【技术实现步骤摘要】
本技术涉及臭氧水生产，尤其涉及一种臭氧水浓度提升装置及应用其的臭氧水生成系统。
技术介绍
1、在光伏、半导体制造中，常会用到臭氧水对晶圆或硅片进行清洗，臭氧水通常的生产方式是将臭氧气体通入填满拉西环填料的混合桶中通过控制压力混合而成。由于管路直接通入臭氧气泡大，且拉西环加工制造直径下限尺寸有限，填充在混合桶内两两间存在大量的间隙无法填实，影响混合效率，导致制成的臭氧水浓度无法进一步提升。
技术实现思路
1、本技术的目的是为了解决现有技术中存在的气液混合效率低，制备的臭氧水浓度低的缺点，而提出的一种臭氧水浓度提升装置及应用其的臭氧水生成系统。
2、为实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种臭氧水浓度提升装置，包括槽体和曝气盘，槽体的顶部设有气体出口，槽体的中部设有隔板，隔板到槽体底面的最大距离小于槽体的顶部到槽体底面的最小距离，隔板一侧的槽体侧壁底部设有液体入口和臭氧气体入口，液体入口位于臭氧气体入口的上方，隔板另一侧的槽体侧壁底部设有臭氧水出口，曝气盘设置在靠近臭氧气体入口的槽体内，曝气盘包括连接部分和曝气部分，连接部分和曝气部分连接，连接部分与臭氧气体入口连接，曝气部分的上表面均匀设有多个曝气孔。
3、较佳地，臭氧水浓度提升装置还包括液位传感器，液位传感器设置在槽体的侧壁上，液位传感器到槽体底面的距离大于隔板到槽体底面的最大距离。
4、较佳地，曝气部分的上表面呈圆弧球面结构。
5、较佳地，槽体的顶部为倒三角形结构。
7、本技术另一方面的臭氧水生成系统，包括臭氧发生装置、气液混合装置、以及如上所述的臭氧水浓度提升装置，气液混合装置的底部设有臭氧进气口和出液口，气液混合装置的顶部设有纯水入口和出气口，臭氧进气口和臭氧水浓度提升装置的臭氧气体入口均与臭氧发生装置连接，出液口与臭氧水浓度提升装置的液体入口连接。
8、较佳地，臭氧水生成系统还包括臭氧破坏装置，出气口和臭氧水浓度提升装置的气体出口均与臭氧破坏装置连接。
9、较佳地，臭氧发生装置和臭氧水浓度提升装置的臭氧气体入口之间设有第一单向阀。
10、较佳地，臭氧发生装置与臭氧进气口之间设有第二单向阀。
11、与现有技术相比，本技术的有益效果为：通过在槽体的中部设置隔板，且隔板到槽体底面的最大距离小于槽体的顶部到槽体底面的最小距离，使得隔板两侧的槽体区域顶部连通，更利于臭氧水中未溶解气泡的排出；通过在靠近臭氧气体入口的槽体内设置曝气盘，并在曝气盘的曝气部分的上表面均匀设置多个曝气孔，有利于臭氧气体在液体中的溶解，从而提升臭氧水的浓度。
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1.一种臭氧水浓度提升装置，其特征在于，包括槽体和曝气盘，所述槽体的顶部设有气体出口，所述槽体的中部设有隔板，所述隔板到所述槽体底面的最大距离小于所述槽体的顶部到所述槽体底面的最小距离，所述隔板一侧的槽体侧壁底部设有液体入口和臭氧气体入口，所述液体入口位于所述臭氧气体入口的上方，所述隔板另一侧的槽体侧壁底部设有臭氧水出口，所述曝气盘设置在靠近所述臭氧气体入口的槽体内，所述曝气盘包括连接部分和曝气部分，所述连接部分和所述曝气部分连接，所述连接部分与所述臭氧气体入口连接，所述曝气部分的上表面均匀设有多个曝气孔。
2.如权利要求1所述的臭氧水浓度提升装置，其特征在于，还包括液位传感器，所述液位传感器设置在所述槽体的侧壁上，所述液位传感器到所述槽体底面的距离大于所述隔板到所述槽体底面的最大距离。
3.如权利要求1所述的臭氧水浓度提升装置，其特征在于，所述曝气部分的上表面呈圆弧球面结构。
4.如权利要求1所述的臭氧水浓度提升装置，其特征在于，所述槽体的顶部为倒三角形结构。
5.如权利要求1所述的臭氧水浓度提升装置，其特征在于，还包括抽液泵，所
6.一种臭氧水生成系统，其特征在于，包括臭氧发生装置、气液混合装置、以及如权利要求1至5任意一项所述的臭氧水浓度提升装置，所述气液混合装置的底部设有臭氧进气口和出液口，所述气液混合装置的顶部设有纯水入口和出气口，所述臭氧进气口和所述臭氧水浓度提升装置的臭氧气体入口均与所述臭氧发生装置连接，所述出液口与所述臭氧水浓度提升装置的液体入口连接。
7.如权利要求6所述的一种臭氧水生成系统，其特征在于，还包括臭氧破坏装置，所述出气口和所述臭氧水浓度提升装置的气体出口均与所述臭氧破坏装置连接。
8.如权利要求6所述的一种臭氧水生成系统，其特征在于，所述臭氧发生装置和所述臭氧水浓度提升装置的臭氧气体入口之间设有第一单向阀。
9.如权利要求6所述的一种臭氧水生成系统，其特征在于，所述臭氧发生装置与所述臭氧进气口之间设有第二单向阀。
...【技术特征摘要】
1.一种臭氧水浓度提升装置，其特征在于，包括槽体和曝气盘，所述槽体的顶部设有气体出口，所述槽体的中部设有隔板，所述隔板到所述槽体底面的最大距离小于所述槽体的顶部到所述槽体底面的最小距离，所述隔板一侧的槽体侧壁底部设有液体入口和臭氧气体入口，所述液体入口位于所述臭氧气体入口的上方，所述隔板另一侧的槽体侧壁底部设有臭氧水出口，所述曝气盘设置在靠近所述臭氧气体入口的槽体内，所述曝气盘包括连接部分和曝气部分，所述连接部分和所述曝气部分连接，所述连接部分与所述臭氧气体入口连接，所述曝气部分的上表面均匀设有多个曝气孔。
2.如权利要求1所述的臭氧水浓度提升装置，其特征在于，还包括液位传感器，所述液位传感器设置在所述槽体的侧壁上，所述液位传感器到所述槽体底面的距离大于所述隔板到所述槽体底面的最大距离。
3.如权利要求1所述的臭氧水浓度提升装置，其特征在于，所述曝气部分的上表面呈圆弧球面结构。
4.如权利要求1所述的臭氧水浓度提升装置，其特征在于，所述槽体的顶部为倒三角形结构。
【专利技术属性】
技术研发人员：王振交，江铁军，
申请(专利权)人：苏州中世太新能源科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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