【技术实现步骤摘要】
本文描述的专利技术构思的实施例涉及一种物品传送设备和一种物品传送方法，更具体地，涉及一种用于传送基板的物品传送设备和物品传送方法。
技术介绍
1、随着技术密集型未来技术的融合，半导体制造技术正在应对快速变化的技术创新速度和快速变化的环境。特别地，随着半导体元件变得更加集成以及高性能产品的开发，甚至半导体制造工艺中的物品技术也在追求更高效的技术。
2、这种半导体制造物品流程是根据现场情况，通过解决瓶颈现象、改善设施故障以及预防性维护(pm)进行管理。
3、根据半导体制造物品流程，半导体制造厂(fab)使用oht(高架起吊运输装置)执行各种产品传送，在这种情况下，在轨道上大量运行oht，并且存在控制和管理所有的oht的ocs(oht控制系统)。
4、同时，上述oht传送容器，在容器上针对执行各种工艺的各个半导体设施安装基板。在这种情况下，如果由于半导体设施正在运行而无法安装容器，则oht会将容器临时装载到侧轨缓冲器(stb)中。
5、由于安装或更换半导体设施时会对半导体设施造成大量干扰，因此需要对此种传统侧轨缓冲器进行拆卸工作。由于这个原因，在其中安装或更换半导体设施的工作场所，不能进行oht容器传送或半导体工艺操作，从而导致损失。
6、因此，可以考虑为传统侧轨缓冲器提供技术解决方案，诸如缩小尺寸、易于移动或在需要时方便拆卸。
7、此外，如果在需要时机械驱动传统侧轨缓冲器，只有考虑驱动点不外露，才可减少对其他部件的干扰。
8、此外，由于常规侧轨缓冲器
技术实现思路
1、本专利技术构思的实施例提供了一种物品传送设备和物品传送方法，其可以临时装载容器，并且能够根据需要改变其尺寸，因此在改变尺寸时不会与周围结构发生干扰。
2、本专利技术构思的实施例提供了一种物品传送设备和物品传送方法，如果临时装载容器的区域是可驱动的，则不会使驱动点暴露在外部。
3、本专利技术构思的实施例提供了一种物品传送设备和物品传送方法，在发生火灾时，其不会使临时装载容器的区域干扰从喷水器喷射的水流路径。
4、本专利技术构思的技术目的不限于上述目的，并且根据以下描述，其他未提及的技术目的对于本领域技术人员而言将变得明显。
5、本专利技术构思提供了一种物品传送设备，oht在物品传送设备处传送容器。物品传送设备包括：顶部支撑单元，其固定到半导体制造厂内的顶部空间；底部支撑单元，其位于顶部支撑单元下方、与顶部支撑单元间隔开，并且容器安装在底部支撑单元上；连杆单元，其联接在顶部支撑单元和底部支撑单元之间并且可以折叠；折叠驱动单元，其连接顶部支撑单元和连杆单元，并且配置成使得当所述折叠驱动单元未被驱动时，通过展开的连杆单元形成能够安装容器的空间，以及当所述折叠驱动单元被驱动时，通过折叠连杆单元，所述底部支撑单元紧密接触顶部支撑单元，并且其中折叠驱动单元定位成不超过顶部支撑单元的顶部部分。
6、在实施例中，顶部支撑单元具有开放区域，并且折叠驱动单元位于顶部支撑单元的开放区域。
7、在实施例中，连杆单元配置成多个并彼此间隔设置，并且多个连杆单元中的每一个包括：第一支撑杆，其端部可旋转地联接至顶部支撑单元；以及第二支撑杆，其端部联接到第一支撑杆的另一端部，并且第二支撑杆的另一端部可旋转地联接到底部支撑单元。
8、在实施例中，连杆单元包括：第一连杆单元，其连接到顶部支撑单元和底部支撑单元；第二连杆单元，其连接到顶部支撑单元和底部支撑单元，定位成与第一连杆单元间隔开，并且在面向第一连杆单元的方向上折叠；第三连杆单元，其连接到顶部支撑单元和底部支撑单元，定位成与第一连杆单元间隔开，并且在与第一连杆单元相同的方向上折叠；以及第四连杆单元，其连接到顶部支撑单元和底部支撑单元，面向第三连杆单元定位，并且在与第二连杆单元相同的方向上折叠。
9、在实施例中，连杆单元包括：第一连杆轴连接点，第一连杆单元和第三连杆单元销在该连接点处联接；以及第二连杆轴连接点，第二连杆单元和第四连杆单元销在该连接点处联接。
10、在实施例中，连杆单元包括：第一折叠轴，其连接在第一连杆单元和第三连杆单元之间，并且第一折叠轴联接折叠驱动单元；以及第二折叠轴，其连接在第二连杆单元和第四连杆单元之间，并且第二折叠轴联接折叠驱动单元。
11、在实施例中，折叠驱动单元包括：第一杆，其端部联接连杆单元的折叠轴；以及驱动致动器，其具有联接到第一杆的另一端部的端部，并且具有联接到顶部支撑单元的主体，并且当向前驱动时，所述驱动致动器向前驱动第一杆，以及当向后驱动时，所述驱动致动器向后驱动第一杆。
12、在实施例中，物品传送设备还包括固定构件，其用于联接在顶部支撑单元和半导体制造厂之间。
13、在实施例中，物品传送设备还包括缓冲器识别传感器，其联接至顶部支撑单元并且通过与oht通信而将缓冲器信息传输至oht。
14、在实施例中，缓冲器识别传感器形成为rfid标签，rfid标签包括缓冲器信息，并且如果oht临近可与rfid标签通信的区域，则oht读取缓冲器信息。
15、在实施例中，物品传送设备还包括：控制系统，其控制oht以根据容器的传送调度来传送处于装载状态的oht，或将容器装载到未装载的区域。
