一种硅片加工用推顶机构制造技术

技术编号:41744362 阅读:12 留言:0更新日期:2024-06-21 21:00
本技术公开了一种硅片加工用推顶机构,涉及硅片加工技术领域,该硅片加工用推顶机构,包括桌面,所述桌面的表面固定连接有液压杆,液压杆的输出端固定连接有推动板,桌面表面的两侧均开设有移动槽,两个移动槽的内壁均滑动连接有夹板,桌面的表面设置有调节机构;通过调节机构的设置,使工作人员在对硅片进行对中时,只需转动蜗杆即可带动两个夹板在桌面进行任意距离的滑动,从而无需在桌面上开设有固定孔,来限制夹板的滑动距离,进而提高了夹板的活动范围,同时夹板的任意滑动,使装置能够对任意尺寸的硅片进行夹持对中,避免了任意尺寸硅片的滑动发生偏移,从而进一步提高了装置的使用效果,具有较高的通用性,提高了装置的推广价值。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及硅片加工,特别涉及一种硅片加工用推顶机构


技术介绍

1、硅片,是制作集成电路的重要材料,通过对硅片进行光刻、离子注入等手段,可以制成各种半导体器件,用硅片制成的芯片有着惊人的运算能力,科学技术的发展不断推动着半导体的发展。

2、专利号:cn4422837855.3,提出了一种硅片加工用推顶机构,通过限位杆、弹簧和套环之间的配合,达到调节固定侧板和移动侧板之间的间距,以便适用于不同大小的硅片限位,解决了目前硅片加工用推顶机构在推动硅片移动过程中容易出现偏移,使得硅片到达加工设备下方时位置不对的问题。

3、然而在该方案实施的过程中,通过定位杆、插杆、固定孔和辅助槽的配合,达到便于将调节后的移动侧板位置进行固定,由于槽与槽之间具有一定的间隔,进而使得通过该装置只能对特定规格的硅片进行限位固定,使得该装置在使用时,具有较大的局限性,为此提出了一种硅片加工用推顶机构来解决上述问题。


技术实现思路

1、本技术的目的在于至少解决现有技术中存在的技术问题之一,提供一种硅片加工用推顶机构,能够解决
技术介绍
的问题。

2、为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种硅片加工用推顶机构,包括桌面,所述桌面的表面固定连接有液压杆,液压杆的输出端固定连接有推动板,桌面表面的两侧均开设有移动槽,两个移动槽的内壁均滑动连接有夹板,桌面的表面设置有调节机构;

3、调节机构包括两个固定块,两个固定块分别位于桌面底部的两侧,两个固定块的表面均与桌面的底部固定连接,两个固定块的内壁均转动连接有螺纹杆,两个螺纹杆的表面均与桌面的内部转动连接,两个螺纹杆的上端分别位于两个移动槽的内部,两个移动槽的内部均滑动连接有活动块,两个螺纹杆的表面分别与两个活动块的内部螺纹连接,两个夹板的底部均固定连接有连接杆,两个连接杆远离两个夹板的一端分别与两个活动块的斜面相接触。

4、优选的,两个所述连接杆的下端均镶嵌有滚珠,两个滚珠的表面分别与两个活动块的斜面接触。

5、优选的,所述夹板的表面固定连接有弹簧,弹簧远离夹板表面的一端与移动槽的内壁固定连接。

6、优选的,所述夹板的两侧均固定连接有移动杆,移动槽内壁的两侧均开设有限制槽,两个移动杆的表面分别与两个限制槽的内壁滑动连接。

7、优选的,两个所述固定块的表面转动连接有蜗杆,两个螺纹杆的表面均固定连接有蜗轮,两个蜗杆的表面分别与两个蜗轮的表面啮合连接。

8、优选的,所述活动块的截面呈直角梯形的。

9、优选的,所述桌面的底部固定连接有四个支撑腿。

10、优选的,两个所述夹板的相对侧均转动连接有呈等距排列的传动辊二,桌面的表面转动连接有呈等距排列的传动辊一。

11、与现有技术相比,本技术的有益效果是:

