System.ArgumentOutOfRangeException: 索引和长度必须引用该字符串内的位置。 参数名: length 在 System.String.Substring(Int32 startIndex, Int32 length) 在 zhuanliShow.Bind() 一种视觉传感器制造技术_技高网

一种视觉传感器制造技术

技术编号:41742979 阅读:5 留言:0更新日期:2024-06-19 13:03
本公开提供了一种视觉传感器,包括设置有第一像素阵列层和第二像素阵列层的目标硅基;第一像素阵列层设置于目标硅基的正面,用于提取视觉传感器的入射光中第一波段的光信号;第二像素阵列层设置于第一像素阵列层下方,用于提取入射光透射到第二像素阵列层中的第二波段的光信号;其中,第一像素阵列层位于第一波段的光信号穿透目标硅基的深度范围;第二像素阵列层位于第二波段的光信号穿透目标硅基的深度范围;且第二波段的光信号在目标硅基的穿透深度,大于第一波段的光信号在所述目标硅基的穿透深度。本公开实施例提供的视觉传感器能够利用不同波段的光信号,来提升视觉传感器的性能,拓宽视觉传感器的应用场景。

【技术实现步骤摘要】

本公开涉及图像传感,特别涉及一种视觉传感器


技术介绍

1、随着图像传感技术的不断发展,视觉传感器在各个领域得到了广泛的应用。视觉传感器是指利用光学元件和成像装置获取外部环境图像信息的仪器,相关技术中的视觉传感器一般仅能获取一个波段的图像信息。例如,普通的视觉传感器只能获取可见光波段的图像信息,红外视觉传感器往往仅能获取红外波段的图像信息。通常来说,通过不同视觉传感器获取的不同波段的图像信息之后,往往需要复杂传感器标定过程以进行数据融合。

2、基于此,亟需一种能够同时获取不同波段图像信息的视觉传感器。


技术实现思路

1、本公开提供了一种视觉传感器,包括设置有第一像素阵列层和第二像素阵列层的目标硅基;

2、所述第一像素阵列层设置于所述目标硅基的正面,用于提取所述视觉传感器的入射光中第一波段的光信号;

3、所述第二像素阵列层设置于所述第一像素阵列层下方,用于提取所述入射光透射到所述第二像素阵列层中的第二波段的光信号;

4、其中,所述第一像素阵列层位于所述第一波段的光信号穿透所述目标硅基的深度范围;所述第二像素阵列层位于所述第二波段的光信号穿透所述目标硅基的深度范围;且,所述第二波段的光信号在所述目标硅基的穿透深度,大于所述第一波段的光信号在所述目标硅基的穿透深度。

5、在一些实施例中,所述第一波段为可见光波段,所述第一像素阵列层用于基于所述可见光波段的光信号对目标对象的图像采集;

6、所述第二波段为红外光波段,所述第二像素阵列层用于基于所述红外光波段的光信号的飞行时间对目标对象的深度检测。

7、在一些实施例中,所述视觉传感器还包括电路硅基;所述电路硅基包括:联接到所述第一像素阵列层的像素阵列电路,和联接到所述第二像素阵列层的像素阵列电路。

8、在一些实施例中,所述目标硅基的内部设置有隔离层;所述第一像素阵列层和所述第二像素阵列层分别位于所述隔离层的两侧。

9、在一些实施例中,所述第一像素阵列层位于所述目标硅基正面的上部,所述第二像素阵列层位于所述目标硅基正面的下部。

10、在一些实施例中,所述第二像素阵列层位于所述目标硅基的背面。

11、在一些实施例中,所述隔离层包括注氧隔离层。

12、在一些实施例中,所述第一像素阵列层与所述第二像素阵列层的掺杂浓度不同。

13、在一些实施例中,所述第一像素阵列层包括由第一像素传感单元组成的阵列;所述第一像素传感单元用于确定所述第一波段的光信号的光强和光强变化量中的至少一个;

14、所述第二像素阵列层包括由第二像素传感单元组成的阵列;所述第二像素传感单元用于确定所述第二波段的光信号的光强;所述第一像素传感单元和所述第二像素传感单元一一对应。

15、在一些实施例中,所述视觉传感器还包括用于发射所述第二波段的光信号的光源;所述第二像素传感单元包括用于接收所述光源发射的所述第二波段的光信号的spad像素;所述光源和所述第二像素阵列层用于根据所述第二波段的光信号的飞行时间进行测距。

16、在一些实施例中,所述第一像素传感单元包括:第一像素传感子单元和第二像素传感子单元中的至少一个;

17、其中,所述第一像素传感子单元用于确定所述第一波段的光信号中的光强;所述第二像素传感子单元用于确定所述第一波段的光信号的光强变化量。

18、在一些实施例中,所述第二像素传感子单元包括兴奋型感光子单元和抑制型感光子单元;

