【技术实现步骤摘要】
本公开总体涉及用于测量喷淋头组件流导的装置和方法。
技术介绍
1、半导体器件是在处理室中制造的。处理室可以包括喷淋头组件，通过该组件可以将前体反应物喷射并沉积到衬底例如硅晶片上。然而，喷淋头组件的性能(例如流导)可能会随着时间而降低，这是由于喷淋头表面(包括其许多孔)上残留反应物的逐渐堆积。因为新的喷淋头组件的成本，以及因为处理室不可避免的停工期，移除和更换用过的喷淋头组件可能很昂贵。为了最小化这种成本，用过的喷淋头可被翻新以延长其寿命，并且保证被更换的翻新喷淋头将达到预期标准对于减少处理室在更换过程中的停工时间很有价值。
技术实现思路
1、以下给出了本文描述的各个方面的简化概述。本
技术实现思路
不是广泛的综述，并且不旨在标识关键或重要的元素或描绘权利要求的范围。以下概述仅仅以简化的形式呈现一些概念，作为下面提供的更详细描述的介绍性序言。
2、描述了用于测量喷淋头组件的流导的一个或多个方面。在一方面，一种系统可以包括以下中的一个或多个：外壳、安置在外壳中的喷淋头组件、联接到喷淋头组件的进气口并配置为经由进气口向喷淋头组件供应气体的气体源、联接在气体源和喷淋头组件之间并配置为测量通过压力控制器的气体的流量的压力控制器、联接到喷淋头组件的排气口的压力传感器以及控制器。控制器可以配置成使压力控制器将从气体源供应到喷淋头组件的气体保持在第一压力值，从压力传感器接收第二压力值，并基于流量、第一压力值和第二压力值确定喷淋头组件的流导。
3、在另一方面，流导测量装置可以包括
4、在另一方面，一种方法可以包括：通过控制器使进气在第一压力值下经由进入导管被供应到喷淋头组件；接收进气的流量的指示；接收在联接到喷淋头组件的排气导管处测量的从喷淋头组件排出的排气的第二压力值的指示；以及基于流量、第一压力值和第二压力值确定喷淋头组件的流导。
5、下文更详细地描述了附加方面、配置、实施例和示例。
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1.一种系统，包括：
2.根据权利要求1所述的系统，其中，所述流导是第一流导，其中，所述流量是第一流量，并且
3.根据权利要求1所述的系统，其中，所述喷淋头组件还包括：
4.根据权利要求1所述的系统，其中，所述气体源通过手动阀、压力调节器、过滤器或第二压力传感器中的至少一个联接到所述进气口。
5.根据权利要求1所述的系统，其中，所述压力传感器包括第一压力传感器和第二压力传感器，其中，所述压力传感器和第二压力传感器具有不同的测量范围和不同的测量分辨率。
6.根据权利要求1所述的系统，其中，所述控制器配置为基于公式C＝Q/(P1-P2)来确定所述流导，其中，C是流导，Q是流量，P1是第一压力值，P2是第二压力值。
7.根据权利要求1所述的系统，其中，所述气体是惰性气体。
8.根据权利要求1所述的系统，其中，所述气体是氮气、氨气、硅烷、氢气、氩气或氪气中的至少一种。
9.一种流导测量装置，包括：
10.根据权利要求9所述的流导测量装置，其中，所述进气是第一进气，其中，所述排气是第
11.根据权利要求9所述的流导测量装置，其中，所述压力控制器通过手动阀、压力调节器、过滤器或第二压力传感器中的至少一个联接到气体源。
12.根据权利要求9所述的流导测量装置，其中，所述压力传感器包括第一压力传感器和第二压力传感器，其中，所述压力传感器和第二压力传感器具有不同的测量范围和不同的测量分辨率。
13.根据权利要求9所述的流导测量装置，其中，所述控制器配置为基于公式C＝Q/(P1-P2)来确定所述流导，其中，C是流导，Q是流量，P1是第一压力值，P2是第二压力值。
14.根据权利要求9所述的流导测量装置，其中，所述进气是惰性气体。
15.一种方法，包括：
16.根据权利要求15所述的方法，还包括：
17.根据权利要求15所述的方法，其中，所述流导是第一流导，其中，所述流量是第一流量，并且
18.根据权利要求15所述的方法，其中，接收进气流量的指示包括从联接到所述进气导管的流量控制器接收进气流量的指示，并且其中，接收第二压力值的指示包括从压力传感器接收第二压力值的指示。
19.根据权利要求15所述的方法，其中，使进气供应到所述喷淋头组件包括：
20.根据权利要求15所述的方法，其中，确定所述喷淋头组件的流导包括基于公式C＝Q/(P1-P2)来确定流导，其中，C是流导，Q是流量，P1是第一压力值，P2是第二压力值。
...【技术特征摘要】
1.一种系统，包括：
2.根据权利要求1所述的系统，其中，所述流导是第一流导，其中，所述流量是第一流量，并且
3.根据权利要求1所述的系统，其中，所述喷淋头组件还包括：
4.根据权利要求1所述的系统，其中，所述气体源通过手动阀、压力调节器、过滤器或第二压力传感器中的至少一个联接到所述进气口。
5.根据权利要求1所述的系统，其中，所述压力传感器包括第一压力传感器和第二压力传感器，其中，所述压力传感器和第二压力传感器具有不同的测量范围和不同的测量分辨率。
6.根据权利要求1所述的系统，其中，所述控制器配置为基于公式c＝q/(p1-p2)来确定所述流导，其中，c是流导，q是流量，p1是第一压力值，p2是第二压力值。
7.根据权利要求1所述的系统，其中，所述气体是惰性气体。
8.根据权利要求1所述的系统，其中，所述气体是氮气、氨气、硅烷、氢气、氩气或氪气中的至少一种。
9.一种流导测量装置，包括：
10.根据权利要求9所述的流导测量装置，其中，所述进气是第一进气，其中，所述排气是第一排气，其中，所述流量是第一流量，其中，所述流导是第一流导，
11.根据权利要求9所述的流导测量装置，其中，所述压力控制器通过手动阀、压力调节器、过滤...
【专利技术属性】
技术研发人员：D·南德瓦纳，A·德安布拉，D·陈，C·倪，G·保尔森，M·S·B·H·埃尔科莫斯，
申请(专利权)人：ASMIP私人控股有限公司，
类型：发明
国别省市：
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