载件对应的载具放置位；所述承载件切换为展开状态时，所述载具可放置在所述承载件上。
17、进一步的，所述上炉盖与所述下炉门远离所述密闭腔室的外端面向外凸出形成球状凸起。
18、与现有技术比较，本专利技术具有如下优势：
19、1.炉管内的载具放置在可以转动的舟托底座上，使载具可以在炉内调整位置和角度，使密闭腔室内通入反应气体或者升温温度差异时，使密闭腔室内部的气场和热场均匀，提高整体的工艺良率。同时底部通过磁流体密封组件密封，能够使舟托底座的驱动部件外置，同时确保通过反应气体的密闭腔室保持密封。
20、2.下炉门与上炉盖设计呈向外凸出的鼓面，承压能力更好而且不容易变形。
21、3.下炉门通过设置多个小炉门，装卸载具时可以打开单个小炉门，避免炉内的热量流失影响加工效率。
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1.一种炉管密封结构，其特征在于，所述炉管包括：外炉管、内炉管、上炉盖、下炉门和旋转装置；所述外炉管内安装所述内炉管，所述上炉盖密封安装在所述外炉管与所述内炉管的上端；密封结构包括：所述下炉门密封安装在所述外炉管的下端，所述下炉门的中心孔处密封连接有磁流体密封组件，所述磁流体密封组件的传动轴一端位于所述炉管密封形成的密闭腔室内，另一端位于所述密闭腔室外，所述旋转装置位于密闭腔室内带动载具旋转的传动部件与所述磁流体密封组件的传动轴连接。
2.如权利要求要求1所述的炉管密封结构，其特征在于，所述外炉管上端的外壁上设有外密封法兰，所述内炉管的内壁设有内密封法兰；所述上炉盖覆盖所述外炉管与内炉管的上端面，其外边缘与所述外密封法兰密封连接，内边缘与所述内密封法兰连接，所述下炉门的外边缘与所述外炉管的下端密封连接。
3.一种炉管，其特征在于，包括权利要求1至2任一项所述的炉管密封结构，所述下炉管下端开口，并穿过所述下炉门的中心孔；所述磁流体密封组件呈环形，中部也设有对应的中心孔，并分成内圈部分、外圈部分以及位于内圈部分与外圈部分之间呈环形的传动轴，其内圈部分与所述内炉
4.如权利要求3所述的炉管，其特征在于，所述磁流体密封组件的内圈部分内设有至少一个内圈永磁体，所述内圈永磁体的两个内极靴环绕所述传动轴内壁面，所述传动轴的内壁面上对应内极靴设有内环形槽，所述内环形槽内设置磁流体；所述磁流体密封组件的外圈部分内设有至少一个外圈永磁体，所述外圈永磁体的两个外极靴环绕所述传动轴外壁面，所述传动轴的外壁面上对应外极靴设有外环形槽，所述外环形槽内设置磁流体。
5.一种炉管，其特征在于，包括权利要求1至2任一项所述的炉管密封结构，所述内炉管靠近所述下炉门的下端为封闭端，且封闭端与所述下炉门之间保持有距离，所述磁流体密封组件密封安装在所述下炉门下侧外并盖住所述下炉门的中心孔。
6.如权利要求3或5所述的炉管，其特征在于，所述旋转装置包括：设置在炉管的所述密闭腔室并带有多个载具放置位的舟托底座，所述舟托底座连接磁流体密封组件的传动轴；位于密闭腔室外连接所述传动轴带动所述舟托底座旋转的旋转动力源。
7.如权利要求6所述的炉管，其特征在于，所述旋转动力源与所述传动轴通过齿轮传动或者皮带轮传动。
8.如权利要求6所述的炉管，其特征在于，所述舟托底座包括：
9.如权利要求6所述的炉管，其特征在于，
10.如权利要求3或5所述的炉管，其特征在于，所述上炉盖与所述下炉门远离所述密闭腔室的外端面向外凸出形成球状凸起。
...【技术特征摘要】
1.一种炉管密封结构，其特征在于，所述炉管包括：外炉管、内炉管、上炉盖、下炉门和旋转装置；所述外炉管内安装所述内炉管，所述上炉盖密封安装在所述外炉管与所述内炉管的上端；密封结构包括：所述下炉门密封安装在所述外炉管的下端，所述下炉门的中心孔处密封连接有磁流体密封组件，所述磁流体密封组件的传动轴一端位于所述炉管密封形成的密闭腔室内，另一端位于所述密闭腔室外，所述旋转装置位于密闭腔室内带动载具旋转的传动部件与所述磁流体密封组件的传动轴连接。
2.如权利要求要求1所述的炉管密封结构，其特征在于，所述外炉管上端的外壁上设有外密封法兰，所述内炉管的内壁设有内密封法兰；所述上炉盖覆盖所述外炉管与内炉管的上端面，其外边缘与所述外密封法兰密封连接，内边缘与所述内密封法兰连接，所述下炉门的外边缘与所述外炉管的下端密封连接。
3.一种炉管，其特征在于，包括权利要求1至2任一项所述的炉管密封结构，所述下炉管下端开口，并穿过所述下炉门的中心孔；所述磁流体密封组件呈环形，中部也设有对应的中心孔，并分成内圈部分、外圈部分以及位于内圈部分与外圈部分之间呈环形的传动轴，其内圈部分与所述内炉管底部的支撑底座密封连接，外圈部分与所述下炉门的内边缘的外侧密封连接，内圈部分与外圈部分与所述传动轴转动密封。
4.如权利要求3所述的炉管，其特征在于，所述磁...
【专利技术属性】
技术研发人员：邓金生，李美诗，彭亚萍，易炜，
申请(专利权)人：常州捷佳创精密机械有限公司，
类型：发明
国别省市：
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