19、所述兴奋型感光子单元和所述抑制型感光子单元均用于提取所述第一波段的光信号,并将所述第一波段的光信号转换为电信号;

20、所述兴奋型感光子单元和所述抑制型感光子单元转换的电信号之间的差异,用于表征所述第一波段的光信号的光强变化量的电信号。

21、在一些实施例中,所述第一像素传感子单元包括红色感光子单元、绿色感光子单元和蓝色感光子单元。

22、本公开实施例提供的视觉传感器,能够通过所述第一像素阵列层接收所述入射光中第一波段的光信号,通过所述第二像素阵列层接收所述入射光中穿过所述第一像素阵列层的第二波段的光信号,从而使得视觉传感器能够同时接收不同波段的光信号,有助于通过第一像素阵列层和第二像素阵列层感知所述视觉传感器的入射光中的不同信息,以提升视觉传感器的性能,并拓宽视觉传感器的应用场景。

23、应当理解,本部分所描述的内容并非旨在标识本公开的实施例的关键或重要特征,也不用于限制本公开的范围。本公开的其它特征将通过以下的说明书而变得容易理解。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种视觉传感器,其特征在于,包括设置有第一像素阵列层和第二像素阵列层的目标硅基;

2.根据权利要求1所述的视觉传感器,其特征在于,所述第一波段为可见光波段,所述第一像素阵列层用于基于所述可见光波段的光信号对目标对象的图像采集;

3.根据权利要求1所述的视觉传感器,其特征在于,所述视觉传感器还包括电路硅基;所述电路硅基包括:联接到所述第一像素阵列层的像素阵列电路,和联接到所述第二像素阵列层的像素阵列电路。

4.根据权利要求1所述的视觉传感器,其特征在于,所述目标硅基的内部设置有隔离层;所述第一像素阵列层和所述第二像素阵列层分别位于所述隔离层的两侧。

5.根据权利要求4所述的视觉传感器,其特征在于,所述第一像素阵列层位于所述目标硅基正面的上部,所述第二像素阵列层位于所述目标硅基正面的下部。

6.根据权利要求4所述的视觉传感器,其特征在于,所述第二像素阵列层位于所述目标硅基的背面。

7.根据权利要求4所述的视觉传感器,其特征在于,所述隔离层包括注氧隔离层。

8.根据权利要求4所述的视觉传感器,其特征在于,所述第一像素阵列层与所述第二像素阵列层的掺杂浓度不同。

9.根据权利要求1所述的视觉传感器,其特征在于,所述第一像素阵列层包括由第一像素传感单元组成的阵列;所述第一像素传感单元用于确定所述第一波段的光信号的光强和光强变化量中的至少一个;

10.根据权利要求9所述的视觉传感器,其特征在于,所述视觉传感器还包括用于发射所述第二波段的光信号的光源;所述第二像素传感单元包括用于接收所述光源发射的所述第二波段的光信号的SPAD像素;所述光源和所述第二像素阵列层用于根据所述第二波段的光信号的飞行时间进行测距。

11.根据权利要求1所述的视觉传感器,其特征在于,所述第一像素传感单元包括:第一像素传感子单元和第二像素传感子单元中的至少一个;

12.根据权利要求11所述的视觉传感器,其特征在于,所述第二像素传感子单元包括兴奋型感光子单元和抑制型感光子单元;

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【技术特征摘要】

1.一种视觉传感器,其特征在于,包括设置有第一像素阵列层和第二像素阵列层的目标硅基;

2.根据权利要求1所述的视觉传感器,其特征在于,所述第一波段为可见光波段,所述第一像素阵列层用于基于所述可见光波段的光信号对目标对象的图像采集;

3.根据权利要求1所述的视觉传感器,其特征在于,所述视觉传感器还包括电路硅基;所述电路硅基包括:联接到所述第一像素阵列层的像素阵列电路,和联接到所述第二像素阵列层的像素阵列电路。

4.根据权利要求1所述的视觉传感器,其特征在于,所述目标硅基的内部设置有隔离层;所述第一像素阵列层和所述第二像素阵列层分别位于所述隔离层的两侧。

5.根据权利要求4所述的视觉传感器,其特征在于,所述第一像素阵列层位于所述目标硅基正面的上部,所述第二像素阵列层位于所述目标硅基正面的下部。

6.根据权利要求4所述的视觉传感器,其特征在于,所述第二像素阵列层位于所述目标硅基的背面。

7.根据权利要求4所述的视觉传感器...

【专利技术属性】
技术研发人员:何伟杨哲宇
申请(专利权)人:北京灵汐科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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