【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种阴极升降器，具体是一种半导体刻蚀设备阴极升降器。
技术介绍
1、半导体刻蚀设备是制造半导体器件的关键设备之一，其作用是将半导体材料进行加工和刻蚀，以形成电路和器件的结构，刻蚀设备的技术水平和性能对于半导体器件的性能和可靠性有着至关重要的影响，在半导体制造过程中，刻蚀设备需要高精度和高效率地完成大面积、均匀和可靠的刻蚀加工，随着半导体技术的发展，对刻蚀设备的要求也越来越高，需要不断进行技术升级和改进，在使用半导体刻蚀设备时，通常采用牺牲阴极保护阳极，从而需要定期对半导体刻蚀设备阴极进行更换，需要使用半导体刻蚀设备阴极升降器控制调节阴极进行升降调节，从而控制对阴极进行更换，现有的半导体刻蚀设备阴极升降器一般使用链条往复传动的传动作用下，控制阴极板随着链条升降调节高度，同时在升降的过程中缺乏限位装置，容易出现阴极板左右晃动，从而不方便控制调节阴极进行平稳升降，从而可能出现阴极板在升降的过程中导致相互之间发生碰撞的现象，同时不方便根据使用需要控制阴极板进行转动调节精确控制调节偏转角度。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种半导体刻蚀设备阴极升降器，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
2、为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：
3、一种半导体刻蚀设备阴极升降器，包括支撑架，所述支撑架顶部固定安装驱动架，所述驱动架内壁滑动连接升降组件，所述升降组件包括滑座，所述滑座底部转动连接辊轴仓，所述辊轴仓内壁转动连接辊轴，所述辊轴外壁绕卷钢丝绳，所
4、在本专利技术的一种优选实施方式中，所述支撑架底部外壁均匀转动连接万向轮，所述驱动架顶部开设有t形槽。
5、在本专利技术的一种优选实施方式中，所述滑座外壁与t形槽内壁配合滑动连接，所述t形槽内壁通过轴承转动连接丝杠。
6、在本专利技术的一种优选实施方式中，所述丝杠外壁与滑座内壁螺纹连接，所述驱动架外壁固定安装伺服电机一。
7、在本专利技术的一种优选实施方式中，所述伺服电机一输出轴外壁与丝杠外壁之间通过齿轮一啮合传动连接。
8、在本专利技术的一种优选实施方式中，所述升降组件包括转向仓，所述转向仓固定安装在滑座底部中心位置，所述转向仓内壁通过轴承转动连接驱动轴。
9、在本专利技术的一种优选实施方式中，所述转向仓内壁固定安装伺服电机二，所述伺服电机二输出轴外壁与驱动轴外壁通过齿轮二啮合传动连接。
10、在本专利技术的一种优选实施方式中，所述转向仓底部外壁固定安装端盖，所述驱动轴底端外壁固定连接辊轴仓，所述辊轴仓内壁通过轴承转动连接辊轴，所述辊轴外壁固定安装限位轮。
11、在本专利技术的一种优选实施方式中，所述辊轴仓外壁固定安装伺服电机三，所述伺服电机三输出轴外壁与辊轴外壁之间通过齿轮三啮合传动连接。
12、在本专利技术的一种优选实施方式中，所述限位轮用于对钢丝绳绕卷时两侧进行限位，所述半导体刻蚀设备阴极片顶部外壁固定安装挂板，所述挂板内壁开设有挂槽，所述挂槽内壁与挂钩外壁配合挂接。
13、本专利技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本专利技术的实践了解到。
14、1.通过设置升降组件，通过辊轴同时控制左右两个钢丝绳同步进行收卷和释放，从而控制半导体刻蚀设备阴极片左右两侧同步升降，通过驱动伺服电机二驱动辊轴仓进行转动调节偏转角度，从而方便灵活控调节半导体刻蚀设备阴极片的升降高度和偏转角度；
15、2.通过设置驱动架，在驱动架的顶部开设有t形槽，从而方便灵活调节半导体刻蚀设备阴极片进行水平调节位置，从而方便对不同位置的半导体刻蚀设备阴极片进行更换，提高了工作效率，同时提高了设备使用的实用性。
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1.一种半导体刻蚀设备阴极升降器，包括支撑架(100)，所述支撑架(100)顶部固定安装驱动架(110)，其特征在于，所述驱动架(110)内壁滑动连接升降组件，所述升降组件包括滑座(200)，所述滑座(200)底部转动连接辊轴仓(280)，所述辊轴仓(280)内壁转动连接辊轴(281)，所述辊轴(281)外壁绕卷钢丝绳(285)，所述钢丝绳(245)底端外壁固定连接限位块(270)，所述辊轴仓(280)底部外壁固定安装导向架(260)，所述限位块(270)外壁与导向架(260)内壁配合滑动连接，所述限位块(270)底部外壁固定连接吊杆(271)，所述吊杆(271)底部外壁固定连接横杆(272)，所述横杆(272)外壁固定安装挂钩(273)，所述挂钩(273)用于挂接半导体刻蚀设备阴极片(310)。
