【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体芯片加工及封装领域，尤其涉及一种用于转塔式固晶装置的连接组件，该连接组件用于连接驱动电机与邦头。
技术介绍
1、固晶机(die bonder)，也称贴片机，是芯片封装测试工序的芯片贴装(dieattach)环节中最关键、最核心的设备。固晶机用于将芯片从已经切割好的晶圆(wafer)上抓取下来，并放置在引线框架对应的芯片贴装位置(die flag)上，利用银胶(epoxy)把芯片和引线框架粘接起来。固晶机的固晶质量将直接影响芯片封装测试的良率和成本，进而影响后续的打线等环节。实际应用中，对芯片测试工序的单位时间产能uph(unit per hour)的要求越高，对固晶机完成芯片贴装的精度、速度的要求也越高。因此，固晶机需要同时达到芯片贴装的精度和速度两方面的要求，方能适应市场应用的需求。
2、转塔式固晶装置中，大圆盘形的安装框架上固定连接有至少一个邦头，当第一电机驱动安装框架转动时，安装框架会带动邦头旋转至需要的位置，例如安装框架会带动目标邦头至芯片拾取位置或者芯片放置位置，然后由第二电机驱动邦头沿着安装框架的径向方向做线性移动，从而完成芯片拾取或者芯片放置。一方面，为了提高芯片贴装的速度，则需要安装框架的转动速度尽量要快，并需要第二电机能够快速、灵活地驱动邦头沿着安装框架的径向方向做线性移动。另一方面，为了达到芯片贴装精度的要求，需要第二电机能够灵活、准确地驱动邦头沿着安装框架的径向方向做线性移动。因此，第二电机驱动邦头沿着安装框架的径向方向做线性移动的驱动结构和连接组件对提高转塔式固晶装置的芯片
技术实现思路
1、本专利技术要解决的技术问题是提供一种用于转塔式固晶装置的连接组件，能够实现音圈电机与邦头之间的连接，使得音圈电机能够更好地驱动邦头沿着所述转塔式固晶装置的安装框架的径向方向做线性移动。
2、为解决上述技术问题，专利技术采用如下的技术方案：
3、提供一种用于转塔式固晶装置的连接组件，该连接组件包括第三连接单元以及基板；基板相对于地面固定设置且沿竖直方向延伸；第三连接单元包括第二安装座和第三交叉滚珠导轨组件，第二安装座包括第二导轨安装板、第二电机安装板和凸舌板；第二导轨安装板与第二电机安装板相互固定连接呈l字型；第二电机安装板的背向第二导轨安装板的一侧面上固定连接有凸舌板，并且凸舌板向远离第二导轨安装板的方向延伸；凸舌板用于与所述转塔式固晶装置的邦头固定连接；第三交叉滚珠导轨组件设置于第二导轨安装板的背向第二电机安装板的一侧且沿着水平方向延伸，第三交叉滚珠导轨组件的第一条支导轨固定安装于第二导轨安装板的背向第二电机安装板的一侧，第三交叉滚珠导轨组件的第二条支导轨固定安装于基板上，使得第二导轨安装板能够相对于基板沿水平方向做线性滑动；第二电机安装板用于固定连接第二音圈电机，且第二音圈电机能够输出沿水平方向的驱动力。
4、优选地，第三连接单元还包括双u形件；双u形件包括相互固定连接的第一u形部和第二u形部，第一u形部和第二u形部的放置方向相反，其中，第一u形部包括第一底部、第一延伸臂、第二延伸臂，并且第一延伸臂的一端和第二延伸臂的一端均与第一底部固定连接成u字型；第二u形部包括第二底部、第二延伸臂和第三延伸部，并且第二延伸臂的一端和第三延伸部的一端均与第二底部固定连接呈u字型；双u形件的第一u形部所在的平面与第二u形部所在的平面相互垂直；第二电机安装板和凸舌板二者均与双u形件的第一延伸臂固定连接；双u形件用于与所述转塔式固晶装置的邦头固定连接。
