本发明专利技术构思提供一种衬底传送装置。所述衬底传送装置包括：基座；第一传送臂，其配置成包括与所述基座连接的第一臂连杆以及与所述第一臂连杆连接的第一末端执行器，并且在收缩位置和伸展位置之间操作；和导引构件，其在所述第一传送臂从所述伸展位置向后移动到所述收缩位置时使放置在所述第一末端执行器上的所述衬底对齐。
【技术实现步骤摘要】
本文描述的本专利技术构思的实施例涉及一种衬底传送装置。
技术介绍
1、通常，通过在衬底或晶片(以下称为衬底)上重复执行多种单元工艺(例如曝光工艺、蚀刻工艺、扩散工艺、沉积工艺和金属工艺)来进行半导体元件制造工艺。衬底在装载在载具上的状态下放入每个单元工艺的设施中。装载在设施内的载具上的衬底由衬底传送装置引入或取出。
2、传统的衬底传送装置配备有机械手，该机械手在臂的前端支撑衬底。衬底在由机械手支撑的状态下进行传送。如果衬底在机械手上以一定失真错位，则衬底在传送过程中会发生碰撞或对工艺产生显着的不利影响。
技术实现思路
1、本专利技术构思的实施例提供一种用于在始终使衬底对齐在特定位置之后传送衬底的衬底传送装置。
2、本专利技术构思的实施例提供一种无需单独的驱动系统即可进行衬底对齐的衬底传送装置。
3、本专利技术构思的技术目的不限于上述技术目的，并且通过以下描述，其他未提及的技术目的将对于本领域普通技术人员而言变得清楚。
4、本专利技术构思提供一种衬底传送装置。衬底传送装置包括：基座；第一传送臂，其配置成包括与基座连接的第一臂连杆以及与第一臂连杆连接的第一末端执行器，并且在收缩位置和伸展位置之间操作；和导引构件，其在第一传送臂从伸展位置向后移动到收缩位置时使放置在第一末端执行器上的衬底对齐。
5、在实施例中，导引构件包括用于导引衬底的两侧的第一导引件和第二导引件，并且在第一传送臂向后移动时，第一导引件移动而第二导引件不移动。</p>6、在实施例中，第一导引件与第一臂连杆一起移动。
7、在实施例中，第一臂连杆包括：第一臂，其在基座上沿水平方向可转动；以及第二臂，其在第一臂的前端上沿水平方向可转动，其中第一导引件安装在第二臂上。
8、在实施例中，第一导引件包括：固定支架，其安装在第二臂的侧面上；和接触块，其设置在固定支架处并与衬底的侧面接触。
9、在实施例中，接触块的与衬底的侧面接触的表面是弯曲的。
10、在实施例中，第二导引件固定地安装在基座上。
11、在实施例中，第一导引件和第二导引件各自还包括：接触块，其与衬底的侧面接触；和柱塞，其用于在第一传送臂处于收缩位置时将接触块从非接触位置移动到接触位置以使接触块与衬底的侧面接触。
12、在实施例中，衬底传送装置还包括：第二传送臂，其配置成包括与基座连接的第二臂连杆以及与第二臂连杆连接的第二末端执行器，并且在收缩位置和伸展位置之间操作，其中在第一传送臂和第二传送臂均处于收缩位置时，第一末端执行器和第二末端执行器彼此重叠，并且第二导引件设置在第二臂连杆处。
13、在实施例中，在第二传送臂从伸展位置向后移动到收缩位置时，第二导引件移动而第一导引件不移动。
14、本专利技术构思提供一种衬底传送装置。衬底传送装置包括：基座；左传送臂，其配置成包括与基座连接的第一臂连杆以及供衬底放置的第一末端执行器，并且在收缩位置和伸展位置之间操作；右传送臂，其配置成包括与基座连接的第二臂连杆以及供衬底放置的第二末端执行器，并且在收缩位置和伸展位置之间操作；和导引构件，其用于在左传送臂或右传送臂从伸展位置向后移动到收缩位置时使衬底对齐。
15、在实施例中，导引构件包括用于导引衬底的两侧的第一导引件和第二导引件，其中第一导引件设置在左传送臂上，第二导引件设置在右传送臂上。
16、在实施例中，在左传送臂向后移动时，第一导引件移动以使衬底对齐，而第二导引件不移动。
17、在实施例中，在右传送臂向后移动时，第二导引件移动以使衬底对齐，而第一导引件不移动。
18、在实施例中，第一导引件与第一臂连杆一起移动，并且第二导引件与第二臂连杆一起移动。
19、在实施例中，第一臂连杆包括：左第一臂，其在基座上沿水平方向可转动；和左第二臂，其在左第一臂的前端上沿水平方向可转动，并且第二臂连杆包括：右第一臂，其在基座上沿水平方向可转动；且右第二臂，其在右第一臂的前端上沿水平方向可转动，其中第一导引件安装在左第二臂上，第二导引件安装在右第二臂上。
20、在实施例中，第一导引件和第二导引件包括：固定支架；和接触块，其设置在固定支架处并与衬底的侧面接触。
21、在实施例中，第一导引件和第二导引件还包括柱塞，其用于在左传送臂和右传送臂处于收缩位置时将接触块从非接触位置移动到接触位置以使接触块与衬底的侧面接触。
22、本专利技术构思提供一种衬底传送装置。衬底传送装置包括：基座；左传送臂，其包括与基座连接的第一臂连杆、安装在第一臂连杆上的第一导引件、以及与第一臂连杆连接的第一末端执行器，并且配置成在收缩位置和伸展位置之间操作；右传送臂，其包括与基座连接的第二臂连杆、安装在第二臂连杆上的第二导引件、以及与第二臂连杆连接的第二末端执行器，并且配置成在收缩位置和伸展位置之间操作，其中当左传送臂和右传送臂均处于收缩位置时，第一末端执行器和第二末端执行器彼此重叠，并且在左传送臂向后移动时，第一导引件移动以使放置在第一末端执行器上的衬底对齐，而第二导引件不移动，并且在右传送臂向后移动时，第二导引件移动以使放置在第二末端执行器上的衬底对齐，而第一导引件不移动。