16、在实施例中，物品传送设备还包括：装载检测传感器，其安装在底部支撑单元上，并且当安装了容器时，装载检测传感器产生装载信号。
17、在实施例中，控制系统与装载检测传感器通信而被输入装载信号，装载检测传感器针对其中安装有装载检测传感器的每个区域生成装载/卸载信息，装载检测传感器关于其中生成装载信号的区域而将装载/卸载信息设置为装载状态，并且装载检测传感器关于其中未生成装载信号的区域而将装载/卸载信息设置为卸载状态。
18、在实施例中，底部支撑单元提供其中安装多个容器的安装区域，并且装载检测传感器安装在多个安装区域中的每一个处，并且如果所有装载检测传感器处未产生装载信号，则控制系统将折叠驱动单元启动成能够驱动状态，并且如果装载检测传感器中的至少一个产生装载信号，则停用折叠驱动单元，使得折叠驱动单元不驱动。
19、在实施例中，物品传送设备还包括：缓冲器控制单元，其配置成当容器安装在安装区域上时，通过与容器进行通信而输入容器的容器信息，并且缓冲器控制单元将输入的容器信息传输至控制系统。
20、在实施例中，缓冲器控制单元包括：天线单元，其安装在底部支撑单元上；以及缓冲器通信单元，其电连接到天线单元并且与控制系统通信，并且当装载容器时缓冲器通信单元将容器信息传送到控制系统。
21、在实施例中，物品传送设备还包括：反射板，其与底部支撑单元联接并反射光线；并且其中oht通过感测反本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种物品传送设备，OHT在所述物品传送设备处传送容器，所述物品传送设备包括：
2.根据权利要求1所述的物品传送设备，其中所述顶部支撑单元具有开放区域，并且所述折叠驱动单元位于所述顶部支撑单元的所述开放区域处。
3.根据权利要求1所述的物品传送设备，其中所述连杆单元配置成多个并且定位成彼此间隔开，并且多个连杆单元中的每一者包括：
4.根据权利要求3所述的物品传送设备，其中所述连杆单元包括：
5.根据权利要求4所述的物品传送设备，其中所述连杆单元包括：
6.根据权利要求5所述的物品传送设备，其中所述连杆单元包括：
7.根据权利要求6所述的物品传送设备，其中所述折叠驱动单元包括：
8.根据权利要求1所述的物品传送设备，还包括固定构件，其用于联接在所述顶部支撑单元和所述半导体制造厂之间。
9.根据权利要求1所述的物品传送设备，还包括缓冲器识别传感器，所述缓冲器识别传感器联接至所述顶部支撑单元，并且所述缓冲器识别传感器通过与所述OHT通信而将缓冲器信息传输至所述OHT。
10.根
11.根据权利要求1所述的物品传送设备，还包括：
12.根据权利要求11所述的物品传送设备，还包括：
13.根据权利要求12所述的物品传送设备，其中所述控制系统与所述装载检测传感器通信而被输入所述装载信号；所述装载检测传感器针对其中安装有所述装载检测传感器的每个区域生成装载/卸载信息，关于其中生成所述装载信号的区域而将所述装载/卸载信息设置成装载状态，并且关于其中未生成所述装载信号的区域而将所述装载/卸载信息设置成卸载状态。
14.根据权利要求12所述的物品传送设备，其中所述底部支撑单元提供安装区域，在所述安装区域中安装多个容器，以及
15.根据权利要求11所述的物品传送设备，还包括：
16.根据权利要求15所述的物品传送设备，其中所述缓冲器控制单元包括：
17.根据权利要求1所述的物品传送设备，其还包括：
18.根据权利要求1所述的物品传送设备，其中所述折叠驱动单元还包括手动操作单元，以及
19.一种物品传送方法，其包括：
20.一种物品传送设备，OHT在所述物品传送设备处传送容器，所述物品传送设备包括：
...【技术特征摘要】
1.一种物品传送设备，oht在所述物品传送设备处传送容器，所述物品传送设备包括：
2.根据权利要求1所述的物品传送设备，其中所述顶部支撑单元具有开放区域，并且所述折叠驱动单元位于所述顶部支撑单元的所述开放区域处。
3.根据权利要求1所述的物品传送设备，其中所述连杆单元配置成多个并且定位成彼此间隔开，并且多个连杆单元中的每一者包括：
4.根据权利要求3所述的物品传送设备，其中所述连杆单元包括：
5.根据权利要求4所述的物品传送设备，其中所述连杆单元包括：
6.根据权利要求5所述的物品传送设备，其中所述连杆单元包括：
7.根据权利要求6所述的物品传送设备，其中所述折叠驱动单元包括：
8.根据权利要求1所述的物品传送设备，还包括固定构件，其用于联接在所述顶部支撑单元和所述半导体制造厂之间。
9.根据权利要求1所述的物品传送设备，还包括缓冲器识别传感器，所述缓冲器识别传感器联接至所述顶部支撑单元，并且所述缓冲器识别传感器通过与所述oht通信而将缓冲器信息传输至所述oht。
10.根据权利要求9所述的物品传送设备，其中所述缓冲器识别传感器形成为rfid标签，所述rfid标签包括所述缓冲器信息，并且如果所述...
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