12、(1)、该硅片加工用推顶机构,通过调节机构的设置,使工作人员在对硅片进行对中时,只需转动蜗杆即可带动两个夹板在桌面进行任意距离的滑动,从而无需在桌面上开设有固定孔,来限制夹板的滑动距离,进而提高了夹板的活动范围,同时夹板的任意滑动,使装置能够对任意尺寸的硅片进行夹持对中,避免了任意尺寸硅片的滑动发生偏移,从而进一步提高了装置的使用效果,具有较高的通用性,提高了装置的推广价值。

13、(2)、该硅片加工用推顶机构,通过移动杆和限制槽的设置,能够对夹板的运动轨迹进行限制,使夹板只能在移动槽中进行平移,而无法进行上下移动,从而避免了活动块在对连接杆进行顶动时,带动夹板在移动槽中上升的情况,从而避免了夹板无法对硅片进行夹持对正的情况,进而保证了装置的正常使用。

14、(3)、该硅片加工用推顶机构,通过滚珠的设置,减少了连接杆与活动块斜面之间的摩擦力,从而使活动块在移动后,连接杆能够较为流畅的顺着活动块的斜面进行滑动,进而保证了装置的顺利运行。

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【技术保护点】

1.一种硅片加工用推顶机构,包括桌面(1),其特征在于:所述桌面(1)的表面固定连接有液压杆(5),液压杆(5)的输出端固定连接有推动板(7),桌面(1)表面的两侧均开设有移动槽(13),两个移动槽(13)的内壁均滑动连接有夹板(9),桌面(1)的表面设置有调节机构;

2.根据权利要求1所述的一种硅片加工用推顶机构,其特征在于:两个所述连接杆(17)的下端均镶嵌有滚珠(3),两个滚珠(3)的表面分别与两个活动块(4)的斜面接触。

3.根据权利要求1所述的一种硅片加工用推顶机构,其特征在于:所述夹板(9)的表面固定连接有弹簧(6),弹簧(6)远离夹板(9)表面的一端与移动槽(13)的内壁固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种硅片加工用推顶机构,其特征在于:所述夹板(9)的两侧均固定连接有移动杆(16),移动槽(13)内壁的两侧均开设有限制槽(14),两个移动杆(16)的表面分别与两个限制槽(14)的内壁滑动连接。

5.根据权利要求1所述的一种硅片加工用推顶机构,其特征在于:两个所述固定块(11)的表面转动连接有蜗杆(12),两个螺纹杆(18)的表面均固定连接有蜗轮(15),两个蜗杆(12)的表面分别与两个蜗轮(15)的表面啮合连接。

6.根据权利要求1所述的一种硅片加工用推顶机构,其特征在于:所述活动块(4)的截面呈直角梯形的。

7.根据权利要求1所述的一种硅片加工用推顶机构,其特征在于:所述桌面(1)的底部固定连接有四个支撑腿(2)。

8.根据权利要求1所述的一种硅片加工用推顶机构,其特征在于:两个所述夹板(9)的相对侧均转动连接有呈等距排列的传动辊二(10),桌面(1)的表面转动连接有呈等距排列的传动辊一(8)。

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【技术特征摘要】

1.一种硅片加工用推顶机构,包括桌面(1),其特征在于:所述桌面(1)的表面固定连接有液压杆(5),液压杆(5)的输出端固定连接有推动板(7),桌面(1)表面的两侧均开设有移动槽(13),两个移动槽(13)的内壁均滑动连接有夹板(9),桌面(1)的表面设置有调节机构;

2.根据权利要求1所述的一种硅片加工用推顶机构,其特征在于:两个所述连接杆(17)的下端均镶嵌有滚珠(3),两个滚珠(3)的表面分别与两个活动块(4)的斜面接触。

3.根据权利要求1所述的一种硅片加工用推顶机构,其特征在于:所述夹板(9)的表面固定连接有弹簧(6),弹簧(6)远离夹板(9)表面的一端与移动槽(13)的内壁固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种硅片加工用推顶机构,其特征在于:所述夹板(9)的两侧均固定连接有移动杆(16),移动槽(13)...

【专利技术属性】
技术研发人员:张尔吾颜建平王健军陆建军熊文文徐镇李小兴
申请(专利权)人:新疆东方希望光伏科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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