2.根据权利要求1所述的一种半导体刻蚀设备阴极升降器，其特征在于，所述支撑架(100)底部外壁均匀转动连接万向轮(120)，所述驱动架(110)顶部开设有T形槽(111)。
3.根据权利要求2所述的一种半导体刻蚀设备阴极升降器，其特征在于，所述滑座(200)外壁
4.根据权利要求3所述的一种半导体刻蚀设备阴极升降器，其特征在于，所述丝杠(112)外壁与滑座(200)内壁螺纹连接，所述驱动架(110)外壁固定安装伺服电机一(113)。
5.根据权利要求4所述的一种半导体刻蚀设备阴极升降器，其特征在于，所述伺服电机一(113)输出轴外壁与丝杠(112)外壁之间通过齿轮一(114)啮合传动连接。
6.根据权利要求1所述的一种半导体刻蚀设备阴极升降器，其特征在于，所述升降组件包括转向仓(210)，所述转向仓(210)固定安装在滑座(200)底部中心位置，所述转向仓(210)内壁通过轴承转动连接驱动轴(230)。
7.根据权利要求6所述的一种半导体刻蚀设备阴极升降器，其特征在于，所述转向仓(210)内壁固定安装伺服电机二(240)，所述伺服电机二(240)输出轴外壁与驱动轴(230)外壁通过齿轮二(250)啮合传动连接。
8.根据权利要求7所述的一种半导体刻蚀设备阴极升降器，其特征在于，所述转向仓(210)底部外壁固定安装端盖(220)，所述驱动轴(230)底端外壁固定连接辊轴仓(280)，所述辊轴仓(280)内壁通过轴承转动连接辊轴(281)，所述辊轴(281)外壁固定安装限位轮(284)。
9.根据权利要求8所述的一种半导体刻蚀设备阴极升降器，其特征在于，所述辊轴仓(280)外壁固定安装伺服电机三(282)，所述伺服电机三(282)输出轴外壁与辊轴(281)外壁之间通过齿轮三(283)啮合传动连接。
10.根据权利要求9所述的一种半导体刻蚀设备阴极升降器，其特征在于，所述限位轮(284)用于对钢丝绳(245)绕卷时两侧进行限位，所述半导体刻蚀设备阴极片(310)顶部外壁固定安装挂板(300)，所述挂板(300)内壁开设有挂槽，所述挂槽内壁与挂钩(273)外壁配合挂接。
...【技术特征摘要】
1.一种半导体刻蚀设备阴极升降器，包括支撑架(100)，所述支撑架(100)顶部固定安装驱动架(110)，其特征在于，所述驱动架(110)内壁滑动连接升降组件，所述升降组件包括滑座(200)，所述滑座(200)底部转动连接辊轴仓(280)，所述辊轴仓(280)内壁转动连接辊轴(281)，所述辊轴(281)外壁绕卷钢丝绳(285)，所述钢丝绳(245)底端外壁固定连接限位块(270)，所述辊轴仓(280)底部外壁固定安装导向架(260)，所述限位块(270)外壁与导向架(260)内壁配合滑动连接，所述限位块(270)底部外壁固定连接吊杆(271)，所述吊杆(271)底部外壁固定连接横杆(272)，所述横杆(272)外壁固定安装挂钩(273)，所述挂钩(273)用于挂接半导体刻蚀设备阴极片(310)。
2.根据权利要求1所述的一种半导体刻蚀设备阴极升降器，其特征在于，所述支撑架(100)底部外壁均匀转动连接万向轮(120)，所述驱动架(110)顶部开设有t形槽(111)。
3.根据权利要求2所述的一种半导体刻蚀设备阴极升降器，其特征在于，所述滑座(200)外壁与t形槽(111)内壁配合滑动连接，所述t形槽(111)内壁通过轴承转动连接丝杠(112)。
4.根据权利要求3所述的一种半导体刻蚀设备阴极升降器，其特征在于，所述丝杠(112)外壁与滑座(200)内壁螺纹连接，所述驱动架(110)外壁固定安装伺服电机一(113)。
5.根据权利要求4所述的一种半导体刻蚀设备阴极升降器，其特征在于...
【专利技术属性】
技术研发人员：魏鸣峰，高青，刘加琪，胡敏捷，李哲，
申请(专利权)人：合肥英仕博精密装备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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