5、进一步优选地，第三连接单元还包括第一辊子和第二辊子；u形件的第三延伸部上设置有第三螺纹孔，u形件的第二延伸臂上设置有第四螺纹孔；第一辊子设置于双u形件的第三延伸部的背离第一延伸臂的一侧，第二辊子设置于双u形件的第二延伸臂的背离第一延伸臂的一侧，第一辊子的转轴与u形件的第三螺纹孔螺纹连接，第二辊子的转轴与u形件的第四螺纹孔螺纹连接，第一辊子能够绕其转轴转动，第二辊子能够绕其转轴转动；第一辊子和第二辊子用于与所述转塔式固晶装置的邦头固定连接。
6、进一步优选地，双u形件的第二u形部的第三延伸部上设置有座椅部，该座椅部包括相互固定连接成l字型的椅板部和椅背部，座椅部的远离椅背部的一侧面与第三延伸部的末端固定连接且二者固定连接呈l字型；椅背部设置有第一螺纹孔，第一u形部的第一底部设置有第二螺纹孔，并且第一螺纹孔的中心点与第二螺纹孔的中心点位于同一条直线上且二者的孔径相等，第一螺纹孔和第二螺纹孔均与第一螺栓螺纹连接；通过调节第一螺栓能够调节第三螺纹孔与第四螺纹孔之间的间距。
7、进一步优选地，所述连接组件还包括第一连接单元；第一连接单元包括双l形件和条块状导轨；双l形件包括相互固定连接的第一l形部和第二l形部，第一l形部和第二l形部均呈l字型，第一l形部包括相互固定连接的第一横臂和第一竖臂，第二l形部包括相互固定连接的第二横臂和第二竖臂，第一l形部的第一横臂的远离第一竖臂的一端与第二l形部的第二竖臂的背向第二横臂的一侧面固定连接；第一l形部的第一竖臂的一侧面上设置有u形的第三凹槽，第三凹槽沿着竖直方向延伸，第三凹槽内固定设置有条块状导轨；第一辊子和第二辊子分别设置于条块状导轨的两侧，并且第一辊子和第二辊子的辊面分别与条块状导轨的两侧面直接接触，使得第一辊子和第二辊子能够分别相对于条块状导轨的两侧面滚动；双l形件的第二l形部用于与所述转塔式固晶装置的邦头固定连接。
8、进一步优选地，第一连接单元还包括t形件；t形件整体呈t字型，t形件包括一个腿部和一个头盖部，腿部和头盖部均呈板体状，t形件的腿部的一端与其头盖部的一侧面固定连接；双l形件的第二l形部的第二横臂与t形件的腿部的远离头盖部的一端固定连接；t形件的头盖部用于与所述转塔式固晶装置的邦头固定连接。
9、进一步优选地，所述连接组件还包括第二连接单元，第二连接单元包括第一安装座和第一交叉滚珠导轨组件，第一安装座包括滑槽件；滑槽件包括一个底壁和两个侧壁，底壁和两个侧壁固定连接成u字型且围成滑槽，滑槽件沿着水平方向延伸且开口朝上；滑槽件相对于地面固定设置；第一交叉滚珠导轨组件包括至少两条支导轨，第一交叉滚珠导轨组件位于滑槽件内且沿着水平方向延伸，并且第一交叉滚珠导轨组件的第一条支导轨固定安装于滑槽件的底部，第一交叉滚珠导轨组件的第二条支导轨固定安装于t形件的腿部的下表面，使得t形件的腿部能够相对于滑槽件沿水平方向做线性滑动。
10、进一步优选地，第一安装本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种用于转塔式固晶装置的连接组件，其特征在于，该连接组件包括第三连接单元(50)以及基板(60)；基板(60)相对于地面固定设置且沿竖直方向延伸；
2.根据权利要求1所述的用于转塔式固晶装置的连接组件，其特征在于，第三连接单元(50)还包括双U形件(54)；
3.根据权利要求2所述的用于转塔式固晶装置的连接组件，其特征在于，第三连接单元(50)还包括第一辊子(56)和第二辊子(57)；U形件(54)的第三延伸部(54e)上设置有第三螺纹孔(54j)，U形件(54)的第二延伸臂(54c)上设置有第四螺纹孔(54k)；第一辊子(56)设置于双U形件(54)的第三延伸部(54e)的背离第一延伸臂(54b)的一侧，第二辊子(57)设置于双U形件(54)的第二延伸臂(54c)的背离第一延伸臂(54b)的一侧，第一辊子(56)的转轴与U形件(54)的第三螺纹孔(54j)螺纹连接，第二辊子(57)的转轴与U形件(54)的第四螺纹孔(54k)螺纹连接，第一辊子(56)能够绕其转轴转动，第二辊子(57)能够绕其转轴转动；第一辊子(56)和第二辊子(57)用于与所述转塔式