23、在实施例中，第一臂连杆包括：左第一臂，其在基座上沿水平方向可转动；左第二臂，其在左第一臂的前端上沿水平方向可转动，并且第二臂连杆包括：右第一臂，其在基座上沿水平方向可转动；右第二臂，其在右第一臂的前端上沿水平方向可转动，其中第一导引件安装在左第二臂上，且第二导引件安装在右第二臂上。
24、根据本专利技术构思的实施例，能够在始终使衬底对齐到特定位置之后传送衬底。
25、根据本专利技术构思的实施例，由于对臂部实施导引件，因此能够减轻重量并简化结构。
26、根据本专利技术构思的实施例，无需配置用于衬底对齐的致动器、控制器、电缆等也能够实现衬底的对齐。
27、本专利技术构思的效果不限于上述效果，并且根据下面的描述，其他未提及的效果将对于本领域技术人员而言变得清楚。
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【技术保护点】
1.一种衬底传送装置，包括：
2.根据权利要求1所述的衬底传送装置，其中所述导引构件包括用于导引所述衬底的两侧的第一导引件和第二导引件，并且在所述第一传送臂向后移动时，所述第一导引件移动而所述第二导引件不移动。
3.根据权利要求2所述的衬底传送装置，其中所述第一导引件与所述第一臂连杆一起移动。
4.根据权利要求2所述的衬底传送装置，其中所述第一臂连杆包括：
5.根据权利要求4所述的衬底传送装置，其中所述第一导引件包括：
6.根据权利要求5所述的衬底传送装置，其中所述接触块的与所述衬底的侧面接触的表面是弯曲的。
7.根据权利要求2所述的衬底传送装置，其中所述第二导引件固定地安装在所述基座上。
8.根据权利要求2所述的衬底传送装置，其中所述第一导引件和所述第二导引件各自还包括：
9.根据权利要求2所述的衬底传送装置，还包括：
10.根据权利要求9所述的衬底传送装置，其中在所述第二传送臂从所述伸展位置向后移动到所述收缩位置时，所述第二导引件移动而所述第一导引件不移动。
>11.一种衬底传送装置，包括：12.根据权利要求11所述的衬底传送装置，其中所述导引构件包括用于导引所述衬底的两侧的第一导引件和第二导引件，其中所述第一导引件设置在所述左传送臂上，并且所述第二导引件设置在所述右传送臂上。
13.根据权利要求12所述的衬底传送装置，其中在所述左传送臂向后移动时，所述第一导引件移动以使所述衬底对齐，而所述第二导引件不移动。
14.根据权利要求12所述的衬底传送装置，其中在所述右传送臂向后移动时，所述第二导引件移动以使所述衬底对齐，而所述第一导引件不移动。
15.根据权利要求12所述的衬底传送装置，其中所述第一导引件与所述第一臂连杆一起移动，并且所述第二导引件与所述第二臂连杆一起移动。
16.根据权利要求12所述的衬底传送装置，其中所述第一臂连杆包括：
17.根据权利要求12所述的衬底传送装置，其中所述第一导引件和所述第二导引件包括：
18.根据权利要求17所述的衬底传送装置，其中所述第一导引件和所述第二导引件还包括柱塞，其用于在所述左传送臂和所述右传送臂处于所述收缩位置时将所述接触块从非接触位置移动到接触位置，以使所述接触块与所述衬底的所述侧面接触。
19.一种衬底传送装置，包括：
20.根据权利要求19所述的衬底传送装置，其中所述第一臂连杆包括：
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【技术特征摘要】
1.一种衬底传送装置，包括：
2.根据权利要求1所述的衬底传送装置，其中所述导引构件包括用于导引所述衬底的两侧的第一导引件和第二导引件，并且在所述第一传送臂向后移动时，所述第一导引件移动而所述第二导引件不移动。
3.根据权利要求2所述的衬底传送装置，其中所述第一导引件与所述第一臂连杆一起移动。
4.根据权利要求2所述的衬底传送装置，其中所述第一臂连杆包括：
5.根据权利要求4所述的衬底传送装置，其中所述第一导引件包括：
6.根据权利要求5所述的衬底传送装置，其中所述接触块的与所述衬底的侧面接触的表面是弯曲的。
7.根据权利要求2所述的衬底传送装置，其中所述第二导引件固定地安装在所述基座上。
8.根据权利要求2所述的衬底传送装置，其中所述第一导引件和所述第二导引件各自还包括：
9.根据权利要求2所述的衬底传送装置，还包括：
10.根据权利要求9所述的衬底传送装置，其中在所述第二传送臂从所述伸展位置向后移动到所述收缩位置时，所述第二导引件移动而所述第一导引件不移动。
11.一种衬底传送装置，包括：
12.根据权利要求11所述的衬底传送装置，其中所述导引构件包...
【专利技术属性】
技术研发人员：金教蜂，韩基元，金相吴，边熙宰，金喜赞，李相协，
申请(专利权)人：细美事有限公司，
类型：发明
国别省市：
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