4.根据权利要求2所述的用于转塔式固晶装置的连接组件，其特征在于，双U形件(54)的第二U形部的第三延伸部(54e)上设置有座椅部，该座椅部包括相互固定连接成L字型的椅板部(54f)和椅背部(54g)，座椅部的远离椅背部(54g)的一侧面与第三延伸部(54e)的末端固定连接且二者固定连接呈L字型；椅背部(54g)设置有第一螺纹孔(54h)，第一U形部的第一底部(54a)设置有第二螺纹孔(54i)，并且第一螺纹孔(54h)的中心点与第二螺纹孔(54i)的中心点位于同一条直线上且二者的孔径相等，第一螺纹孔(54h)和第二螺纹孔(54i)均与第一螺栓螺纹连接；通过调节第一螺栓能够调节第三螺纹孔(54j)与第四螺纹孔(54k)之间的间距。
5.根据权利要求3或4所述的用于转塔式固晶装置的连接组件，其特征在于，所述连接组件还包括第一连接单元(30)；第一连接单元(30)包括双L形件(33)和条块状导轨(34)；
6.根据权利要求5所述的用于转塔式固晶装置的连接组件，其特征在于，第一连接单元(30)还包括T形件(31)；T形件(31)整体呈T字型，T形件(31)包括一个腿部(31a)和一个头盖部(31b)，腿部(31a)和头盖部(31b)均呈板体状，T形件(31)的腿部(31a)的一端与其头盖部(31b)的一侧面固定连接；双L形件(33)的第二L形部的第二横臂(33d)与T形件(31)的腿部(31a)的远离头盖部(31b)的一端固定连接；T形件(31)的头盖部(31b)用于与所述转塔式固晶装置的邦头固定连接。
7.根据权利要求6所述的用于转塔式固晶装置的连接组件，其特征在于，所述连接组件还包括第二连接单元(40)，第二连接单元(40)包括第一安装座和第一交叉滚珠导轨组件(44)，第一安装座包括滑槽件(43)；滑槽件(43)包括一个底壁(43a)和两个侧壁(43b)，底壁(43a)和两个侧壁(43b)固定连接成U字型且围成滑槽(43c)，滑槽件(43)沿着水平方向延伸且开口朝上；滑槽件(43)相对于地面固定设置；
8.根据权利要求7所述的用于转塔式固晶装置的连接组件，其特征在于，第一安装座还包括第一导轨安装板(41)和第一电机安装板(42)；
9.根据权利要求8所述的用于转塔式固晶装置的连接组件，其特征在于，第二连接单元(40)还包括第二交叉滚珠导轨组件(45)；第二交叉滚珠导轨组件(45)包括至少两条支导轨，第二交叉滚珠导轨组件(45)设置于滑槽件(43)的下方且沿着竖直方向延伸，并且第二交叉滚珠导轨组件(45)的第一条支导轨(45a)固定安装于第一导轨安装板(41)的背向第一电机安装板(42)的一侧，第二交叉滚珠导轨组件(45)的第二条支导轨(45b)固定安装于基板(60)上，使得第一导轨安装板(41)能够相对于基板(60)沿竖直方向做线性滑动。
10.根据权利要求9所述的用于转塔式固晶装置的连接组件，其特征在于，所述连接组件还包括传动轴(10)；第一连接单元(30)还包括盖板(32)；
11.根据权利要求10所述的用于转塔式固晶装置的连接组件，其特征在于，所述连接组件还包括轴套(20)和轴承(24)；轴套(20)包括轴套本体部(21)；
12.根据权利要求11所述的用于转塔式固晶装置的连接组件，其特征在于，所述连接组件还包括连接杆；轴套(20)还包括与轴套本体部(21)固定连接的凸起部(22)；轴套本体部(21)的外周侧面...
【技术特征摘要】
1.一种用于转塔式固晶装置的连接组件，其特征在于，该连接组件包括第三连接单元(50)以及基板(60)；基板(60)相对于地面固定设置且沿竖直方向延伸；
2.根据权利要求1所述的用于转塔式固晶装置的连接组件，其特征在于，第三连接单元(50)还包括双u形件(54)；
3.根据权利要求2所述的用于转塔式固晶装置的连接组件，其特征在于，第三连接单元(50)还包括第一辊子(56)和第二辊子(57)；u形件(54)的第三延伸部(54e)上设置有第三螺纹孔(54j)，u形件(54)的第二延伸臂(54c)上设置有第四螺纹孔(54k)；第一辊子(56)设置于双u形件(54)的第三延伸部(54e)的背离第一延伸臂(54b)的一侧，第二辊子(57)设置于双u形件(54)的第二延伸臂(54c)的背离第一延伸臂(54b)的一侧，第一辊子(56)的转轴与u形件(54)的第三螺纹孔(54j)螺纹连接，第二辊子(57)的转轴与u形件(54)的第四螺纹孔(54k)螺纹连接，第一辊子(56)能够绕其转轴转动，第二辊子(57)能够绕其转轴转动；第一辊子(56)和第二辊子(57)用于与所述转塔式固晶装置的邦头固定连接。
4.根据权利要求2所述的用于转塔式固晶装置的连接组件，其特征在于，双u形件(54)的第二u形部的第三延伸部(54e)上设置有座椅部，该座椅部包括相互固定连接成l字型的椅板部(54f)和椅背部(54g)，座椅部的远离椅背部(54g)的一侧面与第三延伸部(54e)的末端固定连接且二者固定连接呈l字型；椅背部(54g)设置有第一螺纹孔(54h)，第一u形部的第一底部(54a)设置有第二螺纹孔(54i)，并且第一螺纹孔(54h)的中心点与第二螺纹孔(54i)的中心点位于同一条直线上且二者的孔径相等，第一螺纹孔(54h)和第二螺纹孔(54i)均与第一螺栓螺纹连接；通过调节第一螺栓能够调节第三螺纹孔(54j)与第四螺纹孔(54k)之间的间距。
5.根据权利要求3或4所述的用于转塔式固晶装置的连接组件，其特征在于，所述连接组件还包括第一连接单元(30)；第一连接单元(30)包括双l形件(33)和条块状导轨(34)；
6.根据权利要求5所述的用于转塔式固晶装置的连接组件，其特征在于，第一连接单元(30)还包括t形件(31)；t形件(31)整体呈t字型，t形件(31)包括一个腿部(31a)和一个头盖部(31b)，腿部(31a)和头盖部(31b)均呈板体状，t形件(31)的腿部(31a)的一端与其头盖部(31b)的一侧面固定连接；双l形件(33)的第二l形部的第二横臂(33d)与t形件(31)的腿部(31a)的远离头盖部(31b)的一端固定连接；t形件(31)的头盖部(31b)用于与所述转塔式固晶装置的邦头固定连接。
7.根据权利要求6所述的用于转塔式固晶装置的连接组件，其特征在于，所述连接组件还包括第二连接单元(40)，第二连接单元(40)包括第一安装座和第一交叉滚珠导轨组件(44)，第一安装座包括滑槽件(43)；滑槽件(43)包括一个底壁(43a)和两个侧壁(43b)，底壁(43a)和两个侧壁(43b)固定连接成u...
【专利技术属性】
技术研发人员：艾兵，
申请(专利权)人：上海赢朔电子科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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